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PECVD法低温沉积多晶硅薄膜的研究 被引量:9
1
作者 邱春文 石旺舟 黄羽中 《液晶与显示》 CAS CSCD 2003年第3期201-204,共4页
在玻璃衬底上采用常规的PECVD法在低温(≤400℃)条件下制得大颗粒(直径>100nm)、择优取向(220)明显的多晶硅薄膜。选用的反应气体为SiF4和H2混合气体。加入少量的SiH4后,沉积速率提高了近10倍。分析认为,在低温时促使多晶硅结构形成... 在玻璃衬底上采用常规的PECVD法在低温(≤400℃)条件下制得大颗粒(直径>100nm)、择优取向(220)明显的多晶硅薄膜。选用的反应气体为SiF4和H2混合气体。加入少量的SiH4后,沉积速率提高了近10倍。分析认为,在低温时促使多晶硅结构形成的反应基元应是SiFmHn(m+n≤3),而不可能是SiHn(n≤3)基团。 展开更多
关键词 PECVD法 多晶硅薄膜 低温沉积 太阳能电池 等离子体增强化学气相沉积法
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等离子增强原子层沉积低温生长AlN薄膜 被引量:9
2
作者 冯嘉恒 唐立丹 +2 位作者 刘邦武 夏洋 王冰 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期436-441,共6页
采用等离子增强原子层沉积技术在单晶硅基体上成功制备了AlN晶态薄膜,利用椭圆偏振仪、原子力显微镜、小角掠射X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、X射线光电子能谱仪对样品的生长速率、表面形貌、晶体结构、薄膜成分进行了表征和分析... 采用等离子增强原子层沉积技术在单晶硅基体上成功制备了AlN晶态薄膜,利用椭圆偏振仪、原子力显微镜、小角掠射X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、X射线光电子能谱仪对样品的生长速率、表面形貌、晶体结构、薄膜成分进行了表征和分析,结果表明,采用等离子增强原子层沉积制备AlN晶态薄膜的最低温度为200C,薄膜表面平整光滑,具有六方纤锌矿结构与(100)择优取向,Al2p与N1S的特征峰分别为74.1eV与397.0eV,薄膜中Al元素与N元素以Al-N键相结合,且成分均匀性良好. 展开更多
关键词 氮化铝 等离子增强原子层沉积 低温生长 晶态薄膜
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蓝宝石衬底上6H-SiC单晶薄膜的化学气相淀积生长 被引量:6
3
作者 孙澜 陈平 +6 位作者 韩平 郑有 史君 朱嘉 朱顺明 顾书林 张荣 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期192-194,共3页
 采用低压化学气相淀积方法以相对较低的生长温度(900~1050℃)在蓝宝石(0001)衬底上外延生长了6H SiC单晶薄膜。其晶体质量和结构由X射线衍射谱和喇曼散射谱的测量结果得到确定。俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的观察表明所制备的6H ...  采用低压化学气相淀积方法以相对较低的生长温度(900~1050℃)在蓝宝石(0001)衬底上外延生长了6H SiC单晶薄膜。其晶体质量和结构由X射线衍射谱和喇曼散射谱的测量结果得到确定。俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的观察表明所制备的6H SiC薄膜中的Si—C键的结合能为181.4eV,Si与C的原子比符合SiC的化学配比。扫描电子显微镜的分析显示6H SiC外延层和蓝宝石衬底间的界面相当平整。由紫外及可见光波段吸收谱的结果得到所生长的6H SiC的禁带宽度为2.83eV、折射系数在2.5~2.7之间,均与6H SiC体材料的相应数据一致。 展开更多
关键词 化学气相淀积 蓝宝石 6H-SIC 单晶薄膜 低温生长 碳化硅
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低温CVD法在玻璃衬底上制备ZnO纳米线阵列 被引量:7
4
作者 夏文高 陈金菊 邓宏 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期258-260,共3页
