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声表面波温度传感器的仿真与设计 被引量:15
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作者 吴展翔 刘文 卢小荣 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期8-11,共4页
利用有限元软件COMSOL对声表面波温度传感器进行仿真。声表面波温度传感器基底材料为YX-切石英单晶,并在石英上镀ZnO薄膜,叉指换能器和反射栅采用铝电极。通过仿真研究了叉指换能器的高度、金属化率变化对声表面波温度传感器性能的影响... 利用有限元软件COMSOL对声表面波温度传感器进行仿真。声表面波温度传感器基底材料为YX-切石英单晶,并在石英上镀ZnO薄膜,叉指换能器和反射栅采用铝电极。通过仿真研究了叉指换能器的高度、金属化率变化对声表面波温度传感器性能的影响,并根据仿真结果设计和制作了一种镀ZnO薄膜的SAW温度传感器。测试结果表明,制作的传感器灵敏度较高(8.8kHz/℃),误差小,具备良好的温度-频率特性。 展开更多
关键词 声表面波 温度传感器 ZNO薄膜 叉指换能器 COMSOL
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Wavelet transform element of SAW type 被引量:8
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作者 LUWenke ZHUChangchun +1 位作者 LIUQinghong LIUJunhua 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2005年第6期599-602,共4页
This paper proposes to use substrate materials of small electromechanical coupling coefficient k2 (such as X-112YLiTaO3) to manufacture wavelet transform element of SAW type so as to reduce finger reflections, i.e. to... This paper proposes to use substrate materials of small electromechanical coupling coefficient k2 (such as X-112YLiTaO3) to manufacture wavelet transform element of SAW type so as to reduce finger reflections, i.e. to reduce the error of wavelet transform element of SAW type. And it is concluded that the smaller the center frequency of the transmitting IDT of wavelet type, the smaller the error. We suggest to choose substrate material with electromechanica coupling coefficient smaller than that of X-112Y LiTaO3 in the manufacture of the transmitting IDTs of wavelet type and the receiving IDTs at center frequencies above 100MHZ, so as to reduce the errors of the transmitting IDTs of wavelet type and the receiving IDTs at center frequencies above 100MHZ. 展开更多
关键词 微波传输模式 声波 SAW 交叉指型传感器 idt 计算方法
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剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究 被引量:6
3
作者 陈颖慧 高杨 +1 位作者 郑英彬 赵兴海 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第2期124-128,共5页
研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器... 研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器电极线条光滑、陡直、清晰,但是成品率较低。对比分析了采用铝和铬金制作的叉指换能器样品结构,结果表明两种金属材料在剥离液中的腐蚀时间不同,铝材料需要较长的剥离时间;两种材料制作的电极图形质量也有差异,铝材料制作的电极更为陡直、精细。 展开更多
关键词 声表面波(SAW) 滤波器 叉指换能器(idt) 剥离 陡直度
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Implementing wavelet transform with SAW elements 被引量:4
4
作者 卢文科 朱长纯 +1 位作者 刘君华 刘清洪 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2003年第6期627-638,共12页
In the design of the finger-overlap envelope according to the envelope of wavelet func-tion, it is concluded that the pulse-response function of the interdigital transducer (IDT) for surface acoustic wave (SAW) is ide... In the design of the finger-overlap envelope according to the envelope of wavelet func-tion, it is concluded that the pulse-response function of the interdigital transducer (IDT) for surface acoustic wave (SAW) is identical to the wavelet function. SAW type of the wavelet-transform ele-ment is manufactured. A new method of using two wavelet-transform elements to manufacture the reconstruction element of the wavelet transform is proposed. The sources of the element error are analyzed, and the methods for reducing the error are put forward. SAW type of the wavelet trans-formation element and its reconstruction element have the following three characteristics: (i) the implementing methods of the wavelet transform element and its reconstruction element are simple, and free of complicated mathematical algorithms of the wavelet transform; (ii) because one of SAW element is fast, the response velocities of SAW type of the wavelet transform element and its reconstruction element are also fast; (iii) the costs of the wavelet transform element and its recon-struction element are low, so the elements may be manufactured in a large quantity. 展开更多
关键词 WAVELET transform element reconstruction element surface acoustic wave(SAW) interdigital transducer (idt).
