集成电路制造用溅射靶材绑定技术相关问题研究 被引量：7

1

作者 雷继锋 《金属功能材料》 CAS 2013年第1期48-53,共6页

集成电路制造用溅射靶材的绑定技术,又称焊接或粘接技术,是溅射机台设计和制造工程师、溅射靶材开发生产工程师、以及集成电路制造工艺和设备工程师共同关心的问题,通过对比研究机械连接、钎焊、胶粘结、扩散焊、电子束焊和爆炸焊的应... 集成电路制造用溅射靶材的绑定技术,又称焊接或粘接技术,是溅射机台设计和制造工程师、溅射靶材开发生产工程师、以及集成电路制造工艺和设备工程师共同关心的问题,通过对比研究机械连接、钎焊、胶粘结、扩散焊、电子束焊和爆炸焊的应用条件和优缺点,增进溅射靶材设计、生产和使用相关工程师对靶材绑定技术的交流和认识。 展开更多

关键词 溅射靶材 钎焊 扩散焊 电子束焊 爆炸焊

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连接温度、压力和保温时间对Ti_3SiC_2/Ni扩散连接接头性能的影响 被引量：4

2

作者 尹孝辉 李美栓 +1 位作者 王阳 周延春 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A02期461-464,共4页

利用Gleeble 3500热模拟实验机,在800～1100℃、10～90min和6～20 MPa条件下对Ti_3SiC_2和Ni进行真空扩散连接。通过正交实验,研究了连接温度、连接压力和高温保温时间对试样连接强度的影响,优选出最佳工艺参数。结果表明,扩散连接工艺... 利用Gleeble 3500热模拟实验机,在800～1100℃、10～90min和6～20 MPa条件下对Ti_3SiC_2和Ni进行真空扩散连接。通过正交实验,研究了连接温度、连接压力和高温保温时间对试样连接强度的影响,优选出最佳工艺参数。结果表明,扩散连接工艺参数显著影响Ti_3SiC_2/Ni接头的剪切强度。在1000℃、10min和20MPa实验条件下,获得的Ti_3SiC_2/Ni接头的剪切强度达到(121±7)MPa,接近Ti_3SiC_2陶瓷的剪切强度。 展开更多

关键词 TI3SIC2 Ni 扩散连接 剪切强度

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钢/铜/钛扩散复合界面显微组织和力学性能 被引量：3

3

作者 于昕 刘德义 +1 位作者 陈汝淑 刘世程 《大连交通大学学报》 CAS 2009年第6期30-34,共5页

采用碳钢管作为基层、纯钛管作为覆层、纯铜箔作为中间层,利用拉拔-内压热扩散复合法,制备碳钢、铜、钛三金属管复合管.借助扫描电镜(SEM)观察了复合界面附近的显微组织并用能谱分析仪(EDS)测定了界面附近的元素分布.通过剪切和硬度试... 采用碳钢管作为基层、纯钛管作为覆层、纯铜箔作为中间层,利用拉拔-内压热扩散复合法,制备碳钢、铜、钛三金属管复合管.借助扫描电镜(SEM)观察了复合界面附近的显微组织并用能谱分析仪(EDS)测定了界面附近的元素分布.通过剪切和硬度试验测定了界面剪切强度及其附近的显微硬度.研究扩散温度和时间工艺因素对界面附近组织和剪切强度的影响.结果表明:扩散退火后,界面结合紧密,无明显缝隙;钛/铜界面的强度随保温时间增加而有所提高,铜/钢界面强度有所降低;铜、钛原子互扩散至对方基体中,使基体组织、硬度发生改变,并在铜、钛界面上形成了TiCu、TiCu2、βTiCu4化合物;扩散时间对剪切强度的影响有一限度,扩散时间超过限度时,剪切强度降低. 展开更多

关键词 扩散复合 钢/铜界面 钛/铜界面

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热扩散法制备Ti-Al-304不锈钢复合板及微观组织性能 被引量：3

4

作者 许哲峰 荣菊 +1 位作者 于晓华 付天林 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期2224-2229,共6页

