ULSI用193nm光刻胶的研究进展 被引量：9

1

作者 郑金红 黄志齐 文武 《精细化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期348-353,共6页

从193nm光刻胶的各个组分,如:主体树脂、光致产酸剂、溶解抑制剂、碱性添加剂以及存在的问题和解决途径等多个方面综述了193nm深紫外光刻胶的发展与现状。

关键词 193nm 光刻胶 主体树脂 光致产酸剂 酸敏基团 溶解抑制剂 碱性添加剂

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一种可以正负互用的水型化学增幅抗蚀剂的研究 被引量：6

2

作者 陈明 李元昌 +2 位作者 洪啸吟 焦晓明 程爱萍 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第9期1485-1488,共4页

研究了一种由甲酚醛树脂、六甲氧基甲基三聚氰胺 (HMMM)、六氟磷酸根二苯碘盐和光敏剂组成的水型紫外化学增幅抗蚀剂 ,发现二苯基碘盐不仅可以作为光敏产酸物 ,而且可以作为阻溶剂 .用碘盐作为光敏产酸物 ,光解产生的酸可以在中... 研究了一种由甲酚醛树脂、六甲氧基甲基三聚氰胺 (HMMM)、六氟磷酸根二苯碘盐和光敏剂组成的水型紫外化学增幅抗蚀剂 ,发现二苯基碘盐不仅可以作为光敏产酸物 ,而且可以作为阻溶剂 .用碘盐作为光敏产酸物 ,光解产生的酸可以在中烘时催化甲酚醛树脂与 HMMM的交联反应 ;用氢氧化钠 -乙醇水溶液显影可以得到负性光刻图形 ;采用碘盐作为阻溶剂 ,可阻止非曝光区的胶膜溶解在显影液中 ,用稀的氢氧化钠水溶液显影可以得到正性光刻图形 .通过优化后的光刻工艺条件 ,采用不同的显影液和光刻工艺流程 ,实现了同一光致抗蚀剂的正负性反转 ,并分别得到负性和正性光刻图形 . 展开更多

关键词 阻溶剂 光致抗蚀剂 化学增幅抗蚀剂 正负性反转

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193nm化学放大光刻胶研究进展 被引量：5

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作者 李小欧 顾雪松 +1 位作者 刘亚栋 季生象 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2021年第9期1105-1118,共14页

193 nm光刻胶主要有化学/非化学放大、分子玻璃和无机-有机杂化等类型。目前,商业化193 nm光刻胶基本为化学放大型,主要成分包括聚合物树脂、光致产酸剂、添加剂(碱性添加剂、溶解抑制剂等)和溶剂等。本文从光刻胶的成分出发介绍193 nm... 193 nm光刻胶主要有化学/非化学放大、分子玻璃和无机-有机杂化等类型。目前,商业化193 nm光刻胶基本为化学放大型,主要成分包括聚合物树脂、光致产酸剂、添加剂(碱性添加剂、溶解抑制剂等)和溶剂等。本文从光刻胶的成分出发介绍193 nm化学放大胶的研究进展,概述目前应用及研究中出现的代表性193 nm化学放大胶,总结其优缺点及未来可能的发展方向。 展开更多

关键词 化学放大胶 聚合物树脂 光致产酸剂 碱性添加剂 溶解抑制剂

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160万吨/年溶剂脱沥青装置低压溶剂回收系统腐蚀防护研究

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作者 徐建 《价值工程》 2023年第10期140-142,共3页

某石化公司正丁烷溶剂脱沥青装置设计规模为160万吨/年,装置实际生产过程中,受装置供料减底渣油含硫含氯等影响,装置低压溶剂回收系统存在明显的腐蚀现象,给溶脱装置长周期安全稳定运行带来很大压力。本文对引起溶脱装置腐蚀的主要原因... 某石化公司正丁烷溶剂脱沥青装置设计规模为160万吨/年,装置实际生产过程中,受装置供料减底渣油含硫含氯等影响,装置低压溶剂回收系统存在明显的腐蚀现象,给溶脱装置长周期安全稳定运行带来很大压力。本文对引起溶脱装置腐蚀的主要原因进行分析,针对分析出的原因研究相应的防腐方案,通过技改和操作优化等手段将防腐方案加以实施,通过不断的优化和调整,目前装置腐蚀速率下降明显,取得较好的防腐效果,为装置长周期运行打下了坚实的基础。 展开更多

关键词 溶脱装置 腐蚀 缓蚀剂

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DUV光致抗蚀剂的研究进展(Ⅰ)——主体成膜高分子部分 被引量：2

