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基于刻蚀模型的高渗条带控制下剩余油微观赋存特征 被引量:10
1
作者 佟颖 贾元元 《科学技术与工程》 北大核心 2018年第28期80-86,共7页
特高含水期砂岩油藏中普遍出现高渗条带,为研究高渗条带控制下剩余油分布特征,在储层高渗条带动静态特征分析的基础上,建立二维刻蚀模型,通过微观驱替试验研究不同级别高渗条带控制下注入水波及及微观剩余油赋存特征。研究结果表明,对... 特高含水期砂岩油藏中普遍出现高渗条带,为研究高渗条带控制下剩余油分布特征,在储层高渗条带动静态特征分析的基础上,建立二维刻蚀模型,通过微观驱替试验研究不同级别高渗条带控制下注入水波及及微观剩余油赋存特征。研究结果表明,对于存在高渗条带的模型,增大驱替速度仅对绕流式剩余油的挖潜有效,而对包围式簇状、并联式喉道状、死角式点状剩余油影响不大,说明单纯提高驱替速度已不能作为动用高渗条带下剩余油的有效方式,研究结果为特高含水期油藏提高剩余油采收率提供了理论基础。 展开更多
关键词 高渗条带 刻蚀模型 微观剩余油 赋存特征
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弱凝胶调驱的宏观作用及微观机理认识 被引量:8
2
作者 王健 倪聪 +1 位作者 王丹玲 曾云香 《天然气与石油》 2014年第2期39-42,3,共4页
为了提高对弱凝胶在"三采"中调驱作用的综合认识,利用微观刻蚀模型和并联岩芯物理模型,从微观和宏观两方面对弱凝胶的调驱机理进行室内实验研究。微观驱替实验结果表明:弱凝胶的调驱机理主要是,弱凝胶能选择性进入大孔道、能... 为了提高对弱凝胶在"三采"中调驱作用的综合认识,利用微观刻蚀模型和并联岩芯物理模型,从微观和宏观两方面对弱凝胶的调驱机理进行室内实验研究。微观驱替实验结果表明:弱凝胶的调驱机理主要是,弱凝胶能选择性进入大孔道、能使液流改向和黏弹性负压吸油等。并联岩芯物理实验从宏观方面印证了微观驱替实验的结论,并联填砂管在实施调剖后,弱凝胶有选择性地优先进入高渗透水淹层,使低渗透油层得到了十分明显的启动。与此同时,由于弱凝胶是水溶性的,高渗透油层也未发生"堵死"现象。从弱凝胶在孔隙介质中的运移过程和形态变化看,弱凝胶的主要作用是驱,而调只是前期或暂时作用。 展开更多
关键词 弱凝胶 刻蚀模型 并联岩芯 微观 宏观 调驱
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一种硅深刻蚀中抑制Lag效应的新方法 被引量:2
3
作者 张洪海 苑伟政 马志波 《航空精密制造技术》 2010年第3期9-11,共3页
在MEMS器件加工过程中,采用ICP刻蚀不同深宽比的三维结构时,由于Lag效应的影响,使较大尺寸的线条有较快的刻蚀速率,导致刻蚀深度的差异。为了抑制Lag效应,本文以S.L.Lai的三阶段模型为基础,提出一种可以对Lag效应进行补偿的刻蚀模型。
关键词 MEMS Lag效应 刻蚀模型 刻蚀速率
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硅各向异性腐蚀的计算机模拟 被引量:1
4
作者 陈勇 《重庆工学院学报》 2007年第3期26-28,41,共4页
介绍了硅各向异性腐蚀的特点和采用的模型,分析影响硅各向异性腐蚀速率的因素,然后借助计算机MEMS CAD软件ACES和IMEE对硅在KOH溶液情况下各向异性腐蚀情况进行了模拟,其模拟结果对硅各向异性腐蚀速率的研究有一定的参考价值.