用热扩散方法,选用Al做中间夹层,在550-650℃,2MPa压力下,真空保温2h制备Ti-Al-304不锈钢复合板.采用扫描电镜（SEM）研究横截面微观结构,使用能谱线扫描分析截面元素分布,利用X射线衍射（XRD）分析断面相组成.研究发现,热扩散方法制备... 用热扩散方法,选用Al做中间夹层,在550-650℃,2MPa压力下,真空保温2h制备Ti-Al-304不锈钢复合板.采用扫描电镜（SEM）研究横截面微观结构,使用能谱线扫描分析截面元素分布,利用X射线衍射（XRD）分析断面相组成.研究发现,热扩散方法制备钛钢复合板的最佳温度在550℃附近.此时Al中间夹层不但起到阻止Fe元素向Ti基体中扩散形成Fe-Ti金属间脆性相的作用,又使Al元素和Fe元素形成稳定的扩散层. 展开更多

关键词 热扩散 TiGAlG304不锈钢复合板 微观组织性能

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铸造工艺对超高锰钢镶铸复合材料锤头的组织及结合的影响 被引量：3

5

作者 张长涛 谢敬佩 +1 位作者 王文焱 王爱琴 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2010年第5期42-44,47,共4页

将用一个侧冒口补缩两个锤头,改为顶冒口,一个冒口补缩一个锤头。通过扫描电镜、能谱分析,对硬质合金-超高锰钢结合区的显微组织、化学成分及基体的组织进行了研究,并探讨了硬质合金-超高锰钢的结合机理。实验结果表明:新工艺下,锤头基... 将用一个侧冒口补缩两个锤头,改为顶冒口,一个冒口补缩一个锤头。通过扫描电镜、能谱分析,对硬质合金-超高锰钢结合区的显微组织、化学成分及基体的组织进行了研究,并探讨了硬质合金-超高锰钢的结合机理。实验结果表明:新工艺下,锤头基体的组织细化;硬质合金和基体结合较好,为扩散结合。 展开更多

关键词 镶铸复合锤头 扩散结合 顶冒口

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HA/YSZ/Ti6Al4V生物复合材料的制备与界面特性 被引量：2

6

作者 赵玉涛 施秋萍 +2 位作者 戴起勋 林东洋 罗平辉 《江苏大学学报（自然科学版）》 EI CAS 北大核心 2006年第3期237-240,共4页

采用磁控溅射法制备出HA／YSZ／Ti6Al4V生物复合材料，利用X-射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）和能谱分析（EDXA）研究复合涂层的相组成、表面微观形貌和界面微观形貌，并用划痕仪测定复合涂层与基体的界面结合力．结果表明：溅射的... 采用磁控溅射法制备出HA／YSZ／Ti6Al4V生物复合材料，利用X-射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）和能谱分析（EDXA）研究复合涂层的相组成、表面微观形貌和界面微观形貌，并用划痕仪测定复合涂层与基体的界面结合力．结果表明：溅射的复合涂层中主要含有HA、ZrO2和Y2O3物相，此外还有少量的TCP和CaO相；该复合涂层表面凹凸不平，呈现网状微孔结构，其孔隙直径约为0．5～2μm，孔隙面积占薄膜表面积的30％～40％．划痕试验表明，复合涂层与Ti6Al4V基体结合力约为80N．复合涂层拉伸试样横断面分析显示，在涂层与基体界面处无裂纹，界面处存在Ti6Al4V基体成分Ti与复合涂层成分Ca、P问互扩散的扩散层，该扩散层厚度为0．5～1．5μm，复合涂层界面的结合机制为机械齿合和扩散结合． 展开更多

关键词 HA/YSZ复合涂层 磁控溅射 制备 表面形貌 界面特性 机械齿合 扩散结合

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搅拌摩擦焊辅助Al/Zn/Mg接头扩散连接

7

作者 金玉花 甘瑞根 +3 位作者 陈飞 邵庆丰 王希靖 郭廷彪 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期55-60,共6页

对2mm厚的AZ31B镁合金和6061铝合金平板进行添加夹层Zn的搅拌摩擦诱导扩散连接实验。通过SEM,EPMA,XRD,拉伸实验和维氏硬度测试研究Al/Zn/Mg搭接接头显微组织和力学性能。结果表明:当旋转速率合适时,扩散层存在Al富集区,Al5Mg11Zn4层及M... 对2mm厚的AZ31B镁合金和6061铝合金平板进行添加夹层Zn的搅拌摩擦诱导扩散连接实验。通过SEM,EPMA,XRD,拉伸实验和维氏硬度测试研究Al/Zn/Mg搭接接头显微组织和力学性能。结果表明:当旋转速率合适时,扩散层存在Al富集区,Al5Mg11Zn4层及Mg-Zn共晶区;而旋转速率较低时,扩散层存在残留的Zn层;旋转速率过大时,扩散层出现Al-Mg系金属间化合物。由于扩散层主要为金属间化合物,其显微硬度明显高于母材。Zn箔的加入提高了Al/Mg搭接接头的力学性能。断口观察分析表明,接头失效发生在靠近Al侧的扩散层上。 展开更多