5

作者 杨凌露 张改莲 余尚先 《信息记录材料》 2003年第1期16-19,共4页

综述了近十年来DUV抗蚀剂体系的进展 ,特别对DUV区化学增幅抗蚀剂的矩阵树脂、产酸源、阻溶剂作了详细的阐述。并指出 ,通过改进感光高分子的结构与组成 。

关键词 DUV光致抗蚀剂 矩阵树脂 产酸源 阻溶剂 化学增幅

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响应面法优化WC氧化溶解复合抑制剂配方的研究 被引量：1

6

作者 陈晓欣 张秀玲 +1 位作者 贾晓鸣 宋月星 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期57-62,共6页

根据通用中心旋转组合(CCD)试验设计原理,采用响应面分析法对复合抑制剂的配方进行试验设计与优化。研究了水热体系环境下由柠檬酸钠、硼砂、对硝基苯甲酸三乙醇胺酯(简称芳环醇胺酯)组成的复合抑制剂对WC粉氧化溶解程度的影响。试验测... 根据通用中心旋转组合(CCD)试验设计原理,采用响应面分析法对复合抑制剂的配方进行试验设计与优化。研究了水热体系环境下由柠檬酸钠、硼砂、对硝基苯甲酸三乙醇胺酯(简称芳环醇胺酯)组成的复合抑制剂对WC粉氧化溶解程度的影响。试验测定了在不同配比抑制剂溶液中加入WC粉前后的电池电动势变化,并以ΔE为响应指标作响应面和等高线,分析了各因素之间的相互作用及WC在各溶液中的浸出程度。结果表明,响应值最大即WC氧化溶解程度最低时的复合抑制剂配方为柠檬酸钠0.983 5g/100mLH2O,硼砂2.507 4g/100mLH2O,摩尔比为1∶1.1的芳环醇胺酯2.510 3g/100mLH2O;回归模型预测值为0.059 07V,实际测定值为0.058 36V。 展开更多

关键词 WC 氧化溶解 复合抑制剂 响应面分析 CCD设计

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测定钢板镀锌层质量的几种腐蚀液比较

7

作者 赵红凌 《理化检验（物理分册）》 CAS 2006年第8期428-429,415,共3页

化学溶解法是检验钢板镀锌层质量的一个主要手段。取不同的腐蚀液对镀锌层质量的影响进行了试验和对比。结果表明,选择盐酸-乙二胺(缓蚀剂)溶解锌层,锌层溶解后钢板表面光洁,所得结果的精确度令人满意。

关键词 化学溶解 镀锌层质量 缓蚀剂 乙二胺

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193nm光致抗蚀剂用新型阻溶剂的合成及性能研究

8

作者 王文君 王力元 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 北大核心 2009年第2期251-254,共4页

以松香酸为主原料合成了适用于193nm光致抗蚀剂的新型阻溶促溶剂,并对其热稳定性、成像性质等进行了研究。结果表明:新型阻溶剂不仅具有良好的热稳定性和阻溶促溶作用,而且在193nm具有良好的透明性,可以应用于193nm光刻胶工艺。

关键词 193 nm光致抗蚀剂 阻溶剂 成像性质 热稳定性

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一种用于阳图CTP版材的改性酚醛树脂的合成

9

作者 杨小怡 章鹤龄 张存林 《首都师范大学学报（自然科学版）》 2007年第1期25-27,共3页

以双酚A-甲醛树脂和N,N_二甲基甲酰胺在三氯氧磷的催化作用下发生酯化反应,将酯化产物与乙烯基乙基醚在溶剂存在条件下发生醚化反应,得到双酚A-甲醛树脂的酯醚化合物,经红外光谱确认其已被酯醚化.对产物的红外吸收谱进行研究,该树脂的... 以双酚A-甲醛树脂和N,N_二甲基甲酰胺在三氯氧磷的催化作用下发生酯化反应,将酯化产物与乙烯基乙基醚在溶剂存在条件下发生醚化反应,得到双酚A-甲醛树脂的酯醚化合物,经红外光谱确认其已被酯醚化.对产物的红外吸收谱进行研究,该树脂的羟基因被酯醚化其吸收明显减少,在有酸条件下促溶无酸时阻溶,将其应用于热敏阳图CTP版材,证明版材敏度得到提高. 展开更多

关键词 阳图 酯醚化合物 红外吸收谱 阻溶促溶剂

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一种氧化叔胺化合物在热敏材料体系中的作用

10

作者 樊武琨 林璐 李仲晓 《信息记录材料》 2010年第6期8-11,共4页

利用双氧水将无色结晶紫分子中的叔胺基团氧化,得到含三个氧化叔胺基团的结晶紫氧化物(OLCV),并通过TGA和DSC测试其热稳定性。将OLCV作为助剂添加到一种基于酚醛树脂的热敏树脂体系中,发现其具有很强的阻溶性,并测定加入量对热敏树脂的... 利用双氧水将无色结晶紫分子中的叔胺基团氧化,得到含三个氧化叔胺基团的结晶紫氧化物(OLCV),并通过TGA和DSC测试其热稳定性。将OLCV作为助剂添加到一种基于酚醛树脂的热敏树脂体系中,发现其具有很强的阻溶性,并测定加入量对热敏树脂的碱溶性影响,研究了该种氧化叔胺化合物的在热敏体系中的可能应用。 展开更多