关键词 MEMS工艺 各向异性腐蚀 腐蚀模型 MEMS模拟 ACES IMEE
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随机稀释基底上刻蚀模型动力学标度行为的数值模拟研究 被引量:1
5
作者 谢裕颖 唐刚 +5 位作者 寻之朋 韩奎 夏辉 郝大鹏 张永伟 李炎 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期62-69,共8页
表面界面动力学粗化过程是凝聚态物理领域重要的研究内容,为研究基底不完整性对刻蚀模型动力学标度行为的影响,本文采用Kinetic Monte Carlo(KMC)方法,分析研究了在随机稀释基底上刻蚀模型(Etching model)生长表面的动力学标度行为.研... 表面界面动力学粗化过程是凝聚态物理领域重要的研究内容,为研究基底不完整性对刻蚀模型动力学标度行为的影响,本文采用Kinetic Monte Carlo(KMC)方法,分析研究了在随机稀释基底上刻蚀模型(Etching model)生长表面的动力学标度行为.研究发现:尽管随机稀释基底的不完整性会对刻蚀表面的动力学行为产生显著的影响,导致刻蚀表面粗糙度指数和生长指数有明显的增加,但其仍基本满足原有的动力学标度规律.此外,本文还对刻蚀表面动力学标度指数的有限尺寸效应进行了分析讨论. 展开更多
关键词 刻蚀模型 随机稀释基底 动力学标度 有限尺寸效应
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黑云母中α反冲径迹蚀刻模型研究
6
作者 董金泉 袁万明 +1 位作者 王世成 樊祺诚 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第12期957-961,共5页
同裂变径迹定年方法一样,α反冲径迹(Alpha-recoiltracks)定年方法也是天然放射性释放的核粒子在固体中积累产生的可蚀刻径迹。自然界中的黑云母含有微量元素铀和钍,当它们发生α衰变时,每射出一个α粒子就有一个较重的子体核素反冲,在... 同裂变径迹定年方法一样,α反冲径迹(Alpha-recoiltracks)定年方法也是天然放射性释放的核粒子在固体中积累产生的可蚀刻径迹。自然界中的黑云母含有微量元素铀和钍,当它们发生α衰变时,每射出一个α粒子就有一个较重的子体核素反冲,在晶体内形成30—40nm的辐射损失,经过连续反冲就会形成在干涉相差显微镜下可观测的蚀刻径迹,如果自样品形成以来的全部径迹被保存,测得这些径迹数(即α反冲径迹的体密度)就可以得到样品的年龄。对蚀刻模型的研究就是要准确得到α反冲径迹的体密度。应用该蚀刻模型可以在一个样品上多层面、多点位地测定体密度,进而减小误差、提高准确性。 展开更多
关键词 α反冲径迹 定年 蚀刻模型 黑云母
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分形基底上刻蚀模型动力学标度行为的数值模拟研究
7
作者 张永伟 唐刚 +3 位作者 韩奎 寻之朋 谢裕颖 李炎 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期144-150,共7页
为探讨分形基底结构对生长表面标度行为的影响,本文采用Kinetic Monte Carlo(KMC)方法模拟了刻蚀模型(etching model)在谢尔宾斯基箭头和蟹状分形基底上刻蚀表面的动力学行为.研究表明,在两种分形基底上的刻蚀模型都表现出很好的动力学... 为探讨分形基底结构对生长表面标度行为的影响,本文采用Kinetic Monte Carlo(KMC)方法模拟了刻蚀模型(etching model)在谢尔宾斯基箭头和蟹状分形基底上刻蚀表面的动力学行为.研究表明,在两种分形基底上的刻蚀模型都表现出很好的动力学标度行为,并且满足Family-Vicsek标度规律.虽然谢尔宾斯基箭头和蟹状分形基底的分形维数相同,但模拟得到的标度指数却不同,并且粗糙度指数α与动力学指数z也不满足在欧几里得基底上成立的标度关系α+z=2.由此可以看出,标度指数不仅与基底的分形维数有关,而且和分形基底的具体结构有关. 展开更多
