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类金刚石薄膜的摩擦学特性及磨损机制研究进展 被引量:18
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作者 李振军 徐洮 +3 位作者 李红轩 郝俊英 周惠娣 陈建敏 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期774-777,共4页
类金刚石薄膜已显示了重要的摩擦学应用价值 ,其中化学气相沉积的类金刚石薄膜 (DLC)具有膜层致密、厚度均匀、摩擦学性能优良等特点成为广泛采用的一种沉积方法。本文介绍了气源成分、基体材料、摩擦环境、摩擦对偶、载荷及速度对化学... 类金刚石薄膜已显示了重要的摩擦学应用价值 ,其中化学气相沉积的类金刚石薄膜 (DLC)具有膜层致密、厚度均匀、摩擦学性能优良等特点成为广泛采用的一种沉积方法。本文介绍了气源成分、基体材料、摩擦环境、摩擦对偶、载荷及速度对化学气相沉积制备类金刚石薄膜的摩擦学特性的影响 ,概述了其摩擦磨损机理 ,同时探讨了进一步研究工作的方向。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 摩擦学特性 磨损机制 化学气相沉积
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硒化锌基底2~16μm超宽带硬质红外增透膜的研制 被引量:17
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作者 潘永强 杭凌侠 +1 位作者 梁海锋 田刚 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期1201-1204,共4页
硒化锌材料具有较宽的透光区,使其在红外区有着广泛的应用,然而其作为基底,镀制超宽带增透膜却有相当大的难度,尤其是膜层强度问题。设计出了硒化锌基底上2~16μm的多层超宽带增透膜,并采用离子束辅助沉积工艺在硒化锌基底上进行了多... 硒化锌材料具有较宽的透光区,使其在红外区有着广泛的应用,然而其作为基底,镀制超宽带增透膜却有相当大的难度,尤其是膜层强度问题。设计出了硒化锌基底上2~16μm的多层超宽带增透膜,并采用离子束辅助沉积工艺在硒化锌基底上进行了多次实验,并对所使用的氟化钇(YF_3)和硒化锌膜料进行了分析,发现YF_3在3400和1640 cm^(-1)两个波数处的吸收峰。通过将低折射率层改为氟化钡和氟化钇的组合层后,在硒化锌基底上成功镀制出了多层宽带增透膜并采用脉冲电弧离子镀技术在多层薄膜的表面镀制了一定厚度的类金刚石(DLC)薄膜,增强了膜层的强度。最终使硒化锌基底上镀制的超宽带增透膜在2~16μm范围内的平均透射比大于93%,峰值透射比大于97%,并且膜层的强度较好。 展开更多
关键词 光学薄膜 超宽带增透膜 离子束辅助沉积 硒化锌 类金刚石薄膜
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不同金属基材上类金刚石薄膜的摩擦特性 被引量:13
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作者 郑锦华 李聪慧 +1 位作者 张冲 晁云峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1545-1552,共8页
针对类金刚石(DLC)薄膜在精密机械零件中的应用,研究了在常温条件下沉积高界面强度的DLC薄膜的技术,以提高DLC薄膜与金属基材之间的结合强度。通过在基材与薄膜之间沉积加入a-Si∶H中间过渡层,研究了在不同金属基材上DLC薄膜的结合强度... 针对类金刚石(DLC)薄膜在精密机械零件中的应用,研究了在常温条件下沉积高界面强度的DLC薄膜的技术,以提高DLC薄膜与金属基材之间的结合强度。通过在基材与薄膜之间沉积加入a-Si∶H中间过渡层,研究了在不同金属基材上DLC薄膜的结合强度。采用Ball-on-Disk方法评价了薄膜的摩擦特性并测定其摩擦系数、疲劳破坏寿命和磨耗。实验结果表明:在薄膜与金属基材之间加入a-Si∶H过渡层后,界面的结合(键合)强度得到了明显的改善,在金属基材上沉积的DLC薄膜在磨耗过程中被完全磨穿而没有发生剥离。实验显示,在自制的化学气相沉积RF-DCCVD装置上沉积的DLC薄膜的最大沉积厚度是3.3μm;在1μm厚度的薄膜上施加2.94N的负荷(点载荷),其疲劳破坏寿命达到了70万循环;DLC薄膜与SiC,Si3N4,SUS304和SUJ2材料之间的摩擦系数为0.1~0.15。得到的结果验证了薄膜与金属间的结合强度和摩擦特性能够满足精密机械零件的使用要求。 展开更多
