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声表面波器件体波效应抑制理论研究 被引量:1

Study on Bulk-wave Effects in Surface Acoustic Wave Devices
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摘要 针对声表面波器件中体波效应的影响,介绍了叉指换能器激发声体波的机理。根据声体波在基片上的不同传播方式,提出了不同的抑制方法。对在基片表面传播的声体波,利用声体波与声表面波有不同的能量传播角改变接收叉指换能器的位置来抑制体波效应二对在基片体内传播的声体波,则根据其传播和反射原理确定接收叉指换能器的位置来抑制。结果对声表面波器件的设计和工作性能的提高具有指导意义。 Accounting for the bulk-wave effects in SAW devices, it introduces the BAW excitation theory on IDT. According to BAW different propagation ways on the substrate, it puts us different control methods: power flow angles method for the BAW which propagates on the surface of substrate and propagation and reflection method for the BAW which propagates in the substrate. Results show great significance in improving design and performance of SAW devices.
出处 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2000年第1期8-9,共2页 Piezoelectrics & Acoustooptics
基金 上海市科技发展基金!999314016
关键词 声表面波器件 叉指换能器 体波效应抑制 surface acoustic wave (SAW ) interdigital transducer (IDT) bulk-wave effect power-flow angel
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