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压电晶体-液体-固体声波导中叉指换能器对导波的激发研究 被引量:6
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作者 邓明晰 吕霞付 蔡绍皙 《应用声学》 CSCD 北大核心 1999年第3期14-21,共8页
本文对压电晶体-液体-各向同性固体结构的声波导中叉指换能器所激发的导波进行了理论 研究和数值分析,给出了导波的相速度、叉指换能器激发导波的机电耦合系数与液体层归一化厚度、 晶体取向之间的关系曲线。同时,还探讨了声波导中... 本文对压电晶体-液体-各向同性固体结构的声波导中叉指换能器所激发的导波进行了理论 研究和数值分析,给出了导波的相速度、叉指换能器激发导波的机电耦合系数与液体层归一化厚度、 晶体取向之间的关系曲线。同时,还探讨了声波导中的位移场和电势场分布。 展开更多
关键词 声波导 导波 叉指换能器 压电晶体 液-固界面
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金刚石SAW滤波器的设计和制作 被引量:4
6
作者 陈颖慧 高杨 +1 位作者 郑英彬 赵兴海 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第10期662-666,692,共6页
通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋势。基于高声速材料金刚石设计了IDT/ZnO/金... 通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋势。基于高声速材料金刚石设计了IDT/ZnO/金刚石结构的薄膜SAW滤波器,设计了镜像阻抗连接IDT的结构参数,并采用ADS软件对该结构进行了建模仿真。然后,通过ZnO薄膜制备工艺和IDT电极制备工艺,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后,采用RF探针台对所制得的样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明,在金刚石厚膜衬底上获得了频率超过1 GHz的SAW滤波器样品。 展开更多
关键词 射频微机电(RF MEMS) SAW滤波器 金刚石 ZNO薄膜 叉指换能器(idt)
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聚偏氟乙烯叉指的多波段瑞利波水下传播特性
7
作者 丁忠军 冯志亮 +3 位作者 孟德健 李洪宇 张奕 李德威 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期1557-1562,共6页
针对深海装备存在结构损伤实时监测困难的问题,本文设计了柔性电路板制作的以聚偏氟乙烯(PVDF)为基底的叉指换能器,并展开叉指换能器的多波段瑞利波水下传播特性的研究。通过COMSOL软件研究叉指换能器在水下传播瑞利波的特性,同时分析... 针对深海装备存在结构损伤实时监测困难的问题,本文设计了柔性电路板制作的以聚偏氟乙烯(PVDF)为基底的叉指换能器,并展开叉指换能器的多波段瑞利波水下传播特性的研究。通过COMSOL软件研究叉指换能器在水下传播瑞利波的特性,同时分析叉指换能器激励瑞利波的强度与激励周期的关系。设计微伏级OP37放大电路对2 mm和4 mm波长的柔性PCB叉指换能器进行实验验证。实验与仿真结果表明:仿真与实验结果的最大误差为8.4%,水下环境会极大地限制叉指换能器激励瑞利波的距离,但传播距离会随着波长的增加而增加,且通过瑞利波和水声声波的速度差解决叉指换能器激励的水声干扰的问题。 展开更多
关键词 深海装备 瑞利波 无损探伤 叉指换能器(idt) 柔性电路板 薄膜传感器 数值仿真 实时监测
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基于IDTs电极分层布局结构的瑞利波器件特性研究
8
作者 袁宇鑫 武庆鹏 +2 位作者 孙立 孙科学 王艳 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第1期11-17,共7页