关键词 刻蚀模型 分形基底 动力学标度行为
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基于微观驱替实验的剩余油表征方法研究 被引量:15
8
作者 吴聃 鞠斌山 +1 位作者 陈常红 李晨 《中国科技论文》 CAS 北大核心 2015年第23期2707-2710,2715,共5页
为了弄清楚水驱油藏微观剩余油的形成和分布机理及剩余油挖潜的方向,采用毛细管模型研究了微观剩余油形成机理;利用玻璃刻蚀模型进行了室内水驱实验,研究了微观水驱渗流机理。结果表明,在驱替初期,原油沿着微观模型主对角线流动,当形成... 为了弄清楚水驱油藏微观剩余油的形成和分布机理及剩余油挖潜的方向,采用毛细管模型研究了微观剩余油形成机理;利用玻璃刻蚀模型进行了室内水驱实验,研究了微观水驱渗流机理。结果表明,在驱替初期,原油沿着微观模型主对角线流动,当形成有利渗流通道时,驱替液将通过有利孔道流向出口端导致驱替效率降低。根据微观水驱剩余油特征建立了剩余油微观判识定量分类标准,将剩余油分为滴状、柱状、油膜型、分枝状和连片型五种类型。定量分析了水驱结束后不同类型剩余油的比例,分枝状剩余油的比例远远超过了其他几种剩余油的比例,这为进一步进行剩余油挖潜工作提供指导。 展开更多
关键词 毛细管模型 玻璃刻蚀模型 微观水驱 剩余油分类
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硅各向异性腐蚀模型及其模拟进展 被引量:1
9
作者 姜岩峰 黄庆安 +2 位作者 吴文刚 郝一龙 杨振川 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期81-85,共5页
分析了硅各向异性腐蚀模型及其模拟的研究现状。介绍了两类主要的腐蚀模型—几何模型和原子模型各自的特点、利弊及发展变化的趋势 ,最后又列举了几种成熟的、应用不同模型的模拟软件。
关键词 模拟 各向异性腐蚀 模型 微机械加工 MEMS CAD
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电感耦合等离子体(ICP)深刻蚀的模型与模拟 被引量:7
10
作者 张鉴 黄庆安 李伟华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1342-1346,共5页
为对交替复合深刻蚀过程进行工艺仿真,本文利用鞘层近似模型,以离子辅助刻蚀和直接粒子刻蚀的组合来实现交替复合深刻蚀过程中的刻蚀步骤,辅以各向同性钝化过程,对电感耦合等离子体深刻蚀(硅片)进行了建模。本文采用单一的二维廓线"... 为对交替复合深刻蚀过程进行工艺仿真,本文利用鞘层近似模型,以离子辅助刻蚀和直接粒子刻蚀的组合来实现交替复合深刻蚀过程中的刻蚀步骤,辅以各向同性钝化过程,对电感耦合等离子体深刻蚀(硅片)进行了建模。本文采用单一的二维廓线"线算法"模型实现对刻蚀材料的区分,进而实现了对电感耦合等离子体深刻蚀的二维模拟和三维带状显示。其优点是相比元胞及混合模型算法统一,运行效率高、速度快,且模拟结果与实验相比较为理想。 展开更多
关键词 电感耦合等离子体 交替复合深刻蚀 模型 模拟
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化学驱微观机理及体系优选实验研究 被引量:5
