微细电解加工用电极的侧壁绝缘及应用实验 被引量：12

1

作者 刘改红 李勇 +2 位作者 陈旭鹏 马晓宇 朱效谷 《电加工与模具》 2009年第4期28-31,39,共5页

介绍了一种微细电解加工用电极的侧壁绝缘方法及其应用实验。采用旋涂法在电极表面涂敷液态环氧树脂并固化处理，重复该过程形成多层绝缘薄膜，用机械磨削法去除电极端部的绝缘膜，使电极端面导电。通过基础工艺实验优化了旋涂法工艺参... 介绍了一种微细电解加工用电极的侧壁绝缘方法及其应用实验。采用旋涂法在电极表面涂敷液态环氧树脂并固化处理，重复该过程形成多层绝缘薄膜，用机械磨削法去除电极端部的绝缘膜，使电极端面导电。通过基础工艺实验优化了旋涂法工艺参数，通过对比实验验证了侧壁绝缘电极的微孔加工效果。旋涂法可制得膜厚为5～10 μm的侧壁绝缘电极，采用该电极加工可显著减小微孔直径及锥度，提高微细电解加工尺寸精度。 展开更多

关键词 微细电解加工 微细电极 侧壁绝缘 微细孔

下载PDF 职称材料

微细电化学加工电源的设计与研究 被引量：7

2

作者 杨光 郑云飞 李勇 《电加工与模具》 2002年第2期25-28,共4页

加工电源的频率、波形等输出特性在很大程度上影响微细电化学加工的效果。本文提出的微细电化学加工电源系统包括硬件和软件两个模块 ,其中硬件模块包括计算机、接口电路、功率放大电路和信号检测电路 ;软件模块包括驱动程序和控制程序... 加工电源的频率、波形等输出特性在很大程度上影响微细电化学加工的效果。本文提出的微细电化学加工电源系统包括硬件和软件两个模块 ,其中硬件模块包括计算机、接口电路、功率放大电路和信号检测电路 ;软件模块包括驱动程序和控制程序。该电源系统可产生多种波形 ,且能实现对加工过程的自适应控制 ,从而满足微细电化学加工工艺研究的需求。 展开更多

关键词 加工电源 状态检测 自适应控制 微细电化学加工 设计

下载PDF 职称材料

微细阵列方形轴孔的电火花和电化学组合加工工艺研究 被引量：8

3

作者 翁明浩 王振龙 《电加工与模具》 2007年第5期5-8,共4页

对微细阵列轴孔的电火花、电化学组合加工工艺进行了分析和研究。用微细电火花线切割机加工出3×3至10×10系列方形阵列电极,宽度在25-90μm,加工中采用降低加工电压、加工电流、进给速度和减小工作液冲击等方法,获得了质量较... 对微细阵列轴孔的电火花、电化学组合加工工艺进行了分析和研究。用微细电火花线切割机加工出3×3至10×10系列方形阵列电极,宽度在25-90μm,加工中采用降低加工电压、加工电流、进给速度和减小工作液冲击等方法,获得了质量较好的阵列电极,并分别利用微细电化学加工和微细电火花加工两种工艺方法进行阵列孔加工。在加工过程中通过适度间歇抬刀、超声振动、循环流动工作液等方法,较好地解决了微弧放电、排屑、加工区温度过高等加工难题,获得了质量较好的大小在30-100μm相应的阵列孔,从而实现了微细阵列轴孔的电火花、电化学组合加工,为大规模微细阵列轴孔的加工开辟了高效、可行的新工艺方法。 展开更多

关键词 微细电火花加工 微细电化学加工 阵列电极 阵列孔

下载PDF 职称材料

微细电加工应用技术研究 被引量：5

4

作者 李勇 《电加工与模具》 2009年第B04期32-37,共6页

微细电加工要达到工业应用的目的,需兼顾加工效率和加工精度两方面的要求。以微细孔、微细三维结构的加工为目标,进行了微细孔电火花加工、三维微细结构电火花伺服扫描加工及微细电化学加工技术的研究开发。设计出微细电极的损耗补偿进... 微细电加工要达到工业应用的目的,需兼顾加工效率和加工精度两方面的要求。以微细孔、微细三维结构的加工为目标,进行了微细孔电火花加工、三维微细结构电火花伺服扫描加工及微细电化学加工技术的研究开发。设计出微细电极的损耗补偿进给和导向机构,开发出三维微细结构的电火花伺服扫描加工工艺,研究了采用阵列微细电极的微细电化学加工方法。微细孔电火花加工可连续加工直径小至100μm的孔。伺服扫描电火花加工可便捷地在小于1mm2区域内加工出三维微细结构。提出的微细电化学加工技术路线拟将微细电解加工应用于阵列微细孔和三维微细结构的加工。 展开更多

