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多晶Si太阳电池表面酸腐蚀制绒的研究
被引量：
11
1
作者
肖文明
檀柏梅
+2 位作者
刘玉岭
牛新环
边征
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009年第10期627-631,共5页
研究了采用HF和HNO3非择优腐蚀多晶硅表面制备绒面的机理。通过实验分析了酸混合液的体积浓度配比、添加剂、温度和时间等因素对腐蚀速率和腐蚀后表面形貌的影响;总结出了多晶Si的酸腐蚀规律,得到了制备理想绒面的酸混合液体积配比(V(HF...
研究了采用HF和HNO3非择优腐蚀多晶硅表面制备绒面的机理。通过实验分析了酸混合液的体积浓度配比、添加剂、温度和时间等因素对腐蚀速率和腐蚀后表面形貌的影响;总结出了多晶Si的酸腐蚀规律,得到了制备理想绒面的酸混合液体积配比(V(HF):V(HNO3):V(CH3COOH)=1∶12∶6)。在此基础上提出了优化设计方案:采用廉价的水代替醋酸作为缓蚀剂,腐蚀过程置于超声槽中进行,利用超声波的振动使反应生成的气泡快速脱离多晶Si片表面,同时使腐蚀液浓度分布更加均匀,从而制备出效果更佳的多晶Si绒面。
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关键词
多晶硅太阳电池
酸腐蚀
表面形貌
腐蚀速率
多晶硅片制绒
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职称材料
金刚石线锯切割多晶硅片表面制绒工艺研究
被引量：
5
2
作者
武晓玮
李佳艳
谭毅
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第9期985-990,共6页
晶体硅片的制绒技术是太阳能电池制造工艺中的关键步骤。本研究以工业中酸制绒方法为基础,研究了腐蚀时间、浓度对绒面结构以及反射率的影响。此外,还采用金属催化化学腐蚀法进行制绒,选用氢氟酸和硝酸银作为腐蚀液。而且对两种制绒方...
晶体硅片的制绒技术是太阳能电池制造工艺中的关键步骤。本研究以工业中酸制绒方法为基础,研究了腐蚀时间、浓度对绒面结构以及反射率的影响。此外,还采用金属催化化学腐蚀法进行制绒,选用氢氟酸和硝酸银作为腐蚀液。而且对两种制绒方法效果进行了对比。研究获得的最优绒面结构及反射率结果的实验条件为:氢氟酸浓度4.6 mol/L、硝酸银浓度0.02 mol/L,室温下反应90 min,得到的平均反射率为8%,远低于目前多晶硅片制绒生产标准。
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关键词
金刚石线锯
多晶硅
制绒
反射率
下载PDF
职称材料
多晶硅太阳电池的酸腐蚀绒面技术
被引量：
9
3
作者
王涛
王正志
《电源技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第12期1020-1022,共3页
比较了几种多晶硅太阳电池的绒面技术,重点介绍了目前研究和应用较多的酸腐蚀技术。给出了该技术的基本原理、一般的绒面特征、常见的一些改进和对蚀刻时间的优化。这对于相关领域的研究人员具有参考价值。
关键词
多晶硅绒面
酸腐蚀
表面特征
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职称材料
题名
多晶Si太阳电池表面酸腐蚀制绒的研究
被引量：
11
1
作者
肖文明
檀柏梅
刘玉岭
牛新环
边征
机构
河北工业大学微电子研究所
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009年第10期627-631,共5页
文摘
研究了采用HF和HNO3非择优腐蚀多晶硅表面制备绒面的机理。通过实验分析了酸混合液的体积浓度配比、添加剂、温度和时间等因素对腐蚀速率和腐蚀后表面形貌的影响;总结出了多晶Si的酸腐蚀规律,得到了制备理想绒面的酸混合液体积配比(V(HF):V(HNO3):V(CH3COOH)=1∶12∶6)。在此基础上提出了优化设计方案:采用廉价的水代替醋酸作为缓蚀剂,腐蚀过程置于超声槽中进行,利用超声波的振动使反应生成的气泡快速脱离多晶Si片表面,同时使腐蚀液浓度分布更加均匀,从而制备出效果更佳的多晶Si绒面。
关键词
多晶硅太阳电池
酸腐蚀
表面形貌
腐蚀速率
多晶硅片制绒
Keywords
multi-crystalline
silicon
solar
cells
acid
etch
textur
ed
surface
etch
rate
multicrystalline
silicon
texturization
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
金刚石线锯切割多晶硅片表面制绒工艺研究
被引量：
5
2
作者
武晓玮
李佳艳
谭毅
机构
大连理工大学材料科学与工程学院
辽宁省太阳能光伏系统重点实验室
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第9期985-990,共6页
基金
国家自然科学基金(51574057)
中央高校基本科研业务费专项资金(DUT15QY07)~~
文摘
晶体硅片的制绒技术是太阳能电池制造工艺中的关键步骤。本研究以工业中酸制绒方法为基础,研究了腐蚀时间、浓度对绒面结构以及反射率的影响。此外,还采用金属催化化学腐蚀法进行制绒,选用氢氟酸和硝酸银作为腐蚀液。而且对两种制绒方法效果进行了对比。研究获得的最优绒面结构及反射率结果的实验条件为:氢氟酸浓度4.6 mol/L、硝酸银浓度0.02 mol/L,室温下反应90 min,得到的平均反射率为8%,远低于目前多晶硅片制绒生产标准。
关键词
金刚石线锯
多晶硅
制绒
反射率
Keywords
diamond
wire-sawing
multicrystalline
silicon
texturization
reflectivity
分类号
TM914 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
多晶硅太阳电池的酸腐蚀绒面技术
被引量：
9
3
作者
王涛
王正志
机构
国防科技大学自动化学院
出处
《电源技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第12期1020-1022,共3页
文摘
比较了几种多晶硅太阳电池的绒面技术,重点介绍了目前研究和应用较多的酸腐蚀技术。给出了该技术的基本原理、一般的绒面特征、常见的一些改进和对蚀刻时间的优化。这对于相关领域的研究人员具有参考价值。
关键词
多晶硅绒面
酸腐蚀
表面特征
Keywords
multicrystalline
silicon
textur
e
acidic
etching
surface
characteristic
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多晶Si太阳电池表面酸腐蚀制绒的研究
肖文明
檀柏梅
刘玉岭
牛新环
边征
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009
11
下载PDF
职称材料
2
金刚石线锯切割多晶硅片表面制绒工艺研究
武晓玮
李佳艳
谭毅
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
5
下载PDF
职称材料
3
多晶硅太阳电池的酸腐蚀绒面技术
王涛
王正志
《电源技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006
9
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职称材料
已选择
0
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