关键词 类金刚石(dlc)薄膜 中间过渡材料 摩擦和磨耗 薄膜界面强度 化学气相沉积(CVD)
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多组分缓冲层W梯度掺杂DLC复合薄膜研究 被引量:8
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作者 杨义勇 彭志坚 +3 位作者 付志强 邬苏东 陈新春 王成彪 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期34-40,共7页
用离子束辅助非平衡中频磁控溅射技术,在Si,高速钢或不锈钢基体上分别沉积得到了具有多组分过渡金属层缓冲的W梯度掺杂类金刚石碳(DLC)膜,研究了W靶电流对DLC膜组成、结构和性能的影响。实验表明,随着W靶电流增大,薄膜中W掺杂量增加,W... 用离子束辅助非平衡中频磁控溅射技术,在Si,高速钢或不锈钢基体上分别沉积得到了具有多组分过渡金属层缓冲的W梯度掺杂类金刚石碳(DLC)膜,研究了W靶电流对DLC膜组成、结构和性能的影响。实验表明,随着W靶电流增大,薄膜中W掺杂量增加,W的碳化物含量增加,sp^3结构含量减少;薄膜的纳米硬度和弹性模量逐渐增大,且材料抗塑性参数H/E随之增大;随W靶电流增大,材料与基体结合力增强,划痕实验临界载荷在80—100 N之间,材料摩擦系数增大;但磨损率因W掺杂而明显减小,且随W靶电流增大而减小。样品表面元素分布均匀,粗糙度(R_a)较小,R_a值在7.56—15.8 nm之间。 展开更多
关键词 复合镀膜技术 dlc薄膜 W掺杂 摩擦学性能
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等离子体刻蚀并沉积类金刚石膜制备超疏水木材 被引量:7
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作者 解林坤 王洪艳 +1 位作者 代沁伶 杜官本 《林业工程学报》 北大核心 2016年第5期10-14,共5页
为使木材表面具备疏水性能,采用等离子体刻蚀并沉积亲水性类金刚石(DLC)薄膜的方法对糖枫木(Acer saccharum)进行表面改性研究,通过扫描电子显微镜(SEM)、激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)、接触角测量仪、椭圆偏振光谱仪、X-射线光电子能谱... 为使木材表面具备疏水性能,采用等离子体刻蚀并沉积亲水性类金刚石(DLC)薄膜的方法对糖枫木(Acer saccharum)进行表面改性研究,通过扫描电子显微镜(SEM)、激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)、接触角测量仪、椭圆偏振光谱仪、X-射线光电子能谱仪(XPS),分析和表征了处理前后木材表面的微观形貌、粗糙度、润湿性能、沉积薄膜的厚度及元素组成和化学状态。结果表明:刻蚀时间小于30 min时,木材表面的平均粗糙度、均方根光洁度和高低差均随着刻蚀时间的延长逐渐增大;当刻蚀时间延长至45 min时,表面的粗糙度略有减小。木材表面的接触角随着刻蚀时间的延长先增大后减小,当刻蚀30 min并沉积DLC薄膜1.5 min时,接触角最大可达157.2°;而延长刻蚀时间至45 min时,其接触角为152.3°。相同的刻蚀时间下,木材表面的接触角随着DLC薄膜沉积时间的延长逐渐减小。通过计算,DLC薄膜的沉积速率为(51.7±4.5)nm/min;沉积DLC薄膜后,表面氧元素的含量明显减少,出现了石墨特征峰sp2-C和金刚石特征峰sp3-C。 展开更多
关键词 木材表面 等离子体刻蚀 等离子体沉积 类金刚石薄膜 超疏水
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射频磁控溅射法制备类金刚石薄膜的研究 被引量:6
6
作者 赵海龙 刘正堂 +2 位作者 田浩 李阳平 闫锋 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2007年第10期1277-1280,共4页