采用化学气相沉积(CVD)法在镀Cr(20nm)的玻璃衬底上,低温制备了ZnO纳米线阵列。利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对样品的表面形貌和微结构进行了分析表征。结果表明:源分解温度1350℃,衬底温度450~500℃,氩气流量为35sccm时,... 采用化学气相沉积(CVD)法在镀Cr(20nm)的玻璃衬底上,低温制备了ZnO纳米线阵列。利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对样品的表面形貌和微结构进行了分析表征。结果表明:源分解温度1350℃,衬底温度450~500℃,氩气流量为35sccm时,ZnO纳米线在玻璃衬底上呈现有序生长;XRD谱图中只观测到ZnO(002)衍射峰。表明制备的纳米线阵列具有高度c轴择优取向生长特性和较高的结晶质量。 展开更多
关键词 化学气相沉积 ZNO纳米线阵列 低温生长
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电感耦合等离子体CVD低温生长硅薄膜过程中的铝诱导晶化 被引量:5
5
作者 王晓强 栗军帅 +3 位作者 陈强 祁菁 尹旻 贺德衍 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期269-273,共5页
利用电感耦合等离子体CVD方法在 35 0℃的低温下在镀Al玻璃衬底上制备出具有良好结晶性的Si薄膜 .利用x射线衍射、紫外 可见分光椭圆偏振谱、原子力显微镜及x射线光电子谱等研究了薄膜的结构、表面形貌和成分分布等 .结果表明 ,用这种... 利用电感耦合等离子体CVD方法在 35 0℃的低温下在镀Al玻璃衬底上制备出具有良好结晶性的Si薄膜 .利用x射线衍射、紫外 可见分光椭圆偏振谱、原子力显微镜及x射线光电子谱等研究了薄膜的结构、表面形貌和成分分布等 .结果表明 ,用这种方法制备的Si薄膜不但晶化程度高 ,而且具有良好的 ( 111)结晶取向性 ,晶粒尺寸大于30 0nm ,样品中无Al的残留 .结合电感耦合等离子体的高电子密度特征讨论了低温生长过程中Al诱导Si薄膜晶化的机理 . 展开更多
关键词 低温生长 电感耦合等离子体 X射线光电子谱 硅薄膜 衬底 分光 CVD 电子密度 结晶取向 晶化
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电感耦合等离子体CVD室温制备的硅薄膜的结构研究 被引量:4
6
作者 王晓强 陈强 +2 位作者 栗军帅 杨定宇 贺德衍 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期465-468,共4页
用内置式单圈电感耦合等离子体化学气相沉积 (ICP CVD)方法在室温下制备Si薄膜。用傅里叶红外吸收光谱、喇曼光谱、原子力显微镜和分光椭圆偏振谱等测量分析表明 ,即使在室温下用ICP CVD也获得了有纳米结晶相的Si薄膜 ,样品结构与源气体... 用内置式单圈电感耦合等离子体化学气相沉积 (ICP CVD)方法在室温下制备Si薄膜。用傅里叶红外吸收光谱、喇曼光谱、原子力显微镜和分光椭圆偏振谱等测量分析表明 ,即使在室温下用ICP CVD也获得了有纳米结晶相的Si薄膜 ,样品结构与源气体SiH4浓度密切相关。实验结果预示着在高电子密度的ICP CVD过程中 ,活性原子集团的形成以及薄膜的生长机理与传统的等离子体CVD过程不同。 展开更多
关键词 CVD 电感耦合等离子体 子集 硅薄膜 原子 结构研究 喇曼光谱 室温 分光 ICP
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量子尺寸效应导致的铅薄膜材料的奇异超导性质 被引量:1
7
作者 张艳锋 郭阳 +10 位作者 鲍新宇 韩铁柱 唐喆 张立新 朱文光 王恩哥 牛谦 邱子强 贾金锋 赵忠贤 薛其坤 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期599-602,共4页
我们在硅衬底上制备出厚度在原子尺度上可控、宏观尺度上均匀的铅薄膜。观察到随着厚度一个原子层一个原子层增加时薄膜超导转变温度的振荡现象。我们证明,这种振荡行为是量子尺寸效应的结果。在这种薄膜中,电子德布罗意波的干涉行为类... 我们在硅衬底上制备出厚度在原子尺度上可控、宏观尺度上均匀的铅薄膜。观察到随着厚度一个原子层一个原子层增加时薄膜超导转变温度的振荡现象。我们证明,这种振荡行为是量子尺寸效应的结果。在这种薄膜中,电子德布罗意波的干涉行为类同于光的法布里 玻罗干涉,会导致量子阱态的形成。量子阱态的形成改变了费米能级附近的电子态密度和电声子耦合强度,从而最后导致了超导转变温度的变化。研究结果表明:通过精确控制这种厚度敏感的量子尺寸效应,可以调制材料的物理和化学性质。 展开更多
关键词 奇异 德布罗意波 可控 超导性 量子阱 费米能级 耦合强度 硅衬底 电声 薄膜