现代科技的发展对高频声表面波(SAW)器件的需求不断增加,对其工作频率也提出了更高的要求。为了提高SAW器件的频率,该文构建了一种IDTs电极分层布局的器件模型,即IDTs/AlN/IDTs/R-sapphire结构,并采用有限元法分析其声学性能,包括导纳... 现代科技的发展对高频声表面波(SAW)器件的需求不断增加,对其工作频率也提出了更高的要求。为了提高SAW器件的频率,该文构建了一种IDTs电极分层布局的器件模型,即IDTs/AlN/IDTs/R-sapphire结构,并采用有限元法分析其声学性能,包括导纳、相速度、机电耦合系数等。结果表明,IDTs/AlN/IDTs/R-sapphire结构可激发出瑞利波,且当AlN压电薄膜厚度h_(AlN)=0.4λ(λ为器件周期),水平中心距P_(b)=4μm时,其工作频率为692 MHz,传统的IDTs/AlN/R-sapphire结构器件提高了近1倍(356 MHz),而此时机电耦合系数K^(2)为0.3%,比传统结构高。另外,通过优化IDTs电极的结构参数可进一步改善、调制瑞利波器件的性能。当IDTs的上层铜电极和下层铝电极厚度之比Δh=1.2,P_(b)=4μm,h_(AlN)/λ=0.5时,瑞利波器件的谐振频率为657.9 MHz,K^(2)=1.27%;当P b=6μm时,瑞利波的工作频率为461 MHz,机电耦合系数达到最大(K^(2)_(max)=1.34%),较传统IDTs单层布局结构瑞利波器件分别提升了30%和300%。结果表明,IDTs电极分层布局结构不仅可有效地提高SAW器件的工作频率和机电耦合系数,也可以降低高频SAW器件的制备难度。 展开更多
关键词 声表面波 叉指换能器 有限元分析 机电耦合系数 瑞利波
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新型声表面波式小波变换器件插入损耗的研究 被引量:4
9
作者 卢文科 朱长纯 +2 位作者 刘君华 方建安 文常保 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期371-373,共3页
小波式叉指换能器使用机电耦合系数比较大的基片(如YZ-L iNbO3基片)时,其频率特性曲线不光滑,但插入损耗小;小波式叉指换能器使用机电耦合系数比较小的基片(如X 112°Y-L iTaO3基片)时,其频率特性曲线光滑,但插入损耗大.声表面波器... 小波式叉指换能器使用机电耦合系数比较大的基片(如YZ-L iNbO3基片)时,其频率特性曲线不光滑,但插入损耗小;小波式叉指换能器使用机电耦合系数比较小的基片(如X 112°Y-L iTaO3基片)时,其频率特性曲线光滑,但插入损耗大.声表面波器件的指条对数N越少,其带宽Δf/f越大,插入损耗越大,所以,指条对数N要取的合适,不宜过少.在声表面波式小波变换器件中,发射叉指换能器的条对数N取57,接收叉指换能器的指条对数是57的四分之一到三分之一之间. 展开更多
关键词 声表面波 小波变换器件 插入损耗 又指换能器
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新型抗腐蚀结构声表面波湿度传感器的研究 被引量:4
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作者 童筱钧 钟素娟 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第1期38-40,共3页
为解决声表面波(SAW)湿度传感器存在易被污染、不易清洁、稳定性差等问题,提出了一种新的基于改进的单端口SAW谐振器结构用于湿度检测。在此结构中,在ITO材料制作的叉指换能器和反射阵上溅射厚度为5pm Si3N4层以屏蔽各种腐蚀性物质如酸... 为解决声表面波(SAW)湿度传感器存在易被污染、不易清洁、稳定性差等问题,提出了一种新的基于改进的单端口SAW谐振器结构用于湿度检测。在此结构中,在ITO材料制作的叉指换能器和反射阵上溅射厚度为5pm Si3N4层以屏蔽各种腐蚀性物质如酸性、碱性等腐蚀性气体对SAW谐振器电极的侵蚀。相比常规谐振器,新结构加大了谐振器叉指换能器与一个反射阵之间距用于涂敷湿敏材料,同时在石英基片背面布设ITO材料脱湿电路。给出了基于此类结构SAW湿度传感器的制作工艺、感湿实验测试结果。实验验证了该结构SAW湿度传感器的可清洁性、耐腐蚀性及该结构的有效性。 展开更多
关键词 声表面波 湿度传感器 叉指换能器 抗腐蚀结构
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声表面波技术在微流控研究领域中的应用 被引量:3
11
作者 杨旭豪 刘国君 +3 位作者 赵天 杨志刚 刘建芳 李新波 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第7期438-446,共9页
介绍了声表面波(SAW)器件的基本构造及工作原理,分析了声表面波进入微流体后所产生的复杂的流-固耦合效应。根据液滴随着声表面波功率的增大所出现的不同响应,将声表面波技术在微流控研究领域中的应用具体分为液滴振动及粒子聚集、液滴... 介绍了声表面波(SAW)器件的基本构造及工作原理,分析了声表面波进入微流体后所产生的复杂的流-固耦合效应。根据液滴随着声表面波功率的增大所出现的不同响应,将声表面波技术在微流控研究领域中的应用具体分为液滴振动及粒子聚集、液滴平移及粒子收集、微流体喷射、微流体雾化四大类。分别讨论了各类应用的工作原理及其在相关研究领域中典型的应用实例,指出了声表面波相比其他驱动方式在微流控研究领域中的优势。综合国内外研发现状,分析了目前研究过程中存在的问题,提出了声表面波驱动微流体今后的研究方向。 展开更多