采用射频磁控溅射法,纯Ar溅射石墨靶,制备出了类金刚石薄膜,并对薄膜沉积速率随各工艺参数的变化规律、薄膜结构以及光学性能进行了系统的研究。结果表明,沉积速率随射频功率、CH4流量和溅射气压的增大而增大;随温度的增大呈现先增大后... 采用射频磁控溅射法,纯Ar溅射石墨靶,制备出了类金刚石薄膜,并对薄膜沉积速率随各工艺参数的变化规律、薄膜结构以及光学性能进行了系统的研究。结果表明,沉积速率随射频功率、CH4流量和溅射气压的增大而增大;随温度的增大呈现先增大后小的趋势。结构分析发现,所制备的DLC薄膜是由sp2键镶嵌在sp3键基体中构成的。在3μm^5μm波段对Si衬底有明显的增透效果。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 类金刚石薄膜 增透
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类金刚石碳膜导电材料设计与制备工艺技术研究
7
作者 李涛 胡宇涵 +2 位作者 徐冬 尹思淇 杨思远 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第8期60-63,共4页
当传感器工作时,电刷与电阻体始终处于滑动接触和摩擦的状态,长期工作会导致涂覆的电阻薄膜磨损严重,直接影响传感器的使用寿命。为了提高传感器的可靠性,增强传感器电阻敏感元件的耐磨性,本文提出了一种类金刚石碳(DLC)膜导电材料设计... 当传感器工作时,电刷与电阻体始终处于滑动接触和摩擦的状态,长期工作会导致涂覆的电阻薄膜磨损严重,直接影响传感器的使用寿命。为了提高传感器的可靠性,增强传感器电阻敏感元件的耐磨性,本文提出了一种类金刚石碳(DLC)膜导电材料设计与制备工艺技术。在氧化铝基片陶瓷上,采用双靶共溅射的工艺,通过精确地控制溅射条件,获得均匀且致密的类金刚石膜,在满足高精度与小型化要求的同时,增强异质材料长期工作的稳定性。 展开更多
关键词 传感器 工艺 双靶共溅射 类金刚石碳膜 氧化铝陶瓷
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全方位离子注入与沉积类金刚石碳膜的结构与性能 被引量:5
8
作者 刘洪喜 蒋业华 +1 位作者 周荣 汤宝寅 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期108-112,118,共6页
用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI440C不锈钢表面制备了类金刚石(DLC)碳膜。膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出DLC膜结构致密均匀。Raman光谱分析结果表明,制备的DLC主要是由金刚石键(sp3)和石墨键(sp2)... 用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI440C不锈钢表面制备了类金刚石(DLC)碳膜。膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出DLC膜结构致密均匀。Raman光谱分析结果表明,制备的DLC主要是由金刚石键(sp3)和石墨键(sp2)组成的混合无定形碳膜,且sp3键含量大于10%。以纯石墨棒做阴极,C2H2为工作气体条件下合成的DLC薄膜中,sp3键含量总体上较单纯用石墨作阴极而无工作气体条件下合成的DLC薄膜中sp3键含量高。与基体相比,薄膜试样的显微硬度和摩擦磨损性能均得到了较大改善,最大硬度提高88.7%,磨损寿命延长超过4倍。 展开更多
关键词 类金刚石碳膜(dlc) 等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID) RAMAN光谱 AISI440C不锈钢
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类金刚石碳膜和氮化钛的摩擦学性能研究 被引量:4
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作者 刘谦祥 郭希铭 +1 位作者 赵杰 李德军 《天津师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2003年第2期58-61,共4页