关键词 微细电火花加工 微细电化学加工 电极损耗 伺服进给 伺服扫描

下载PDF 职称材料

微细电解加工技术的概况与展望 被引量：4

5

作者 谢岩甫 刘壮 陈伟 《电加工与模具》 2010年第6期1-6,35,共7页

概括总结了微细电解加工的典型技术,综合分析了近几年微细电解加工技术的研究成果和最新进展,包括脉冲电源、新型电解液、复合加工、微器件加工以及基础理论等方面,展望了其未来的研究重点和发展趋势。

关键词 微细电解加工 技术概况 展望

下载PDF 职称材料

间歇回退对微细电解加工的影响分析及实验研究 被引量：3

6

作者 马晓宇 李勇 《航天制造技术》 2009年第6期6-11,共6页

微细电解加工时,微小加工间隙内的电解产物难以移除,会降低加工效率、影响加工稳定性和质量。分析了电解产物对加工的影响机理,提出了利用工具电极间歇快速回退移除加工间隙内电解产物、增强电解液更新的方法,研究了间歇回退对加工稳定... 微细电解加工时,微小加工间隙内的电解产物难以移除,会降低加工效率、影响加工稳定性和质量。分析了电解产物对加工的影响机理,提出了利用工具电极间歇快速回退移除加工间隙内电解产物、增强电解液更新的方法,研究了间歇回退对加工稳定性、效率以及精度的影响规律,研究结果表明:对于加工稳定性和效率而言,工具电极的间歇回退时机存在最优值,此时加工较稳定、效率较高;对于加工精度而言,单次进给时间较短时有利于提高加工的尺寸精度。 展开更多

关键词 微细电解加工 工具电极 间歇回退 电解产物 电解液更新

下载PDF 职称材料

综合改善微细电解加工精度的工艺研究 被引量：3

7

作者 马晓宇 李勇 +1 位作者 胡满红 刘改红 《电加工与模具》 2009年第5期24-29,共6页

电解加工的阳极电化学溶解原理使其在微细加工领域具有巨大的发展潜力,但杂散腐蚀和流场条件恶劣制约加工精度的提高。分析了影响微细电解加工的主要因素,提出综合改善微细电解加工精度的工艺途径。理论分析和实验研究均表明:将LIGA工... 电解加工的阳极电化学溶解原理使其在微细加工领域具有巨大的发展潜力,但杂散腐蚀和流场条件恶劣制约加工精度的提高。分析了影响微细电解加工的主要因素,提出综合改善微细电解加工精度的工艺途径。理论分析和实验研究均表明:将LIGA工艺制备高质量微细阵列电极、电极侧壁绝缘、高频脉冲电流及非线性电解液加工、电极间歇回退伺服控制等方法有机结合,能有效约束电场、改善流场,提高微细电解加工的精度。 展开更多

关键词 微细电解加工 加工精度 电场约束 间歇回退

下载PDF 职称材料

超声扰动在微孔电解加工中作用机理的研究 被引量：2

8

作者 王蕾 赵志强 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2016年第10期83-88,共6页

深入分析了超声扰动电解液在微孔电解加工中的作用机理,提出了超声空化效应是引起加工间隙内电解液流场参数分布发生变化的主要因素。借助有限元分析软件COMSOL Multiphysics建立加工间隙区内声场的仿真模型,对声压的分布变化进行分析... 深入分析了超声扰动电解液在微孔电解加工中的作用机理,提出了超声空化效应是引起加工间隙内电解液流场参数分布发生变化的主要因素。借助有限元分析软件COMSOL Multiphysics建立加工间隙区内声场的仿真模型,对声压的分布变化进行分析求解。通过对仿真结果的分析,验证了超声扰动作用在加工间隙区域内存在空化效应。进行了微孔电解加工实验,比较了不同频率的超声波对加工间隙区域的作用效果,结果显示:在一定范围内的低频率超声扰动更容易在加工间隙区域中形成超声空化,更有利于提高微孔电解加工的精度。 展开更多