关键词 声表面波(SAW) 叉指型换能器(idt) 微流体 液滴振动 液滴平移 微流体喷射 微流体雾化
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基于微流控芯片的SAW分选技术研究现状 被引量:3
12
作者 刘国君 何芳 +3 位作者 马祥 王记波 李新波 刘建芳 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第9期642-651,共10页
声表面波(SAW)分选技术因其无接触性、生物相容性好等特点,在生物医学、诊断学等领域有着广阔的应用前景。概述了声表面波分选芯片的基本结构组成、叉指换能器(IDT)的基本结构及工作原理,分析了行波声表面波(TSAW)和驻波声表面波... 声表面波(SAW)分选技术因其无接触性、生物相容性好等特点,在生物医学、诊断学等领域有着广阔的应用前景。概述了声表面波分选芯片的基本结构组成、叉指换能器(IDT)的基本结构及工作原理,分析了行波声表面波(TSAW)和驻波声表面波(SSAW)进入流体后产生的复杂的声流效应。根据声表面波分选技术的分选机理不同,将声表面波分选技术分为驻波声表面波分选技术和行波声表面波分选技术。分别讨论了声表面波分选技术的分选原理和研究现状,指出了声表面波分选技术相对于其他分选技术的优势,并综合国内外研究现状分析了研究过程中存在的问题,提出了声表面波分选技术今后的研究方向。 展开更多
关键词 声表面波(SAW) 分选技术 微流控芯片 叉指换能器(idt) 驻波声表面波(SSAW) 行波声表面波(TSAW)
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ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作 被引量:3
13
作者 陈颖慧 郑英彬 +3 位作者 席仕伟 唐彬 王旭光 张慧 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期443-447,478,共6页
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/I... 传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/金刚石新型结构,设计了交错叉指结构和镜像阻抗连接结构的叉指换能器(IDT)参数。通过优化的工艺制备流程,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后采用RF探针台对样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明制备的SAW滤波器样品的测试结果与理论值比较符合,交错叉指结构滤波器获得了很低的插损,镜像阻抗连接结构滤波器有效地提高了带外抑制度。样品IDT指宽2μm,SAW滤波器中心频率可达0.775 GHz。 展开更多
关键词 射频微机电系统(RFMEMS) 声表面波滤波器(SAW) 金刚石 氧化锌薄膜 叉指换能器(idt)
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声表面波谐振器传播状态的ANSYS仿真 被引量:3
14
作者 陈营端 高杨 +1 位作者 白竹川 刘婷婷 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第12期739-743,749,共6页
为描述声表面波的传播状态,利用ANSYS软件对声表面波(SAW)谐振器进行了仿真。在对声表面波产生机理和SAW谐振器工作原理分析的基础上,建立了SAW谐振器仿真模型,讨论了网格划分不同对仿真结果精度的影响,得出了在每个SAW波长尺寸内划分30... 为描述声表面波的传播状态,利用ANSYS软件对声表面波(SAW)谐振器进行了仿真。在对声表面波产生机理和SAW谐振器工作原理分析的基础上,建立了SAW谐振器仿真模型,讨论了网格划分不同对仿真结果精度的影响,得出了在每个SAW波长尺寸内划分30~40个网格可以得到较精确的仿真结果。对不同长度声孔径的声表面波谐振器进行了仿真分析,得出了声表面波只在固体表面1~2个波长深度范围内传播的仿真效果图,与理论分析有很好的一致性。最后对IDT/ZnO/金刚石/Si结构的声表面波器件进行了仿真,得出该结构声表面波器件SAW传播速度与ZnO的厚度成反比,其大小是IDT/ZnO结构器件SAW传播速度的2~3倍。 展开更多