关键词 热敏 氧化叔胺 阻溶性

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低碳钢阳极溶解行为及有机缓蚀剂的影响

11

作者 吴庆余 《武汉汽车工业大学学报》 CAS 1996年第2期85-88,共4页

用恒电位稳态法和失重法研究了含氯离子的酸性介质中低碳钢阳极溶解行为以及咪唑衍生物对低碳钢缓蚀作用的影响。不加缓蚀剂时，测得低碳钢阳极溶解时对ＯＨ－的反应级数为１，ｂａ随ｐＨ值增大而减小，氯离子浓度变化对低碳钢腐蚀无明... 用恒电位稳态法和失重法研究了含氯离子的酸性介质中低碳钢阳极溶解行为以及咪唑衍生物对低碳钢缓蚀作用的影响。不加缓蚀剂时，测得低碳钢阳极溶解时对ＯＨ－的反应级数为１，ｂａ随ｐＨ值增大而减小，氯离子浓度变化对低碳钢腐蚀无明显影响。有机缓蚀剂的加入增大了钢腐蚀的极化，降低了作为控制步骤的电化学步骤的速度，具有良好的缓蚀效果。 展开更多

关键词 阳极溶解 缓蚀剂 失重法 低碳钢 恒电位稳态法

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盐穴储气库氮气阻溶造腔过程中的管材腐蚀 被引量：2

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作者 文云飞 李自远 +3 位作者 万里平 喻帅 刘振东 岳春林 《石油钻采工艺》 CAS 北大核心 2020年第4期486-489,共4页

受制氮工艺影响,在氮气阻溶过程中,注入的氮气中含有一定量的氧气,导致井下及井口金属材质出现腐蚀,影响后期储气库的安全平稳运行。通过室内高温高压腐蚀失重试验,并结合扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)等表面分析技术,分别测试了氮气... 受制氮工艺影响,在氮气阻溶过程中,注入的氮气中含有一定量的氧气,导致井下及井口金属材质出现腐蚀,影响后期储气库的安全平稳运行。通过室内高温高压腐蚀失重试验,并结合扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)等表面分析技术,分别测试了氮气阻溶造腔工况下氮气浓度、井下温度和井下压力对N80套管在高矿化度盐水环境中的气液两相腐蚀速率,量化了不同因素对管柱腐蚀的影响程度。实验结果表明:现场工况条件下,氮气浓度从80%增加到99.99%,液相腐蚀速率由1.3629 mm/a降为0.0419 mm/a,气相腐蚀速率由0.0176 mm/a变为无腐蚀状态;温度从10℃增加到40℃,液相腐蚀速率由0.3414 mm/a升高到0.4829 mm/a,气相腐蚀速率由0.0051 mm/a升高到0.0089 mm/a;压力从10 MPa升高至14 MPa,液相腐蚀速率由0.5442 mm/a升高到0.6059 mm/a,气相腐蚀速率由0.0066 mm/a升高到0.0089 mm/a。根据上述实验结果,在氮气阻溶造腔实际工况下,当氮气浓度高于95%时,N80造腔管柱气液两相腐蚀速率可满足3~5年的造腔需求,认为95%氮气浓度作为阻溶剂的使用纯度下限,可为氮气阻溶造腔现场操作及制氮方式选择提供依据。 展开更多

关键词 盐穴储气库 氮气阻溶 氮气浓度 腐蚀 N80套管

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不同pH介质对埃索美拉唑镁肠溶胶囊释放度的影响 被引量：2

13

作者 罗军波 刘小均 +2 位作者 李培海 郑强 柯潇 《华西药学杂志》 CAS CSCD 2015年第4期403-405,共3页

目的探讨埃索美拉唑镁肠溶胶囊在不同pH介质中释放曲线的检测方法。方法按照日本"药品品质再评价工程"中的相关方法,测定埃索美拉唑镁肠溶胶囊在pH1.2、6.8、6.0和纯水中的释放曲线,并优化方法。结果埃索美拉唑镁肠溶胶囊在不... 目的探讨埃索美拉唑镁肠溶胶囊在不同pH介质中释放曲线的检测方法。方法按照日本"药品品质再评价工程"中的相关方法,测定埃索美拉唑镁肠溶胶囊在pH1.2、6.8、6.0和纯水中的释放曲线,并优化方法。结果埃索美拉唑镁肠溶胶囊在不同pH介质中的释放行为存在极大差异。结论所用方法能有效地避免胶囊对样品测定结果的影响。 展开更多

