数字合成全息系统 被引量：28

1

作者 王金城 郭欢庆 +1 位作者 郎海涛 马跃 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第7期740-743,共4页

研究了数字合成全息系统的原理 ,给出了分别使用薄膜晶体管液晶显示器 (IFT- L CD)和数字微反射镜 (DMD)做空间光调制器的两种数字合成全息的设计方案 ,其中第一种方案做了实验验证。得到了合成动态全息图。

关键词 全息 数字合成 薄膜晶体管液晶显示器 TFT-LCD 数字微反射镜 dmd 全息摄影

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基于数字微镜器件的中阶梯光栅光谱仪的光学系统设计 被引量：15

2

作者 张锐 潘明忠 +2 位作者 杨晋 巴音贺希格 崔继承 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期2994-3000,共7页

研究了一种基于数字微镜器件(DMD)具有新型光路结构的中阶梯光栅光谱仪,并采用新的谱图信息接收方式来降低其使用成本和数据处理过程的复杂程度。将具有单波长选通功能的DMD与一维探测器光电倍增管(PMT)相结合接收中阶梯光栅光谱仪的光... 研究了一种基于数字微镜器件(DMD)具有新型光路结构的中阶梯光栅光谱仪,并采用新的谱图信息接收方式来降低其使用成本和数据处理过程的复杂程度。将具有单波长选通功能的DMD与一维探测器光电倍增管(PMT)相结合接收中阶梯光栅光谱仪的光谱信息,在降低仪器成本的同时将中阶梯光栅光谱仪谱图还原算法与DMD扫描驱动算法相整合,提高了算法效率。由于DMD的填充因子比CCD稍低,该类光谱仪对成像质量和能量集中度提出了更高的要求。本文根据DMD型中阶梯光栅光谱仪特点,在有限的可挑选的光学材料下,采用多重优化的方式合理设计了中阶梯光栅光谱仪准直镜、中阶梯光栅、棱镜、聚焦镜等各个光学元件的光路结构参数,并且在Czerny-Turner结构中加入校正透镜和场镜,校正了系统所有像差,提高了整个光学系统的成像质量和光谱分辨率。最终设计的光谱仪系统分辨率达0.01nm,单个微反射镜内的光斑能量聚集度达到70%。 展开更多

关键词 中阶梯光栅光谱仪 光学设计 数字微镜器件 光电倍增管

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基于DMD的数字全息显示及其再现像质增强 被引量：11

3

作者 魏涛 朱建华 +2 位作者 陈立功 宋佼 杜惊雷 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期952-956,共5页

采用DMD作为空间光调制器构建了一套数字全息显示系统.分析了数字全息图光学再现中影响再现图像质量的因素,提出了一种采用频域滤波重建高条纹对比度滤波全息图来改善其光学再现图像质量的新方法·采用信噪比及图像亮度作为评价参量... 采用DMD作为空间光调制器构建了一套数字全息显示系统.分析了数字全息图光学再现中影响再现图像质量的因素,提出了一种采用频域滤波重建高条纹对比度滤波全息图来改善其光学再现图像质量的新方法·采用信噪比及图像亮度作为评价参量,对原始全息图和滤波全息图的数值再现像进行定量分析表明,滤波后全息图的再现像质量明显优于原始全息图的再现像·基于DMD数字全息显示系统的光学再现实验也验证了理论分析结果· 展开更多

关键词 数字全息术 频域滤波 数字微反射镜器件(dmd) 光学再现

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数字微镜器件在视频全息中的应用 被引量：11

4

作者 王大鹏 韦穗 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期50-55,共6页

为研究数字微镜器件在视频全息中的应用,探讨了基于数字微镜器件的全息编码方法。基于数字微镜器件的微观物理结构,讨论二维离散微镜像素结构、开态微镜列的闪耀光栅特性和脉宽调制的微镜偏转工作原理。将数字微镜器件分辨力、微镜尺寸... 为研究数字微镜器件在视频全息中的应用,探讨了基于数字微镜器件的全息编码方法。基于数字微镜器件的微观物理结构,讨论二维离散微镜像素结构、开态微镜列的闪耀光栅特性和脉宽调制的微镜偏转工作原理。将数字微镜器件分辨力、微镜尺寸、间隔、旋转角度、参考光入射角以及衍射条件等因素结合到计算全息编码中,提出干涉面抽样方法、相位补偿技术和无偏置二元全息编码方法,使产生的计算全息图适应数字微镜器件独特的空间光调制特性和计算视频全息的要求。实验表明,该方法调整了重构物光波的衍射方向,集中了衍射光在重构像中的分布,增加了成像清晰度和光能有效利用率,提高了全息编码效率。 展开更多