关键词 超声 微细电解加工 电解液流场 空化效应

下载PDF 职称材料

微流控芯片注塑模具的微细电解加工 被引量：1

9

作者 王志强 钟昊 +2 位作者 李勇 佟浩 孔全存 《电加工与模具》 2019年第6期33-36,60,共5页

基于电解加工电极不损耗的优势,研究了一种微细电解加工微流控芯片注塑模具微结构的工艺,针对微小V型槽和微孔,解决微细电极在线制备和测量、微结构成形精度、群微结构加工等关键问题。加工实验结果表明:该工艺可实现曲线V型槽和群微结... 基于电解加工电极不损耗的优势,研究了一种微细电解加工微流控芯片注塑模具微结构的工艺,针对微小V型槽和微孔,解决微细电极在线制备和测量、微结构成形精度、群微结构加工等关键问题。加工实验结果表明:该工艺可实现曲线V型槽和群微结构加工,通过微细电解加工的模具具有较高的形状精度和表面质量。 展开更多

关键词 微流控芯片 注塑模具 微细电解加工 V型槽 微孔

下载PDF 职称材料

模具钢大面积微结构的微细电解和化学蚀刻的比较研究 被引量：1

10

作者 黄红光 郭钟宁 +1 位作者 孙涛涛 宋卿 《电加工与模具》 2014年第A01期41-44,共4页

针对手机后盖表面微结构的特点,采用微细电解和微细蚀刻的方法,对手机后盖压制模具的表面微结构加工进行工艺探索。设计了掩膜图形,研制了微细电解加工的纳秒脉冲电源。利用自行研制的多功能微细特种加工系统,采用阳极掩膜的方法进行微... 针对手机后盖表面微结构的特点,采用微细电解和微细蚀刻的方法,对手机后盖压制模具的表面微结构加工进行工艺探索。设计了掩膜图形,研制了微细电解加工的纳秒脉冲电源。利用自行研制的多功能微细特种加工系统,采用阳极掩膜的方法进行微细电解加工,采用改进后的蚀刻机进行模具钢微细蚀刻加工。通过优化工艺,在模具钢材料上加工出尺寸为500μm的阵列微结构,并注塑出手机后盖,达到项目要求。 展开更多

关键词 大面积微结构 微细电解 蚀刻

下载PDF 职称材料

微细电化学加工纳秒脉冲检测系统研究 被引量：1

11

作者 李漫漫 葛红宇 +2 位作者 张建华 罗茂炫 陈康 《工业控制计算机》 2017年第11期97-99,共3页

根据纳秒脉冲微细电化学加工的工艺要求,提出并实现了一种纳秒加工脉冲的在线检测方法。通过PLD器件实现检测控制专用集成电路,结合32位高性能嵌入式处理器,实现了相关的转换电路、检测及其支持电路。其中,转换电路获取标准检测信号,检... 根据纳秒脉冲微细电化学加工的工艺要求,提出并实现了一种纳秒加工脉冲的在线检测方法。通过PLD器件实现检测控制专用集成电路,结合32位高性能嵌入式处理器,实现了相关的转换电路、检测及其支持电路。其中,转换电路获取标准检测信号,检测及其支持电路实现脉冲参数、间隙状态的实时检测。实验表明,所研制系统能够在线检测纳秒加工脉冲的脉宽、脉间以及加工间隙的短/断路状态,实现微细电化学加工的在线监控。 展开更多

关键词 微细电化学加工 纳秒脉冲 在线检测 自研集成电路

下载PDF 职称材料

微细盘状电极制备及其微细电解加工研究 被引量：1

12

作者 何志伟 王明环 +1 位作者 张力 许雪峰 《电加工与模具》 2015年第2期57-60,共4页

基于电化学腐蚀加工方法,提出了一种微细盘状电极的制备方法。先采用平板阴极电化学腐蚀法,将毛坯加工成圆柱状微细电极,再对圆柱电极端部进行绝缘保护,进一步腐蚀制备得到微细盘状电极。利用微细圆柱电极、盘状电极和盘状群电极,在厚1... 基于电化学腐蚀加工方法,提出了一种微细盘状电极的制备方法。先采用平板阴极电化学腐蚀法,将毛坯加工成圆柱状微细电极,再对圆柱电极端部进行绝缘保护,进一步腐蚀制备得到微细盘状电极。利用微细圆柱电极、盘状电极和盘状群电极,在厚1 mm的304不锈钢片上进行电解加工对比实验,结果证明采用微细盘状电极电解加工微小孔,其加工定域性有明显改善,侧壁间隙减小,且降低了孔锥度。 展开更多