关键词 埃索美拉唑镁 肠溶胶囊 释放曲线 pH介质 高效液相色谱法 质子泵抑制剂

原文传递

光/热成像用活性醚化物阻溶/促溶剂的分子设计 被引量：1

14

作者 余尚先 丛培军 +3 位作者 杨金瑞 邵正春 王大伟 顾江楠 《影像科学与光化学》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期37-46,共10页

本文提供了低分子量酚类化合物与乙烯基烷基醚合成醚化率百分之百的高酸解活性醚化物(以下简称活性醚化物)的一般合成方法,并对其合成条件的优选进行了讨论.建立了原料酚类化合物与成像性能密切相关的参数,如羟当量,临界碱水不可溶羟当... 本文提供了低分子量酚类化合物与乙烯基烷基醚合成醚化率百分之百的高酸解活性醚化物(以下简称活性醚化物)的一般合成方法,并对其合成条件的优选进行了讨论.建立了原料酚类化合物与成像性能密切相关的参数,如羟当量,临界碱水不可溶羟当量,临界碱水可溶羟当量,表征原料酚类化合物阻溶、促溶能力比的M_P/A值,按照成像要求所设定的碱水易溶、碱水可溶、碱水微溶、碱水不溶(难溶)的AS_(TW)参数.测定或推算出活性醚化物的平均醚当量、与分子量相关的校正醚当量、活性醚化物的M_E/A_E值以及M_E/A_E值与M_P/A值的比值(即DL值)等多项参数.围绕上述参数的建立,提出了一些经验计算公式,根据所建立的参数值以及多年来从事光/热成像实验的实践,提出了光/热成像用活性醚化物分子设计的有关规则. 展开更多

关键词 光/热成像 活性醚化物 酚类化合物 阻溶/促溶剂 分子设计

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盐穴储气库氮气阻溶注氮量计算及现场试验 被引量：1

15

作者 康延鹏 王文权 +3 位作者 胡建林 巴金红 杜玉洁 李飞珂 《石油钻采工艺》 CAS 北大核心 2020年第4期481-485,共5页

盐穴储气库使用柴油作为阻溶剂,成本高,油水分离难度大,容易污染环境。氮气作为阻溶剂成本较低,环境友好无污染。为此开展了盐穴储气库氮气阻溶现场试验,结合气液界面控制方法,针对造腔过程中气液界面在裸眼和腔顶2种情况,建立氮气注入... 盐穴储气库使用柴油作为阻溶剂,成本高,油水分离难度大,容易污染环境。氮气作为阻溶剂成本较低,环境友好无污染。为此开展了盐穴储气库氮气阻溶现场试验,结合气液界面控制方法,针对造腔过程中气液界面在裸眼和腔顶2种情况,建立氮气注入量计算式,在金坛储气库进行了2个阶段的氮气阻溶现场试验,结果表明,考虑10%~20%的损耗后,计算得到的注氮量和实际注氮量相符,试验井增加腔体体积约5×10^4 m^3,气液界面稳定,腔体形状规则,与设计基本一致。 展开更多

关键词 盐穴储气库 氮气阻溶 注氮量计算 模拟计算

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几类醚化物的水溶性、碱水溶解性和酸解活性 被引量：1

16

作者 杨金瑞 余尚先 顾江楠 《影像科学与光化学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期241-247,共7页

本文对几类典型醚类化合物的水溶性、碱水(5%的Na_2SiO_3·9H_2O)溶解性和酸解活性进行了初步研究,查阅了这些醚类化合物的水溶性,并测定了其碱水溶解性、临界碱水不可溶醚当量以及在微量酸存在条件下的酸解活性,研究结果表明,对一... 本文对几类典型醚类化合物的水溶性、碱水(5%的Na_2SiO_3·9H_2O)溶解性和酸解活性进行了初步研究,查阅了这些醚类化合物的水溶性,并测定了其碱水溶解性、临界碱水不可溶醚当量以及在微量酸存在条件下的酸解活性,研究结果表明,对一般醚类化合物而言,当醚键中不含p-π共轭时其临界水不溶醚当量为116,临界碱水不溶醚当量为102;当醚键中含p-π共轭时其临界水不溶醚当量在56—100之间,临界碱水不溶醚当量在56—72之间,这些数据对光/热成像用活性醚化物阻溶/促溶剂的分子设计以及碱显影成像制版具有重大的指导意义。 展开更多

关键词 醚类化合物 水溶性 碱水溶解性 酸解活性 阻溶/促溶剂

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