关键词 全息术 全息编码 计算视频全息 数字微镜器件

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基于数字微镜器件的并行彩色共聚焦测量系统 被引量：13

5

作者 张一 余卿 +2 位作者 张昆 程方 崔长彩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期859-866,共8页

彩色共聚焦技术因其高分辨率、高测速的特点,在表面形貌测量领域备受关注,然而现有的彩色共聚焦技术多为单点测量,一定程度上限制了测量效率。本文在彩色共聚焦技术的基础上,以DMD作为光分束器件,结合自主研发的大口径色散管镜,利用面... 彩色共聚焦技术因其高分辨率、高测速的特点,在表面形貌测量领域备受关注,然而现有的彩色共聚焦技术多为单点测量,一定程度上限制了测量效率。本文在彩色共聚焦技术的基础上,以DMD作为光分束器件,结合自主研发的大口径色散管镜,利用面阵彩色相机作为光电接收器件,研究和建立了基于数字微镜器件的并行彩色共聚焦实验平台,实现了对被测物面上多个探测点的并行图像处理。最终,利用所搭建的并行彩色共聚焦测量系统,对50μm高的台阶和自制台阶进行了测量,并对硬币的表面形貌进行了三维恢复。实验结果表明,该测量系统的轴向测量范围为300μm,测量精度达到微米级;同时,能够较好地恢复硬币的表面形貌特征,具有较好的测量效率与可靠性。 展开更多

关键词 光学测量 彩色共聚焦技术 数字微镜器件 彩色相机 表面形貌三维重构

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数字微镜器件用于并行共焦测量的再研究 被引量：11

6

作者 余卿 余晓芬 +1 位作者 刘文文 程伶俐 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期229-233,共5页

数字微镜器件(DMD)可以控制其中每个微镜的偏转状态,相对于其他光分束器件,它可以构建出点光源大小可变、间距可调的柔性阵列光源。在前期研究的基础上,理论上推导出该阵列光源可以用于并行共焦测量,改进了测量光路,并结合实际使用找到... 数字微镜器件(DMD)可以控制其中每个微镜的偏转状态,相对于其他光分束器件,它可以构建出点光源大小可变、间距可调的柔性阵列光源。在前期研究的基础上,理论上推导出该阵列光源可以用于并行共焦测量,改进了测量光路,并结合实际使用找到了合适的阵列光源参数,获知了并行共焦测量系统的纵向分辨率与点光源大小的关系,最终通过对实物的测量较完善地阐述了基于DMD的并行共焦测量系统。 展开更多

关键词 测量 数字微镜器件 柔性 阵列光源 并行共焦测量系统

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用数字微反射镜器件合成体视全息图拍摄系统 被引量：8

7

作者 杨世宁 李耀棠 +3 位作者 王天及 张世超 范少武 黄云 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第7期719-721,共3页

本文介绍了数字微反射镜器件 (DMD)的工作原理和使用 DMD的合成体视动态全息图拍摄系统。本系统采用计算机图形输入和处理技术 ,以在 DMD上分别产生的数十幅分立时间序列的物体的不同角度图像制做出有体视效果的动态全息图。

关键词 体视全息图拍摄系统 体视全息图 动态全息图 数字微反射镜器件

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基于DMD的红外场景仿真系统光学引擎设计 被引量：8

8

作者 蹇毅 潘兆鑫 于洋 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期375-379,共5页

针对DMD(Digital Micromirror Device)器件是针对可见光波段设计,直接用于红外波段会遇到问题,提出了一种远心投影光学引擎架构,包括投影光学系统和照明光学系统.该光学引擎采用柯勒远心照明架构,并引入一片场镜来分离投影和照明光束.... 针对DMD(Digital Micromirror Device)器件是针对可见光波段设计,直接用于红外波段会遇到问题,提出了一种远心投影光学引擎架构,包括投影光学系统和照明光学系统.该光学引擎采用柯勒远心照明架构,并引入一片场镜来分离投影和照明光束.这种光学引擎结构紧凑、照明均匀、光能利用率高. 展开更多