关键词 微细电化学加工 微细盘状电极 加工定域性 型孔锥度

下载PDF 职称材料

微细中空电极流速测试及侧壁绝缘层制备工艺比较 被引量：1

13

作者 温杰超 孔全存 +2 位作者 李勇 钟浩 刘桂礼 《电加工与模具》 2019年第4期33-39,共7页

针对孔径100~200μm、采用中空供液工艺的高深宽比微细电解加工中,中空电极流速难以在线测量,侧壁绝缘层易出现损伤、脱落等问题,利用不同压力下流速雾化现象在光照下的差异性,建立压力-流速-雾化面积比关系曲线,实现在线流速测试并优... 针对孔径100~200μm、采用中空供液工艺的高深宽比微细电解加工中,中空电极流速难以在线测量,侧壁绝缘层易出现损伤、脱落等问题,利用不同压力下流速雾化现象在光照下的差异性,建立压力-流速-雾化面积比关系曲线,实现在线流速测试并优化了初始供液压力。通过比较加工孔和加工后电极表面形貌,优选出丙烯酸环氧树脂绝缘层制备工艺,并在304不锈钢片上加工出入口直径180.6μm、出口直径173.8μm、锥度约0.78°的阵列孔,验证了方法应用的可行性。 展开更多

关键词 微细电解加工 中空电极 流速测试 侧壁绝缘 电泳

下载PDF 职称材料

变参数微细电解加工变截面孔的实验研究 被引量：1

14

作者 于立秋 刘桂礼 +2 位作者 李勇 孔全存 刘国栋 《电加工与模具》 2017年第3期36-40,共5页

为提高微细电解加工高深宽比变截面孔的形状精度,通过仿真分析加工过程中不同的参数变化时间间隔对变截面孔形状精度的影响,设计并实现了一种变参数加工控制方法。在1 mm厚的18CrNi8工件上进行变参数微细电解加工实验,加工出孔径200~320... 为提高微细电解加工高深宽比变截面孔的形状精度,通过仿真分析加工过程中不同的参数变化时间间隔对变截面孔形状精度的影响,设计并实现了一种变参数加工控制方法。在1 mm厚的18CrNi8工件上进行变参数微细电解加工实验,加工出孔径200~320μm(深宽比约为5)的变截面孔。结果表明:参数变化时间间隔为1 s时,形状平均误差为9μm,相比于其他时间间隔,其平均误差减小约85%,较好地满足了设计要求,也验证了该变参数加工控制方法的有效性。 展开更多

关键词 微细电解加工 变截面孔 变参数 高深宽比 形状精度

下载PDF 职称材料

基于CPLD的多功能微细电加工电源的研制

15

作者 樊友文 褚旭阳 +2 位作者 陆连强 刘刚 洪永强 《电加工与模具》 2013年第2期4-7,共4页

为了解决微能脉冲电源发展中遇到的功能单一、集成度不高等问题,设计了多功能微细电加工脉冲电源。以单片机和CPLD作为微控制器,利用模块化的方法对关键模块进行设计,并运用Quartus软件对高频脉冲发生单元进行仿真,得到微细电火花和微... 为了解决微能脉冲电源发展中遇到的功能单一、集成度不高等问题,设计了多功能微细电加工脉冲电源。以单片机和CPLD作为微控制器,利用模块化的方法对关键模块进行设计,并运用Quartus软件对高频脉冲发生单元进行仿真,得到微细电火花和微细电化学的脉冲波形,通过对脉冲的切换实现了微细电火花和微细电化学的加工。 展开更多

关键词 CPLD 微细电火花加工 微细电化学加工 脉冲电源

下载PDF 职称材料

微秒级可调脉冲电源的研制

16

作者 陈伟 《电加工与模具》 2007年第5期53-55,共3页

设计和制作了新型微细电解加工的微秒级可调脉冲电源装置,介绍了此装置的总体结构、AT89C51单片机控制的脉冲发生电路、脉冲电源主电路和保护电路工作原理及过程。该电源满足了微细电解加工的要求,可加工出满意的产品。

关键词 微细电解加工 μs级 可调脉冲电源

下载PDF 职称材料

微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验

17

作者 刘国栋 李勇 +2 位作者 孔全存 佟浩 钟昊 《电加工与模具》 2017年第5期26-30,66,共6页

提出了一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工。设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺。初步实验得到电极加工部尺寸约为... 提出了一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工。设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺。初步实验得到电极加工部尺寸约为100μm,绝缘层厚度为800 nm的硅工具电极。利用高速旋转的微细硅工具电极在18Cr Ni8材料上加工出了微细沟槽结构和微细通孔。实验结果验证了侧壁绝缘层对杂散腐蚀抑制作用的有效性。经过96 min的持续加工实验,电极绝缘层保持了可靠的绝缘效果。 展开更多