关键词 镁合金 铝合金 锌夹层 搅拌摩擦 扩散连接 断裂载荷

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超塑成形/扩散连接结构设计及试验研究 被引量：4

8

作者 黄瑞 《航空制造技术》 2015年第17期59-61,65,共4页

概述了超塑成形/扩散连接(SPF/DB)结构的结构设计流程,并以口盖为例,对具体设计过程进行了阐述。同时针对口盖结构设计的合理性,设计了验证改进试验静力测试试验及壁厚估算试验,来作为口盖结构改进优化的依据。根据上述思路,建立了超塑... 概述了超塑成形/扩散连接(SPF/DB)结构的结构设计流程,并以口盖为例,对具体设计过程进行了阐述。同时针对口盖结构设计的合理性,设计了验证改进试验静力测试试验及壁厚估算试验,来作为口盖结构改进优化的依据。根据上述思路,建立了超塑成形/扩散连接结构的完整设计过程,为超塑成形/扩散连接的结构设计提供了借鉴。 展开更多

关键词 超塑成形/扩散连接 SPF/DB结构设计 验证改进试验

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非晶碳化硼薄膜 被引量：2

9

作者 孙金坛 邱德润 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1993年第3期165-168,共4页

我们用低温等离子化学汽相沉积技术研制的非晶碳化硼(a-BC),硬度为4500～4700HV,表面光洁、细赋,涂层与合金刀具粘结力强,与加工工件的扩散焊接势可以控制,该涂层刀具非常适于切削钛,铝、镍合金和其他非铁材料。

关键词 非晶碳化硼 薄膜 涂层 刀具

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钛合金超塑成形/扩散连接弹翼结构设计 被引量：2

10

作者 张鹏 廖金华 《航空制造技术》 北大核心 2014年第13期87-90,共4页

钛合金超塑成形/扩散连接弹翼结构是一种新型的弹翼结构形式,本文以某型空空导弹弹翼结构作为实例,对钛合金超塑成形/扩散连接最常见的4层网格结构弹翼进行了力学分析。采用有限元软件,对弹翼成形的板料厚度,纵、横加强梁的分布对弹翼... 钛合金超塑成形/扩散连接弹翼结构是一种新型的弹翼结构形式,本文以某型空空导弹弹翼结构作为实例,对钛合金超塑成形/扩散连接最常见的4层网格结构弹翼进行了力学分析。采用有限元软件,对弹翼成形的板料厚度,纵、横加强梁的分布对弹翼结构的刚度和强度影响规律,以及安装区部位的变形和应力进行了计算和对比,获得了弹翼最优布局方式和不同因素对弹翼变形、应力的影响规律。在满足超塑成形/扩散连接工艺和弹翼重量情况下,缩小网格尺寸,提高纵、横加强梁的数量,有助于减小结构的变形、应力水平。对弹翼颤振分析、结构试验提出了设计要求和实现方法。 展开更多

关键词 超塑成形扩散连接 弹翼 变形 应力

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电热爆炸喷涂法制备TiC-NiAl复合涂层的试验研究 被引量：1

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作者 刘静静 刘宗德 +1 位作者 徐亮 陈蕴博 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期39-43,共5页

利用自制的电热爆炸超高速喷涂装置在GH3039高温合金基体上制备了NiAl-TiC复合涂层,采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)及能谱分析仪(EDS)对涂层的相组成、形貌和组织成分进行了分析,对涂层与基体的结合强度进行了测定,并利用显微硬... 利用自制的电热爆炸超高速喷涂装置在GH3039高温合金基体上制备了NiAl-TiC复合涂层,采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)及能谱分析仪(EDS)对涂层的相组成、形貌和组织成分进行了分析,对涂层与基体的结合强度进行了测定,并利用显微硬度计测定了涂层硬度。结果表明,涂层仅由NiAl和TiC两相组成,没有新的相和氧化物生成;涂层致密均匀,没有分层现象,基体与涂层间发生了元素扩散现象,为扩散-冶金结合。涂层与基体的结合强度大于112.25MPa,涂层的硬度平均在900HV0.5左右。 展开更多

关键词 电热爆炸喷涂 TiC-NiAl复合涂层 扩散-冶金结合

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