关键词 红外仿真 数字微镜阵列(dmd) 光学设计

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数字微镜器件闪耀特性及其在全息显示中的应用 被引量：8

9

作者 许富洋 李勇 高志强 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期332-335,共4页

为了提高数字微镜器件的空间光调制性能,发挥其在全息显示和三维重构等方面的作用,研究了数字微镜器件的闪耀特性.结合数字微镜器件的物理结构,利用反射光栅理论分析了数字微镜器件的闪耀规律,进行了理论计算与实验修正,得出了其存在四... 为了提高数字微镜器件的空间光调制性能,发挥其在全息显示和三维重构等方面的作用,研究了数字微镜器件的闪耀特性.结合数字微镜器件的物理结构,利用反射光栅理论分析了数字微镜器件的闪耀规律,进行了理论计算与实验修正,得出了其存在四个相对闪耀状态的结论,而通常实验所要求的24°角入射,为出现相对闪耀状态的最小入射角.据此,可在全息显示中选择恰当的入射角,改变数字微镜器件的闪耀状态,增强全息再现的视觉效果.以傅里叶变换全息为例进行了具体应用研究,通过再现光入射角的调节,可实现闪耀级次的调整,并增强了再现的视觉效果.实验表明,分析结果是正确的. 展开更多

关键词 全息显示 数字微镜器件 闪耀特性 傅里叶变换全息

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基于数字微镜器件亚微米制备技术研究 被引量：7

10

作者 陆锦洪 谢向生 +1 位作者 张培晴 周建英 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期600-604,共5页

为了实时、便捷的改变光刻图案以用于微纳光子器件制备,使用数字微镜器件构建了一套无掩模亚微米尺度制备系统.基于阿贝成像原理分析了周期结构在相干光照明下的成像过程,并用数值模拟以及空间滤波实验证明了这个过程.使用此实验系统制... 为了实时、便捷的改变光刻图案以用于微纳光子器件制备,使用数字微镜器件构建了一套无掩模亚微米尺度制备系统.基于阿贝成像原理分析了周期结构在相干光照明下的成像过程,并用数值模拟以及空间滤波实验证明了这个过程.使用此实验系统制作出了周期为900nm的二维结构以及周期为数十微米的带缺陷结构.实验表明,使用数字微镜器件可以方便的制作出亚微米尺度的图案. 展开更多

关键词 干涉光刻 傅里叶光学 微纳光子器件 阿贝成像原理 数字微镜器件

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一种数字微镜阵列分区控制和超分辨重建的压缩感知成像法 被引量：7

11

作者 刘海英 李云松 吴成柯 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期175-182,共8页

提出一种压缩感知成像框架结构.该结构采样端用新建的采样矩阵实现数字微镜阵列分区控制,可增强信息获取的准确性,测量得到与新数字微镜阵列对应的压缩采样值;重构端由采样值优化重构出低分辨率图像后,根据分区控制过程建立压缩感知理... 提出一种压缩感知成像框架结构.该结构采样端用新建的采样矩阵实现数字微镜阵列分区控制,可增强信息获取的准确性,测量得到与新数字微镜阵列对应的压缩采样值;重构端由采样值优化重构出低分辨率图像后,根据分区控制过程建立压缩感知理论框架下的超分辨重建模型,利用梯度稀疏约束优化算法进行求解,恢复出原高分辨率图像.实验结果表明:数字微镜阵列分区控制与超分辨重建相结合的方法可以明显降低压缩感知成像系统的计算量,缩短成像时间,并且具有较高的图像重构质量. 展开更多