11
作者 侯吉瑞 张凤敏 +4 位作者 赵凤兰 宋文秀 鲁渊 郭福广 吴晨宇 《科学技术与工程》 北大核心 2015年第10期72-82,101,共12页
通过微观仿真刻蚀模型,结合河南油田某区块的孔隙结构,在水驱基础上进行表活剂驱、聚合物驱、聚合物/表活剂二元驱.分析研究了每种驱替体系对水驱产生的盲端、膜状、吸附、簇(柱)状、孤岛状的启动机理,同时量化三种化学体系对各类剩... 通过微观仿真刻蚀模型,结合河南油田某区块的孔隙结构,在水驱基础上进行表活剂驱、聚合物驱、聚合物/表活剂二元驱.分析研究了每种驱替体系对水驱产生的盲端、膜状、吸附、簇(柱)状、孤岛状的启动机理,同时量化三种化学体系对各类剩余油在模型中的驱替效率.实验结果表明,盲端剩余油适合高黏聚合物体系,针对不同形状盲端不同界面张力的体系作用效果不同;孤岛状剩余油适合高黏体系,界面张力对其影响不大;吸附状剩余油适合聚合物体系的黏度为(10~20) mPa·s,且降低体系界面张力有利于启动此类型残余油,但在模型中多会形成此类残余油;膜状剩余油在低黏度聚合物体系下即可以很好启动,适宜体系界面张力数量级在10-1~ 10-2之间;化学驱启动剩余油,后续油启动运移过程中易形成小径簇状油,其含量在剩余油中占的饱和度较大. 展开更多
关键词 微观仿真模型 化学驱 残余油 驱油机理 驱替效率
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PECVD法生长晶化硅薄膜的机理 被引量:4
12
作者 白晓宇 郭群超 +3 位作者 柳琴 庞宏杰 张滢清 李红波 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期361-364,435,共5页
硅薄膜在太阳电池中有非常重要的应用,薄膜的晶化对硅薄膜的性质和太阳电池效率都有很大影响,研究薄膜晶化理论具有重要意义。选择刻蚀模型认为H原子会轰击薄膜生长表面,打断吸附较弱的化学键,促使形成强的Si-Si键,使薄膜发生晶化。通过... 硅薄膜在太阳电池中有非常重要的应用,薄膜的晶化对硅薄膜的性质和太阳电池效率都有很大影响,研究薄膜晶化理论具有重要意义。选择刻蚀模型认为H原子会轰击薄膜生长表面,打断吸附较弱的化学键,促使形成强的Si-Si键,使薄膜发生晶化。通过Monte Carlo法对具体的生长晶化过程进行了模拟计算,发现薄膜晶相的转变发生在生长温度350K(77℃)以上,并且在低温(T<550K)下,晶化的过程主要发生在氢稀释度90%以上。结果与实验数据在高氢稀释下基本吻合,低氢稀释下有偏差。认为低氢稀释下晶化反应所需中间产物产量少,模型中未被考虑的其他基团影响了它们的相对数量,造成模拟结果的偏差。模型对硅薄膜晶化过程的理论解释有一定的合理性。 展开更多
关键词 硅薄膜 晶化 选择刻蚀模型
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牺牲层二维腐蚀修正模型的研究 被引量:1
13
作者 俞佳佳 方玉明 +1 位作者 蒋文涛 吉新村 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期809-813,共5页
针对氢氟酸腐蚀氧化硅,深入研究了牺牲层腐蚀的原理。牺牲层腐蚀主要受扩散机制影响。把二维扩散方程中的扩散系数看作溶液浓度和温度的函数,建立了二维腐蚀修正模型。利用有限差分算法求解扩散方程,并使用C语言编程实现了对单开口、内... 针对氢氟酸腐蚀氧化硅,深入研究了牺牲层腐蚀的原理。牺牲层腐蚀主要受扩散机制影响。把二维扩散方程中的扩散系数看作溶液浓度和温度的函数,建立了二维腐蚀修正模型。利用有限差分算法求解扩散方程,并使用C语言编程实现了对单开口、内外拐角等多种复杂组合结构腐蚀过程的模拟,使用MATLAB软件绘制腐蚀图形,最后将模拟结果与实验结果进行了对比,验证了模型的合理性。 展开更多