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以SiF_4+H_2为气源PECVD法低温制备多晶硅薄膜 被引量:1
8
作者 邱春文 石旺舟 黄翀 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期333-336,共4页
采用常规的PECVD法在低温(≤400℃)条件下制得大颗粒(直径>100nm)、高迁移率(~20cm2/vs),择优取向(220)明显的多晶硅薄膜。选用的反应气体为SiH4和H2混合气体。加入少量的SiH4后,沉积速率提高了将近10倍。通过本实验,我们认为在低... 采用常规的PECVD法在低温(≤400℃)条件下制得大颗粒(直径>100nm)、高迁移率(~20cm2/vs),择优取向(220)明显的多晶硅薄膜。选用的反应气体为SiH4和H2混合气体。加入少量的SiH4后,沉积速率提高了将近10倍。通过本实验,我们认为在低温时促使多晶硅结构形成的反应基元应是SiFmHn(m+n≤3),而不可能是SiHn(n≤3)基团。 展开更多
关键词 多晶硅薄膜 Ⅷ法 低温制备
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Stage2沉积速率对低温生长CIGS薄膜特性及器件的影响 被引量:2
9
作者 李志国 刘玮 +6 位作者 何静婧 李祖亮 韩安军 张超 周志强 张毅 孙云 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期478-485,共8页
研究了三步法第二步沉积速率对低温生长Cu(In,Ga)Se2薄膜结构、电学特性和器件特性的影响.通过改变第二步沉积速率发现,提高沉积速率可以显著促进薄膜晶粒生长,提高晶粒紧凑程度降低晶界复合,同时有效改善两相分离现象,提高电池的开路... 研究了三步法第二步沉积速率对低温生长Cu(In,Ga)Se2薄膜结构、电学特性和器件特性的影响.通过改变第二步沉积速率发现,提高沉积速率可以显著促进薄膜晶粒生长,提高晶粒紧凑程度降低晶界复合,同时有效改善两相分离现象,提高电池的开路电压和短路电流,有助于Cu(In,Ga)Se2电池光电转换效率的提高.但同时研究表明,随着第二步沉积速率的增加,会促进暂态Cu(2-x)Se晶粒的生长,引起Cu(In,Ga)Se2薄膜表面粗糙度增大,并阻碍Na向Cu(In,Ga)Se2薄膜表面的扩散,造成施主缺陷钝化效应降低,薄膜载流子浓度下降和电阻率升高,且过高的沉积速率会引起电池内部复合增加并产生分流路径,造成开路电压下降进而引起电池效率恶化.最终,通过最佳化第二步沉积速率,在衬底温度为420C时,得到最高转换效率为11.24%的Cu(In,Ga)Se2薄膜太阳电池. 展开更多
关键词 Cu(In Ga)Se2(CIGS) 太阳电池 沉积速率 低温生长
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衬底温度对低温制备铜铟镓硒薄膜结晶性能的影响 被引量:1
10
作者 曹章轶 吴敏 张冬冬 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2015年第8期65-69,共5页
采用低温三步共蒸发法在柔性聚酰亚胺衬底上制备了铜铟镓硒(CIGSe)薄膜,利用扫描电子显微镜和X射线衍射仪表征了CIGSe薄膜的结晶质量和晶体结构,探讨了低温沉积工艺中第二步和第三步衬底温度与薄膜晶粒尺寸、织构取向和结晶性能的关系... 采用低温三步共蒸发法在柔性聚酰亚胺衬底上制备了铜铟镓硒(CIGSe)薄膜,利用扫描电子显微镜和X射线衍射仪表征了CIGSe薄膜的结晶质量和晶体结构,探讨了低温沉积工艺中第二步和第三步衬底温度与薄膜晶粒尺寸、织构取向和结晶性能的关系。结果表明:随着第二步和第三步衬底温度同时升高,CIGSe薄膜的晶粒尺寸逐渐增大,镓的两相分离现象逐渐消失;保持第二步衬底温度不变,随着第三步衬底温度进一步升高,CIGSe薄膜的晶粒尺寸继续增大,薄膜的结晶质量显著改善;第二步和第三步衬底温度的变化对CIGSe薄膜的织构取向基本没有影响。 展开更多
关键词 铜铟镓硒薄膜 衬底温度 低温生长 结晶质量
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Low-temperature growth of large-scale,single-crystalline graphene on Ir(111)
11