关键词 微细电解加工 微细硅工具电极 侧壁绝缘层 体硅湿法腐蚀

下载PDF 职称材料

三电极微细电解加工脉冲电源 被引量：9

18

作者 孔全存 李勇 +2 位作者 刘国栋 李朝将 佟浩 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期266-272,共7页

脉冲电源是实现微细电解加工的技术关键之一。该文基于钝化膜增厚过程分析,探讨抑气促溶机理,并设计一种具有脉间输出的三电极微细电解加工脉冲电源,利用辅助电极导入电解池的加工脉间完全去极化电流,完成界面加酸过程。微细阵列孔及微... 脉冲电源是实现微细电解加工的技术关键之一。该文基于钝化膜增厚过程分析,探讨抑气促溶机理,并设计一种具有脉间输出的三电极微细电解加工脉冲电源,利用辅助电极导入电解池的加工脉间完全去极化电流,完成界面加酸过程。微细阵列孔及微细槽的电解加工实验显示:采用三电极脉冲电源在中性NaNO3电解液中的微细电解加工,蚀除速率从两电极脉冲电源的3.21×10-4 mm3/s提高至6.62×10-4 mm3/s,有效地提高了加工效率;该电源在维持钝性电解液中加工定域性好和中性电解液的环保优势的同时,又具有偏酸性电解液中加工后表面质量高的优点,加工表面粗糙度Ra从0.52μm降至0.28μm。初步实验验证了具有脉间输出的三电极微细电解加工脉冲电源的可行性。 展开更多

关键词 微细电解加工 脉冲电源 三电极 界面加酸 抑气促溶

原文传递

三维微结构微细电火花和电解组合加工实验研究 被引量：3

19

作者 胡满红 李勇 +1 位作者 佟浩 马晓宇 《电加工与模具》 2010年第2期28-32,37,共6页

提出一种微三维结构的微细电火花和微细电化学组合加工工艺,利用三维伺服扫描微细电火花加工快速去除三维型腔材料和微细电解铣削加工形成高精度和高质量三维型腔轮廓表面的互补优势,实现三维微结构的高效率和高精度加工。该组合加工工... 提出一种微三维结构的微细电火花和微细电化学组合加工工艺,利用三维伺服扫描微细电火花加工快速去除三维型腔材料和微细电解铣削加工形成高精度和高质量三维型腔轮廓表面的互补优势,实现三维微结构的高效率和高精度加工。该组合加工工艺可在同一台微细电加工装置上进行。以在四方体型腔内形成设计尺寸为400μm×400μm×180μm四棱柱结构的加工为例,实验加工出尺寸为410μm×406μm×181μm的四棱柱结构,加工材料的去除速度分别为微细电火花加工31 182μm3/s,微细电解加工11 017μm3/s,得到了加工效率和加工精度的优化组合。 展开更多

关键词 微三维结构加工 组合加工工艺 伺服扫描微细电火花加工 微细电解铣削加工

下载PDF 职称材料

微热管内壁微结构电化学加工机床控制系统 被引量：3

20

作者 王亚坤 王冠 +1 位作者 王梅梅 郭钟宁 《机械设计与制造》 北大核心 2014年第12期217-219,223,共4页

内表面具有大量非连续强化传热微结构的微热管,因传热性能突出而成为新型微电子器件散热的关键零件。针对微热管内表面非连续微结构加工中的技术难题,提出基于变截面多线螺旋电极的微细电解加工新方法,并自主研制了一台利用Lab VIEW进... 内表面具有大量非连续强化传热微结构的微热管,因传热性能突出而成为新型微电子器件散热的关键零件。针对微热管内表面非连续微结构加工中的技术难题,提出基于变截面多线螺旋电极的微细电解加工新方法,并自主研制了一台利用Lab VIEW进行运动控制的微细电解加工机床。介绍了机床的结构、原理、控制系统硬件设计和软件设计。该微细电解加工机床可实现套筒类金属零件的内表面微结构低成本、高效率、高表面质量的电解加工成型。 展开更多

关键词 微热管 微结构 控制系统 微细电解加工机床

下载PDF 职称材料