关键词 光学成像 成像系统 压缩感知 超分辨重建 总变差算法 数字微镜阵列 优化

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分数傅里叶分块算法全息图的编码与动态显示 被引量：7

12

作者 韩超 韦穗 刘凯峰 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期3299-3303,共5页

为了降低分数傅里叶全息图制作的复杂性,根据信号的分数傅里叶变换的定义式和菲涅耳衍射公式,通过求解它们的点扩展函数(PSF),推导出分数傅里叶变换与菲涅耳衍射公式的等价关系,从而把分数傅里叶变换转化为菲涅耳衍射。采用人眼分辨率... 为了降低分数傅里叶全息图制作的复杂性,根据信号的分数傅里叶变换的定义式和菲涅耳衍射公式,通过求解它们的点扩展函数(PSF),推导出分数傅里叶变换与菲涅耳衍射公式的等价关系,从而把分数傅里叶变换转化为菲涅耳衍射。采用人眼分辨率极限尺寸和数字微镜器件(DMD)像素的尺寸分别对物体所在平面和全息图所在平面进行抽样,运用分块算法生成分数傅里叶全息图,使计算复杂度降低为O[N2lb(N2/M2)],提出了一种可行的动态全息显示方法,最后通过DMD全息显示系统对该算法生成的全息图进行实验验证。 展开更多

关键词 全息术 分块算法 分数傅里叶变换 菲涅耳衍射 数字微镜器件

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移动互联网络时代MEMS技术的创新发展 被引量：6

13

作者 赵正平 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第6期337-341,共5页

微电子机械系统(MEMS)技术是半导体微电子学的创新,利用Si基集成电路的平面工艺从两维加工向三维加工发展,开创了MEMS新的领域。综述并分析了与信息产业以及移动网络相关的MEMS主流产品(加速度计、陀螺仪、微麦克风、数字微镜器件(DMD)... 微电子机械系统(MEMS)技术是半导体微电子学的创新,利用Si基集成电路的平面工艺从两维加工向三维加工发展,开创了MEMS新的领域。综述并分析了与信息产业以及移动网络相关的MEMS主流产品(加速度计、陀螺仪、微麦克风、数字微镜器件(DMD)、喷墨头和RF MEMS)的技术发展现状和趋势,同时预测了MEMS新兴产品(光滤波器、微小电子鼻、微扬声器、微超声器、微能量采集器和纳机电系统(NEMS))的科研现状和面临的技术挑战。从当前世界MEMS技术发展的特点(系统集成、与CMOS工艺结合走向标准加工、纳米制造与微米、纳米融合和多应用领域扩展)出发,结合国内MEMS技术发展的现状,提出我国MEMS技术发展的建议。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS) 纳机电系统(NEMS) 加速度计 陀螺仪 微麦克风 数字微镜器件(dmd) 微能量采集器 喷墨头

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8～12μm红外动态热像模拟器光机结构设计 被引量：6

14

作者 潘越 徐煕平 乔杨 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期1853-1860,共8页

针对常规红外动态热像模拟器光能利用率低,结构复杂,机加与装调困难,无法模拟地面目标及场景的问题,提出一种基于DMD调制的大视场、易装调、结构紧凑的长波红外动态热像模拟器。模拟器采用场镜与反射镜分离照明与投影光束,光能利用率约... 针对常规红外动态热像模拟器光能利用率低,结构复杂,机加与装调困难,无法模拟地面目标及场景的问题,提出一种基于DMD调制的大视场、易装调、结构紧凑的长波红外动态热像模拟器。模拟器采用场镜与反射镜分离照明与投影光束,光能利用率约为TIR棱镜分光结构的2倍左右,同时针对两者的特殊位置设计了多维微调结构;为避免不同材料间热膨胀系数不同所引起的透镜光学表面受力不均,影响照明均匀性,对照明光学系统进行了热稳定结构设计;利用MATLAB求解出黑体的温度变化范围,并拟合出经光学系统前后辐射出射度的比值随温度变化曲线。温度测试与仿真实验表明,黑体温度从50℃变化为350℃的过程中,仿真背景温度漂移为8.1℃,约为模拟温差的7.84%,黑体温度为400℃时其图像对比度达到0.8以上,满足现阶段红外动态热像模拟器的使用要求。 展开更多

关键词 半实物仿真 热像模拟 dmd 光机结构

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自校准型光谱辐亮度标准光源 被引量：5

15

作者 李福田 李志刚 +2 位作者 王晓旭 王俊博 蔺超 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期2004-2010,共7页