作者 Hui Guo Hui Chen +7 位作者 Yande Que Qi Zheng Yu-Yang Zhang Li-Hong Bao Li Huang Ye-Liang Wang Shi-Xuan Du Hong-Jun Gao 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第5期11-15,共5页
Iridium is a promising substrate for self-limiting growth of graphene. However, single-crystalline graphene can only be fabricated over 1120 K. The weak interaction between graphene and Ir makes it challenging to grow... Iridium is a promising substrate for self-limiting growth of graphene. However, single-crystalline graphene can only be fabricated over 1120 K. The weak interaction between graphene and Ir makes it challenging to grow graphene with a single orientation at a relatively low temperature. Here, we report the growth of large-scale, single-crystalline graphene on Ir(111) substrate at a temperature as low as 800 K using an oxygen-etching assisted epitaxial growth method. We firstly grow polycrystalline graphene on Ir. The subsequent exposure of oxygen leads to etching of the misaligned domains.Additional growth cycle, in which the leftover aligned domain serves as a nucleation center, results in a large-scale and single-crystalline graphene layer on Ir(111). Low-energy electron diffraction, scanning tunneling microscopy, and Raman spectroscopy experiments confirm the successful growth of large-scale and single-crystalline graphene. In addition, the fabricated single-crystalline graphene is transferred onto a SiO_2/Si substrate. Transport measurements on the transferred graphene show a carrier mobility of about 3300 cm^2·V^(-1)·s^(-1). This work provides a way for the synthesis of large-scale,high-quality graphene on weak-coupled metal substrates. 展开更多
关键词 graphene low-temperature growth SINGLE-CRYSTALLINE Ir(111)
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No-catalyst growth of vertically-aligned AlN nanocone field electron emitter arrays with high emission performance at low temperature
12
作者 刘飞 莫富尧 +5 位作者 李力 苏赞加 黄泽强 邓少芝 陈军 许宁生 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第10期463-471,共9页
