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题名二探针扩展电阻分布法在IC芯片制造中的应用
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作者
金红杰
郎清华
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机构
杭州士兰集成电路有限公司
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第7期684-688,共5页
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文摘
论述了扩展电阻分布法的基本原理和具体操作方法,该法中两个精确排列的探针,沿着被测晶片的磨制斜面边移动,边测试,得出系列数据。二探针扩展电阻分布法采用平式针尖无凹痕接触模型和多层理论计算扩展电阻。总结了为提高测试准确性,在测试中需要注意的事项。较高的空间分辨率和先进的多层算法,使二探针扩展电阻分布法能够测试多种结构复杂的样品。因此,在IC芯片制造过程中,二探针扩展电阻分布法广泛应用于外延、注入和扩散等工艺,为工程师调试新工艺、优化工艺条件以及进行失效分析等工作,提供电阻率-深度曲线图和载流子浓度-深度曲线图等数据。
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关键词
二探针
平式针尖无凹痕模型
多层理论
扩展电阻
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Keywords
two-probe
non-indenting flat tip model
muhilayer theory
spreading resistance
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分类号
TN304
[电子电信—物理电子学]
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题名EPS轻质路堤应用技术研究
被引量：1
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作者
刘壮
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机构
招商局重庆交通科研设计院有限公司
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出处
《北方交通》
2013年第4期42-45,共4页
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文摘
软土地基上采用EPS块体取代填土来修筑路堤,具有整体沉降小、稳定性好、施工快速简便等优点。通过采用弹性层状体系理论,分析了钢筋混凝土板厚度以及层间接触条件变化对EPS路堤上沥青路面结构性能的影响,给出了EPS路堤整体等效回弹模量的取值,并提出了EPS块体密度的选取原则,研究结果对于EPS轻质路堤的设计具有参考价值。
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关键词
EPS
轻质路堤
层状体系
等效回弹模量
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Keywords
Expanded polystyrene
Lightweight embankment
Elastic muhilayer theory
Equivalent elasticmodulus
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分类号
U416.12
[交通运输工程—道路与铁道工程]
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