针对高精度空间光学定量遥感的需求,研制了一种采用数字微镜器件的自校准型光谱辐亮度标准光源。该光源具有两种工作模式:在窄带工作模式下,由Gershun管辐射计和CAS光谱辐射计自校准;在宽带工作模式下,作为光谱辐亮度标准光源用于地面... 针对高精度空间光学定量遥感的需求,研制了一种采用数字微镜器件的自校准型光谱辐亮度标准光源。该光源具有两种工作模式:在窄带工作模式下,由Gershun管辐射计和CAS光谱辐射计自校准;在宽带工作模式下,作为光谱辐亮度标准光源用于地面或空间遥感仪器的光谱辐亮度响应度定标。以光谱辐照度标准光源和Spectralon标准漫反射板组成光谱辐亮度标准光源为CAS光谱辐射计定标,测得自校准光源的光谱辐亮度。又以标准探测器定标的Gershun管辐射计测量自校准光源,采用迭代法得到自校准光源的光谱辐亮度。窄带模式下两种不同定标方法对自校准光源的光谱辐亮度测量结果在测量不确定度允许范围内一致。不确定度分析显示:基于标准光源和基于标准探测器的自校准光源光谱辐亮度测量不确定度分别为1.41%~2.09%和1.28%~1.61%。实验及不确定度分析结果表明,该光源可以满足高精度空间光学定量遥感的使用要求。 展开更多

关键词 辐射度学 光学遥感 辐射定标 光源 数字微镜器件(dmd)

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数字微镜器件的时空特性对相位测量轮廓术影响的实验研究 被引量：4

16

作者 李勇 苏显渝 吴庆阳 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期57-58,共2页

数字微镜(DIMD)投影机具有亮度高、对比大、像质好、全数字,系统体积小等特点,将它用在相位测量轮廓术(PMP)中可以实现高精度的相移提高三维测量的精度,同时可以实现系统的小型化。然而,DMD投影机采用数字光处理技术(DLP) ,它对摄像—... 数字微镜(DIMD)投影机具有亮度高、对比大、像质好、全数字,系统体积小等特点,将它用在相位测量轮廓术(PMP)中可以实现高精度的相移提高三维测量的精度,同时可以实现系统的小型化。然而,DMD投影机采用数字光处理技术(DLP) ,它对摄像—投影系统的时间匹配要求较高。如果时间不匹配,会引入光强测量误差,导致三维测量精度降低。本文根据DMD投影原理及探测器积分情况,先分析了当测量系统时间不匹配时,光强测量误差与积分时间的关系;通过实验研究了摄像机积分时间与投影周期的匹配关系对相位测量的影响。得出了积分时间为投影周期的整数倍时,相位测量误差最小;当积分时间与投影周期为非整数倍关系时,积分时间越长,测量误差越小的结论。为优化投影参数,选择合适的相移算法及测量数据预处理算法提供了依据。 展开更多

关键词 数字微镜 相位测量轮廓术 结构照明 测量误差

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基于符合计数滤波优化的光量子成像方法 被引量：1

17

作者 周牧 嵇长银 +2 位作者 谢良波 曹静阳 聂伟 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第6期2089-2097,共9页

量子成像(QI)具有抗侦察、抗干扰和高分辨力等特性,是量子光学领域重要的研究方向。为了解决实际量子成像过程中因环境光引起符合计数值异常所导致成像质量下降的问题,该文提出一种基于符合计数滤波优化的光量子成像方法。首先,对原始... 量子成像(QI)具有抗侦察、抗干扰和高分辨力等特性,是量子光学领域重要的研究方向。为了解决实际量子成像过程中因环境光引起符合计数值异常所导致成像质量下降的问题,该文提出一种基于符合计数滤波优化的光量子成像方法。首先,对原始的符合计数值进行3层离散小波变换(DWT)得到相应的小波系数;然后,对小波系数中的高频成分进行高斯滤波去噪,并通过小波逆变换得到去噪后的符合计数值;最后,基于该符合计数值,利用线性映射方法实现对目标的量子成像。该文通过仿真分析了图像像素数、单像素曝光时间和符合门宽值对成像结果的影响,并搭建了实际的量子成像光路来验证仿真结果的有效性。 展开更多