The A1N nanostructures with a wide band-gap of 6.28 eV are considered as ideal cold cathode materials because of their low electron-affinity. Many methods have been devoted to fabricating A1N nanostructures, but high ... The A1N nanostructures with a wide band-gap of 6.28 eV are considered as ideal cold cathode materials because of their low electron-affinity. Many methods have been devoted to fabricating A1N nanostructures, but high growth temperature over 800℃ and the use of the catalysts in most methods limit their practical application and result in their poor field-emission behaviours in uniformity. This paper reports that without any catalysts, a simple chemical vapour deposition method is used to synthesize aligned A1N nanocone arrays at 550℃ on silicon substrate or indium tin oxide glass. Field emission measurements show that these nanocones prepared at low temperature have an average turn-on field of 6 V/μm and a threshold field of 11.7 V/μm as well as stable emission behaviours at high field, which suggests that they have promising applications in field emission area. 展开更多
关键词 A1N nanocone low-temperature growth no-catalyst FIELD-EMISSION
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ICPCVD制备硅薄膜结构的椭偏光谱研究 被引量:1
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作者 王晓强 贺德衍 +2 位作者 李明亚 甄聪棉 韩秀梅 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A01期931-934,共4页
利用单圈内置式ICP-CVD方法在室温下制备了Si薄膜。在拉曼光谱、原子力显微镜(AFM)对样品结构分析的基础上,采用对样品结构无损伤的椭圆偏振光谱(SE)法对样品进行了测量,结合有效介质近似(EMA)模型,对样品的微结构进行了计算拟合。拉曼... 利用单圈内置式ICP-CVD方法在室温下制备了Si薄膜。在拉曼光谱、原子力显微镜(AFM)对样品结构分析的基础上,采用对样品结构无损伤的椭圆偏振光谱(SE)法对样品进行了测量,结合有效介质近似(EMA)模型,对样品的微结构进行了计算拟合。拉曼光谱及AFM分析表明:样品为具有纳米晶相的Si薄膜;分光椭圆偏振法结合EMA模型对样品微结构的拟合分析得出了同样的结论,说明即使在室温下用ICP-CVD也获得了具有纳米晶相的Si薄膜,薄膜微结构与源气体SiH4浓度有密切关系。说明分光椭圆偏振法是研究薄膜材料的一种有力手段。 展开更多
关键词 ICP-CVD SI薄膜 低温生长 椭偏光谱法
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原子层沉积低温制备AZO薄膜 被引量:1
14
作者 唐立丹 梅海林 +1 位作者 冯嘉恒 王冰 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第18期18100-18104,共5页