关键词 牺牲层腐蚀 二维腐蚀模型 扩散系数 计算机模拟
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牺牲层腐蚀平面二维模拟与仿真
14
作者 李艳辉 李伟华 周再发 《电子器件》 EI CAS 2005年第3期532-535,共4页
介绍了影响氢氟酸溶液腐蚀牺牲层速率的主要因素,阐述了一二阶联合模型以及这个模型的极坐标推广。详细讨论了极坐标扩散方程的数值求解算法,并对算法进行了适当的优化,利用C语言进行了计算机编程实现了对腐蚀过程的仿真最后给出腐蚀单... 介绍了影响氢氟酸溶液腐蚀牺牲层速率的主要因素,阐述了一二阶联合模型以及这个模型的极坐标推广。详细讨论了极坐标扩散方程的数值求解算法,并对算法进行了适当的优化,利用C语言进行了计算机编程实现了对腐蚀过程的仿真最后给出腐蚀单端开口结构腐蚀过程的仿真结果。 展开更多
关键词 牺牲层腐蚀 极坐标腐蚀模型 腐蚀前端浓度 腐蚀速率 计算机仿真
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2+1维刻蚀模型生长表面等高线的共形不变性研究
15
作者 寻之朋 唐刚 +3 位作者 夏辉 郝大鹏 宋丽建 杨毅 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第15期20-25,共6页
为了更全面、有效地研究刻蚀模型(etching model)涨落表面的统计性质,基于Schramm Loewner Evolution(SLEκ)理论,对2+1维刻蚀模型饱和表面的等高线进行了数值模拟分析.研究表明,2+1维刻蚀模型饱和表面的等高线是共形不变曲线,可用Schra... 为了更全面、有效地研究刻蚀模型(etching model)涨落表面的统计性质,基于Schramm Loewner Evolution(SLEκ)理论,对2+1维刻蚀模型饱和表面的等高线进行了数值模拟分析.研究表明,2+1维刻蚀模型饱和表面的等高线是共形不变曲线,可用Schramm Loewner Evolution理论进行描述,且扩散系数κ=2.70±0.04,属κ=8/3普适类.相应的等高线分形维数为df=1.34±0.01. 展开更多
关键词 刻蚀模型 Schramm LOEWNER Evolution理论 共形不变性
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基于刻蚀速率匹配的离子刻蚀产额优化建模方法 被引量:1
16
作者 高扬福 宋亦旭 孙晓民 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期336-344,共9页
随着微电子产业的不断发展,刻蚀特征尺度达到纳米级,等离子体刻蚀工艺过程机理研究越来越受到重视.刻蚀表面仿真是研究离子刻蚀特性的重要方法.在离子刻蚀表面仿真中,离子刻蚀产额模型是研究刻蚀机理的重要模型,也是元胞自动机等仿真方... 随着微电子产业的不断发展,刻蚀特征尺度达到纳米级,等离子体刻蚀工艺过程机理研究越来越受到重视.刻蚀表面仿真是研究离子刻蚀特性的重要方法.在离子刻蚀表面仿真中,离子刻蚀产额模型是研究刻蚀机理的重要模型,也是元胞自动机等仿真方法的重要基础.为了解决利用传统方法无法得到准确刻蚀产额模型参数的问题,本文提出一种基于刻蚀速率匹配的离子刻蚀产额优化建模方法,该方法以实际刻蚀速率与模拟刻蚀速率之间的均方差为优化目标,利用基于分解的多目标进化算法来优化离子的刻蚀产额模型参数,并将得到的刻蚀产额模型参数应用到采用元胞方法的刻蚀工艺的实际仿真过程中.实验结果表明了该刻蚀产额优化建模方法的有效性. 展开更多