关键词 RF MEMS SAW谐振器 叉指换能器(idt) ANSYS软件 建模与仿真
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声表面波器件体波效应抑制理论研究 被引量:1
15
作者 马伟方 施文康 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2000年第1期8-9,共2页
针对声表面波器件中体波效应的影响,介绍了叉指换能器激发声体波的机理。根据声体波在基片上的不同传播方式,提出了不同的抑制方法。对在基片表面传播的声体波,利用声体波与声表面波有不同的能量传播角改变接收叉指换能器的位置来抑... 针对声表面波器件中体波效应的影响,介绍了叉指换能器激发声体波的机理。根据声体波在基片上的不同传播方式,提出了不同的抑制方法。对在基片表面传播的声体波,利用声体波与声表面波有不同的能量传播角改变接收叉指换能器的位置来抑制体波效应二对在基片体内传播的声体波,则根据其传播和反射原理确定接收叉指换能器的位置来抑制。结果对声表面波器件的设计和工作性能的提高具有指导意义。 展开更多
关键词 声表面波器件 叉指换能器 体波效应抑制
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IDT在YZ-LiNbO_3基片上的体声波激励研究 被引量:2
16
作者 邓明晰 吕霞付 蔡绍皙 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1997年第6期369-371,380,共4页
具有广泛应用前景的声板波液体密度传感器采用了叉指换能器(IDT)在基片上的体声波(BAW)激励效应。文章针对常见的YZ-LiNbO3基片,研究了IDT激励BAW的响应与激励频率之间的关系。压电基片表面的IDT激励的B... 具有广泛应用前景的声板波液体密度传感器采用了叉指换能器(IDT)在基片上的体声波(BAW)激励效应。文章针对常见的YZ-LiNbO3基片,研究了IDT激励BAW的响应与激励频率之间的关系。压电基片表面的IDT激励的BAW在基片内来回反射,选择恰当的IDT激励频率,可得到极大的BAW响应。实验结果和理论分析表明,BAW的极大响应与发射接收IDT的间距、基片厚度和激励频率有确定关系。 展开更多
关键词 叉指换能器 基片 体声波激励
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基于声表面波油包水微液滴分裂研究 被引量:2
17
作者 王保成 付相庭 章安良 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期811-814,共4页
提出了声表面波(SAW)实现油包水微液滴的分裂方法,并在128°YX-LiNbO3基片上研制了分裂油包水微液滴的微器件。在压电基片上采用微电子工艺制作叉指换能器,其激发的SAW部分作用于油包水微液滴,瞬间降低电信号幅度,油相内水微液滴在... 提出了声表面波(SAW)实现油包水微液滴的分裂方法,并在128°YX-LiNbO3基片上研制了分裂油包水微液滴的微器件。在压电基片上采用微电子工艺制作叉指换能器,其激发的SAW部分作用于油包水微液滴,瞬间降低电信号幅度,油相内水微液滴在惯性力作用下发生分裂,油相微液滴由于较大的表面张力发生形变而不分裂。以石蜡油包裹蓝色水相微液滴为研究对象,进行了油包水微液滴分裂实验和理论分析,结果表明,当电信号从功率为12.3dBm瞬间关断时,可实现油相内水微液滴分裂。 展开更多
关键词 声表面波(SAW) 液滴 叉指换能器(idt) 分裂 辐射
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Pspice Equivalent Circuit Model for Implementation of Surface Acoustic Wave Filter
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作者 李媛媛 卢文科 +2 位作者 朱长纯 刘君华 蒋华 《Journal of Donghua University(English Edition)》 EI CAS 2012年第2期148-152,共5页