采用原子层沉积技术与改进的Al掺杂模式在石英玻璃基体上低温制备AZO薄膜,利用椭圆偏振仪、原子力显微镜、X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、Hall效应测试仪系统地对样品的生长速率、表面形貌、晶体结构、薄膜成分与电学性能进行了表征... 采用原子层沉积技术与改进的Al掺杂模式在石英玻璃基体上低温制备AZO薄膜,利用椭圆偏振仪、原子力显微镜、X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、Hall效应测试仪系统地对样品的生长速率、表面形貌、晶体结构、薄膜成分与电学性能进行了表征和分析。结果表明,采用原子层沉积在150℃下制备AZO薄膜,其为六方纤锌矿结构,Al掺杂对Zn O的(002)有明显的抑制作用,Al在基体中弥散分布,其部分替换Zn O晶格中的Zn,以Al—O的形式存在于晶体中,晶体中存在大量的氧空位,最佳铝锌循环比为1∶19,此条件下AZO薄膜电阻率为4.61×10-4Ω·cm。 展开更多
关键词 Al掺杂ZnO 原子层沉积 低温生长 晶态薄膜
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膜/块体结构氧化物复合磁电材料研究进展 被引量:1
15
作者 王婧 吴霞 +2 位作者 邓朝勇 朱孔军 南策文 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期905-911,共7页
由铁氧体(如:CoFe2O4,NiFe2O4)和铁电相(如:BaTiO3,Pb(ZrxTi1-x)O3)组成的复合材料是经典的复合磁电材料,也是最早在室温下观察到大磁电耦合效应的复合材料。这类复合材料的制备通常是在高于1200℃的高温条件下将铁氧体相和铁电相两相... 由铁氧体(如:CoFe2O4,NiFe2O4)和铁电相(如:BaTiO3,Pb(ZrxTi1-x)O3)组成的复合材料是经典的复合磁电材料,也是最早在室温下观察到大磁电耦合效应的复合材料。这类复合材料的制备通常是在高于1200℃的高温条件下将铁氧体相和铁电相两相共烧而成。然而,在高温过程中不可避免的存在原子互扩散及两相界面反应,甚至出现微裂纹。本文综合介绍了几种通过直接在一种铁性氧化物块体上生长另一种铁性陶瓷膜的方法,从而实现铁电、铁磁两相之间的低温复合(一般不高于800℃),避免了高温共烧过程中的固有问题,并展示了此类膜/块体复合体系的磁电耦合性能常用的表征方法。 展开更多
关键词 膜/块体复合 磁电效应 低温制备 综述
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以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法
16
作者 邱春文 石旺舟 +1 位作者 王晓晶 周燕 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期361-365,共5页
本文报道了在廉价的颗粒硅带上用PECVD法并两次引入铝的工艺制备多晶硅薄膜。第一次引入铝是为了去除薄膜上过多的杂质 ;第二次引入铝是为了实现低温诱导结晶。通过对薄膜样品的拉曼谱和X射线衍射 (XRD)谱分析 ,我们认为金属低温诱导结... 本文报道了在廉价的颗粒硅带上用PECVD法并两次引入铝的工艺制备多晶硅薄膜。第一次引入铝是为了去除薄膜上过多的杂质 ;第二次引入铝是为了实现低温诱导结晶。通过对薄膜样品的拉曼谱和X射线衍射 (XRD)谱分析 ,我们认为金属低温诱导结晶成功与否跟诱导前薄膜的结构密切相关。采用该工艺成功地制备了结晶度 92 %左右、可应用于太阳能电池的高纯优质多晶硅薄膜。 展开更多
关键词 性价比 多晶硅带衬底 多晶硅薄膜 等离子体化学气相沉积法 二次引铝 低温制备 太阳能电池
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图案化氧化钨纳米线阵列的低温制备工艺及其场发射特性研究
17
作者 刘飞 郭同义 +5 位作者 李力 李立方 甘海波 陈军 邓少芝 许宁生 《真空电子技术》 2012年第3期4-7,22,共5页
氧化钨纳米线由于具有长径比较大、导电性好、阈值电场较低、可承受的电流较高等优点,因此在场致电子发射器件中受到人们的广泛关注。但是在氧化钨纳米结构研究发展的过程中,出现了一些技术难题,比如制备温度高(>800℃),制备的氧化... 氧化钨纳米线由于具有长径比较大、导电性好、阈值电场较低、可承受的电流较高等优点,因此在场致电子发射器件中受到人们的广泛关注。但是在氧化钨纳米结构研究发展的过程中,出现了一些技术难题,比如制备温度高(>800℃),制备的氧化钨通常混合多种化学相而导致物性不均匀等,所以束缚了氧化钨纳米线在场发射领域的快速发展。本文采用磁控溅射技术结合化学气相沉积技术在500℃下分别实现了高纯相的WO2和WO3纳米线阵列的定域生长。场发射特性研究结果表明:所制备的WO3纳米线阵列的开启电场低至0.65MV/m,阈值电场约为2.9MV/m,最大电流密度达到18.3A/cm2;WO2纳米线阵列的开启电场低至0.8MV/m,阈值电场为2.46MV/m,最大电流密度达到12.1mA/cm2。这表明在低温下制备的氧化钨纳米线阵列在场致电子发射领域具有非常广阔的应用前景。 展开更多
