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题名液态金属离子源发射尖的制备工艺与技术
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作者
马向国
顾文琪
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机构
中国科学院电工研究所
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2005年第3期142-144,共3页
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文摘
发射尖是液态金属离子源的关键部件之一,其性能的优劣直接影响到整个离子源的工作稳定性。本文通过对源尖腐蚀的多次实验,开发了一套发射尖腐蚀装置,该装置可以对发射尖插入腐蚀液的深度加以控制,并能在腐蚀完成后自动切断回路电流,实现了发射尖腐蚀工艺的重复性和可靠性,从而为液态金属离子源以及聚焦离子束系统的研制开发提供了一个有效的辅助工具。
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关键词
聚焦离子束
液态金属离子源
发射尖
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Keywords
focused ion beam
liquid metal ion source (LMIS)
emit needle
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名液态金属离子源发射尖的制备工艺与技术
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作者
马向国
顾文琪
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机构
中国科学院电工研究所
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出处
《微细加工技术》
2004年第4期11-15,共5页
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文摘
发射尖是液态金属离子源(LMIS)的关键部件之一,其性能的优劣直接影响到整个离子源的工作稳定性。通过对系统软件和硬件的设计,开发了一套发射尖自动腐蚀装置,该装置可以对发射尖腐蚀过程中的速度和深度以及腐蚀电压进行控制,实现发射尖腐蚀工艺的重复性、可靠性,从而为液态金属离子源以及聚焦离子束系统的研制、开发提供了一个有效的辅助工具。
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关键词
聚焦离子束
液态金属离子源(LMIS)
发射尖
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Keywords
focused ion beam
liquid metal ion source(LMIS)
emit needle
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分类号
TN305.3
[电子电信—物理电子学]
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