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题名双层侧壁保护的Si深槽刻蚀技术
被引量：4
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作者
邓建国
刘英坤
段雪
苏丽娟
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2008年第8期480-483,共4页
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文摘
提出了一种先进的ICP Si深槽刻蚀工艺。在"Bosch"工艺的基础上加以改进,以SF6/O2作为刻蚀气体,C4F8作为侧壁钝化气体,通过在刻蚀过程中引入少量的O2,使得在刻蚀Si深槽过程中侧壁形成由氧离子辐照产生的SiO2薄膜和CFx聚合物淀积产生的双层保护层,强烈保护Si槽侧壁不被刻蚀,保证了良好的各向异性刻蚀。同时,通过优化刻蚀和钝化的时间周期,进一步提高了刻蚀后Si槽的陡直度和平滑的侧壁效果。采用这种工艺技术可制作出满足台面晶体管、高性能梳状沟槽基区晶体管需要的无损伤、平滑陡直的Si槽侧壁形貌。
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关键词
感应耦合等离子体
“Bosch”工艺
硅
双层侧壁保护
各向异性刻蚀
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Keywords
inductively-coupled plasma （ICP）
＂Bosch＂ technology
silicon
double side-wall protection
nonisotropic etching
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
TN304.12
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题名清水混凝土外墙保温中置一体浇筑技术
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作者
徐志斌
李雄
龚湧
曾亿军
杨彪
刘建升
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机构
中建三局集团有限公司(沪)
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出处
《建筑施工》
2022年第1期61-62,66,共3页
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文摘
当建筑墙体两面均需要有饰面清水效果时,保温层只能设置在现浇墙体中部。而目前主流的墙体保温材料挤塑聚苯板密度小、强度低,在混凝土浇筑过程中易漂浮、移动,被混凝土、振动棒的冲击破坏,影响墙体表面清水混凝土观感。基于此,提出并应用了清水混凝土外墙保温中置一体浇筑技术,取得了良好的效果,值得推广。
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关键词
双面清水混凝土墙
保温中置
保温板定位
保温板保护
浇筑控制
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Keywords
double side fair faced concrete wall
middle insulation
insulation board positioning
insulation board protection
pouring control
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分类号
TU755
[建筑科学—建筑技术科学]
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