关键词 量子成像 符合计数 小波变换 高斯滤波 数字微镜器件

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基于数字微镜器件实现共焦测量的结构光参数 被引量：4

18

作者 余卿 叶瑞芳 范伟 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1272-1278,共7页

虽然采用并行共焦测量提升了共焦测量速度,但系统中的传统光分束器件参数固化后难以适应不同的被测对象。本文利用数字微镜器件(Digital Micromirror Device,DMD)可产生柔性化结构光的特点,将其作为光分束器件引入共焦测量装置以提升系... 虽然采用并行共焦测量提升了共焦测量速度,但系统中的传统光分束器件参数固化后难以适应不同的被测对象。本文利用数字微镜器件(Digital Micromirror Device,DMD)可产生柔性化结构光的特点,将其作为光分束器件引入共焦测量装置以提升系统对被测对象的适应性。理论分析了DMD的空间调制方法,搭建了DMD的共焦测量装置,研究了DMD结构光参数对共焦测量轴向分辨率、横向分辨率以及图像对比度等指标的影响。实验表明,在光学系统参数匹配的条件下,结构光光点参数越小,测量分辨率越高。同时,利用DMD进行柔性化照明,改善了因光点参数小造成的图像对比度下降的问题。得到的结果为研究基于DMD的跨尺度测量方法提供了研究基础。 展开更多

关键词 共焦测量 分光器件 数字微镜器件 结构光 柔性化照明

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数字灰度投影光刻技术 被引量：4

19

作者 赵立新 严伟 +6 位作者 王建 胡松 唐小萍 王肇志 王淑蓉 张正荣 张雨东 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第3期181-185,共5页

随着MEMS和MOEMS技术的发展和器件制作对低成本、灵活、高效的需求,数字灰度无掩模光刻技术已成为人们研究的热点。介绍了一种基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字灰度投影光刻技术,结合电寻址数字微镜阵列的工作方式,分析了DMD的灰度调... 随着MEMS和MOEMS技术的发展和器件制作对低成本、灵活、高效的需求,数字灰度无掩模光刻技术已成为人们研究的热点。介绍了一种基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字灰度投影光刻技术,结合电寻址数字微镜阵列的工作方式,分析了DMD的灰度调制机理和投影成像特性;阐述了DMD微镜结构与投影系统的倍数、数值孔径的关系;设计了投影光刻系统,并进行了分辨力和三维面形的曝光实验。实验结果表明,数字灰度投影光刻技术灵活、方便,尤其在三维浮雕微结构的制作方面,可实现光刻灰度的数字化调制,表面粗糙度可达0.1μm。 展开更多

关键词 数字灰度光刻 无掩模光刻 投影物镜 数字微镜器件 拼接

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优化掩模分布改善数字光刻图形轮廓 被引量：3

20

作者 郭小伟 杜惊雷 刘永智 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期794-798,共5页

基于数字微反镜(DMD)的无掩模数字光刻系统可用于IC掩模制作或直接作为微结构的加工工具,有着广泛的应用前景。但理论和实验均发现基于DMD数字光刻系统加工连续表面微结构元件时,往往难以获得预期的图形轮廓,加工出的图形表面具有规则... 基于数字微反镜(DMD)的无掩模数字光刻系统可用于IC掩模制作或直接作为微结构的加工工具,有着广泛的应用前景。但理论和实验均发现基于DMD数字光刻系统加工连续表面微结构元件时,往往难以获得预期的图形轮廓,加工出的图形表面具有规则的振荡起伏。在深入探讨DMD灰度图形传递的基础上,分析了空间像畸变产生的物理机制,并提出用模拟退火算法来优化掩模图形,在5%的相对曝光量偏差范围内模拟表明优化有效地消除了表面起伏,最后利用优化的掩模实验加工出表面轮廓比较良好的轴锥镜阵列。该方法能有效改善面形质量,而且不存在掩模制作等问题,这对于制作高质量的微结构元件有重要意义。 展开更多

关键词 无掩模光刻 表面起伏校正 模拟退火算法 数字微反镜

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