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扩散泵和扩散喷射泵技术 被引量：1
1
作者 王壮 苏玉萍 +1 位作者 张明达 李智慧 《真空》 CAS 2014年第6期15-20,共6页
本文介绍和给出了扩散泵以及扩散喷射泵的主要尺寸、参数的设计与计算,并对抽气速率、蒸发面积及喷咀设置与返流率等问题进行探讨。最后对两种产品实例进行分析和计算,为产品设计、生产和改进提供参考和依据。
关键词 扩散泵 扩散喷射泵 设计 计算
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