关键词 刻蚀产额模型 刻蚀速率 多目标进化算法
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充填体底壁人工脱矿的光学相干断层成像观察 被引量:2
17
作者 张林朴 姚晖 +10 位作者 李燕妮 孟卓 连小丽 梁雨 王冠华 万木森 靳淑凤 石博雅 代晓华 姚晓天 刘铁根 《口腔医学》 CAS 2010年第10期581-586,共6页
目的采用光学相干断层成像技术(optical coherence tomography,OCT)观察充填体下窝洞底壁人工酸蚀脱矿模型的成像特点。方法选用36颗牙面光滑、无釉质破损和色素沉着的人离体前磨牙,在牙冠颊面制备"长×宽"为"3 mm×3 mm"... 目的采用光学相干断层成像技术(optical coherence tomography,OCT)观察充填体下窝洞底壁人工酸蚀脱矿模型的成像特点。方法选用36颗牙面光滑、无釉质破损和色素沉着的人离体前磨牙,在牙冠颊面制备"长×宽"为"3 mm×3 mm"的,深度在0.6-1.0 mm的Ⅴ类洞,随机分为3组,每组12颗。实验A组窝洞底壁用格鲁玛酸蚀剂酸蚀2 min,实验B组酸蚀5 min,空白对照组不做酸蚀处理。各组样本牙窝洞均使用复合树脂充填,在充填前后采用OCT系统对窝洞底壁、充填体扫描成像,而后作充填后牙样本近远中向的X-ray投照平片观察窝洞底壁的酸蚀改变。结果充填前窝洞OCT扫描成像显示空白对照组未酸蚀底壁釉质光滑,在表面强反射亮带下可以看到清晰釉质、牙本质层散射信息和釉牙本质界;酸蚀实验组形成窝洞底壁的明显脱钙背向散射层。窝洞充填后OCT扫描成像显示充填体可完整成像;未酸蚀底壁则显示有清晰底壁反射亮带,酸蚀底壁为光信号吸收无显像,二者具有明显不同的成像特点。X-ray投照平片未能发现底壁部位釉质密度改变。结论 OCT可以对牙充填体及其底壁牙体组织成像,酸蚀脱矿的牙体底壁与未酸蚀者有明显不同的成像特点。该方法有助于判断充填体底壁早期继发龋的脱矿改变,与传统X-ray检测方法相比具有明显的优越性。 展开更多
关键词 光学相干断层成像术 窝洞 复合树脂 酸蚀脱矿模型 早期继发龋
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结合实际刻蚀数据的离子刻蚀产额优化建模方法
18
作者 高扬福 孙晓民 +1 位作者 宋亦旭 阮聪 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第24期392-399,共8页
刻蚀表面仿真是研究等离子体刻蚀工艺过程机理的重要手段.在刻蚀表面仿真方法中,刻蚀表面演化模型和离子刻蚀产额模型直接决定了刻蚀表面演化结果.但现有的刻蚀表面演化模型不够精确,且目前离子刻蚀产额模型主要来自分子动力学仿真和物... 刻蚀表面仿真是研究等离子体刻蚀工艺过程机理的重要手段.在刻蚀表面仿真方法中,刻蚀表面演化模型和离子刻蚀产额模型直接决定了刻蚀表面演化结果.但现有的刻蚀表面演化模型不够精确,且目前离子刻蚀产额模型主要来自分子动力学仿真和物理实验,而实际加工过程十分复杂,等效的离子刻蚀产额包含很多因素.针对这些问题,首先对当前的刻蚀表面演化模型进行改进,同时重新定义了离子刻蚀产额模型的优化目标,并利用实际刻蚀加工数据来优化离子刻蚀产额模型.为缩短优化模型所用时间,采用并行方法来加速优化过程.最后,将得到的离子刻蚀产额模型参数应用于采用元胞自动机法的刻蚀工艺实际仿真过程中.实验结果表明,该优化建模方法确实提高了仿真的精确度,同时优化过程所用时间也大大减少. 展开更多
关键词 实际刻蚀数据 刻蚀产额模型 刻蚀速率 多目标进化算法
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