关键词 氧化钨纳米线 低温制备工艺 场发射特性
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利用低温生长法制备水纳米团簇和二维冰
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作者 张鑫 李照兵 +2 位作者 张瑶 孙凯 王俊忠 《电子显微学报》 CAS CSCD 2016年第2期126-131,共6页
利用低温扫描隧道显微镜(LT-STM)研究了水分子在高定向裂解石墨(HOPG)表面的低温吸附和薄膜生长。在低覆盖度下,水分子在HOPG表面会形成二聚体,三聚体,甚至更大的自组装纳米团簇。在高覆盖度下,水分子形成单分子层厚的二维水膜,其面内... 利用低温扫描隧道显微镜(LT-STM)研究了水分子在高定向裂解石墨(HOPG)表面的低温吸附和薄膜生长。在低覆盖度下,水分子在HOPG表面会形成二聚体,三聚体,甚至更大的自组装纳米团簇。在高覆盖度下,水分子形成单分子层厚的二维水膜,其面内结构是非共边的六边形蜂窝状结构,类似于体材料的Ice-II相。通过傅里叶变换和莫尔条纹分析,本文发现水膜和HOPG衬底之间存在不同的夹角,表明分子-衬底之间的相互作用很弱。 展开更多
关键词 扫描隧道显微镜 水团簇 二维冰 低温生长 石墨表面
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α型籽晶对氧化铝基薄膜低温生长及力学性能的影响
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作者 程奕天 《深圳职业技术学院学报》 CAS 2021年第1期29-35,共7页
采用Al+α-Al2O3复合材料及Al100-xCrx(x=10,20,30)合金作为靶材,用反应磁控溅射将α型籽晶引入氧化铝基薄膜中,研究了籽晶对氧化铝基薄膜的元素比例、相组成、结构特征、表面形貌及纳米硬度的影响.结果显示,在550℃时溅射Al+α-Al2O3... 采用Al+α-Al2O3复合材料及Al100-xCrx(x=10,20,30)合金作为靶材,用反应磁控溅射将α型籽晶引入氧化铝基薄膜中,研究了籽晶对氧化铝基薄膜的元素比例、相组成、结构特征、表面形貌及纳米硬度的影响.结果显示,在550℃时溅射Al+α-Al2O3复合靶所得的薄膜由单相的α-Al2O3组成,而在同一温度下采用Al70Cr30合金靶所制得的薄膜中检测到α-(Al0.7Cr0.3)2O3固溶体.纯α-Al2O3薄膜及α-(Al0.7Cr0.3)2O3固溶体薄膜的纳米硬度分别达到~23.5GPa和~28.5GPa. 展开更多
关键词 α型籽晶 薄膜 低温生长 纳米硬度
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Electron field emission from nano-crystalline Si films deposited by inductively coupled plasma CVD at room temperature
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作者 HE Deyan WANG Xiaoqiang +4 位作者 CHEN Qiang LI Junshuai YIN Min A. V. Karabutov A. G. Kazanskii 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2006年第5期510-514,共5页
硅薄电影被诱导地联合的血浆 CVD 在房间温度扔。拉曼光谱和原子力量显微镜学被用来描绘样品的结构和地形学。在最佳血浆条件下面, nano-crystallineSi 电影与在表面上的随机的分布的高密度的 Si 尖端是成年的,这被显示出。高度和 Si... 硅薄电影被诱导地联合的血浆 CVD 在房间温度扔。拉曼光谱和原子力量显微镜学被用来描绘样品的结构和地形学。在最佳血浆条件下面, nano-crystallineSi 电影与在表面上的随机的分布的高密度的 Si 尖端是成年的,这被显示出。高度和 Si 尖端的吝啬的基础直径分别地是 30-40 nm 和约 200 nm。有如此的表面地形学的电影被表明有电子领域排放的好行为。典型阀值地关于 7-10 V/mu m。 展开更多
关键词 纳米晶硅薄膜 电子场发射 感应耦合等离子体 化学气相沉积 低温生长 ICP-CVD
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