The crystals of quartz,lithium,and piezoelectric ceramics have a piezoelectric effect as their major characteristic.The surface acoustic wave filter(SAWF) was designed by using this property.However,the experimental c... The crystals of quartz,lithium,and piezoelectric ceramics have a piezoelectric effect as their major characteristic.The surface acoustic wave filter(SAWF) was designed by using this property.However,the experimental cost of the fabrication of SAWF is higher than that of mechanical filter or LC filter.Through the RLC(resistor,inductor and capacitor) network equivalent circuit and the interdigital transducer(IDT) equivalent circuit model,the electromotive force,the mechanical impedance of piezoelectric plate,and the wave number of Mason circuit model were researched.The equivalent circuit can be used to reduce product development costs and shorten the development cycle.Comparing simulation result by Pspice software with the theory of SAWF,the simulated waveform is similar to theory measurement,and the equivalent circuit model is verified. 展开更多
关键词 surface acoustic wave filter(SAWF) interdigital transducer(idt) Mason equivalent circuit Pspice software
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光电集成加速度计中声光波导相位调制器的研究 被引量:1
19
作者 钟娟娟 陈才和 +3 位作者 张燕君 吴波 崔宇明 丁桂兰 《传感技术学报》 CAS CSCD 2004年第4期651-654,共4页
提出一种新型声光波导相位调制技术 ,用于光电集成M -Z光波导干涉型加速度计的信号调制。相位调制器工作在溅射有K8缓冲层的硅基底上 ,工作波长为 1 3μm。主要对声光调制器的特性参数进行了理论分析和优化设计 ,结果为 :氧化锌薄膜尺寸... 提出一种新型声光波导相位调制技术 ,用于光电集成M -Z光波导干涉型加速度计的信号调制。相位调制器工作在溅射有K8缓冲层的硅基底上 ,工作波长为 1 3μm。主要对声光调制器的特性参数进行了理论分析和优化设计 ,结果为 :氧化锌薄膜尺寸 5× 0 8× 0 0 0 3mm ,叉指换能器叉指对数N =17,中心距l=2 7 19μm ,中心频率f0=4 8MHz,中心指长L0 =4 4 6mm。 展开更多
关键词 光波导 声光调制 声表面波(SAW) 相位调制 叉指换能器 氧化锌薄膜
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有液体层负载时压电薄板中兰姆波的传播特性 被引量:2
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作者 邓明晰 刘镇清 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2000年第3期137-141,共5页
对有液体层负载时压电薄板中兰姆波的传播特性进行了理论研究和数值分析 ,给出了兰姆波相速、叉指换能器激发兰姆波的机电耦合系数与压电薄板及液体层归一化厚度之间的关系曲线 ,同时 ,还探讨了压电薄板的晶体取向和电边界条件对兰姆波... 对有液体层负载时压电薄板中兰姆波的传播特性进行了理论研究和数值分析 ,给出了兰姆波相速、叉指换能器激发兰姆波的机电耦合系数与压电薄板及液体层归一化厚度之间的关系曲线 ,同时 ,还探讨了压电薄板的晶体取向和电边界条件对兰姆波特性的影响。文中给出的结果 ,较全面地描述了有液体层负载时压电薄板中兰姆波的传播特性。 展开更多
关键词 压电薄板 兰姆波 液体层负载 叉指换能器 电波传
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