报道了在相同条件下用磁控溅射方法在硅片上制备类金刚石膜和氮化钛薄膜的研究结果,比较了两种镀膜在机械性能和结构上的效果.实验结果表明,氮化钛薄膜虽有很高的表面硬度,但其摩擦系数、表面粗糟度比类金刚石膜要高得多.而类金刚石膜... 报道了在相同条件下用磁控溅射方法在硅片上制备类金刚石膜和氮化钛薄膜的研究结果,比较了两种镀膜在机械性能和结构上的效果.实验结果表明,氮化钛薄膜虽有很高的表面硬度,但其摩擦系数、表面粗糟度比类金刚石膜要高得多.而类金刚石膜虽有很低的摩擦系数和光滑的表面,但表面硬度比氮化钛薄膜小.因此,结合两种膜的优点有可能制备高硬度、耐磨性强、表面光滑的新型复合材料. 展开更多
关键词 类金刚石碳膜 氮化钛薄膜 磁控溅射 表面硬度 摩擦系数 机械性能 表面强化工艺 摩擦学
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偏压对高功率脉冲磁控溅射DLC膜层结构及性能的影响 被引量:5
10
作者 林松盛 高迪 +7 位作者 苏一凡 许伟 郭朝乾 李洪 石倩 韦春贝 代明江 杨建成 《材料研究与应用》 CAS 2020年第1期1-8,共8页
采用高功率脉冲磁控溅射技术制备DLC膜层,研究了偏压的变化对膜层结构及主要力学性能的影响.利用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、纳米压入仪、划痕仪和磨擦磨损试验仪分析检测了DLC膜结构与性能.结果表明:偏... 采用高功率脉冲磁控溅射技术制备DLC膜层,研究了偏压的变化对膜层结构及主要力学性能的影响.利用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、纳米压入仪、划痕仪和磨擦磨损试验仪分析检测了DLC膜结构与性能.结果表明:偏压的提高,有利于改善DLC膜的表面光洁度及致密性,DLC膜表面均方根粗糙度R q由不施加偏压时的5.39 nm降低至偏压为-350V的0.97 nm;致密性的提高使沉积速率略有下降,膜层厚度减小.偏压的增加,DLC膜内部sp 3含量先增加后减小趋势,在偏压为-250 V时,DLC膜中sp 3含量最高.偏压的增大,DLC膜的硬度、杨氏模量和摩擦磨损等主要力学性能均呈先增大后减小的趋势,并在偏压为-250 V时达到最高值,与微观结构变化趋势相吻合. 展开更多
关键词 类金刚石膜 高功率脉冲磁控溅射 偏压 微观结构 性能
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类金刚石薄膜对轴承钢表面机械性能和滚动接触疲劳寿命的影响 被引量:5
11
作者 刘洪喜 蒋业华 +2 位作者 周荣 詹肇麟 汤宝寅 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期43-48,共6页
使用等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢ&D)技术在轴承钢基体表面合成类金刚石(DLC)薄膜,研究了薄膜的结构和性能.结果表明,所制备的DLC薄膜主要是由金刚石键(sp^3)和石墨键(sp^2)组成的混合无定形碳,且sp^3键含量大于10%.DLC膜层致密... 使用等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢ&D)技术在轴承钢基体表面合成类金刚石(DLC)薄膜,研究了薄膜的结构和性能.结果表明,所制备的DLC薄膜主要是由金刚石键(sp^3)和石墨键(sp^2)组成的混合无定形碳,且sp^3键含量大于10%.DLC膜层致密均匀,与基体结合良好.DLC膜具有很高的硬度和杨氏模量,分别达到40 GPa和430 GPa;其最低摩擦系数由基体的0.87下降到0.2.被处理薄膜试件在90%置信区间下的L_(10)、L_(50)、L_a和平均寿命L较基体分别延长了10.1倍、4.2倍、3.5倍和3.4倍.PⅢ&D轴承钢滚动接触疲劳寿命的分散性得到了显著改善. 展开更多
关键词 材料表面与界面 等离子体浸没离子注入与沉积 类金刚石薄膜 滚动接触疲劳寿命 轴承钢
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退火对无氢钛掺杂类金刚石(Ti-DLC)膜结构及性能的影响 被引量:5
12
作者 徐均琪 李传志 +1 位作者 严一心 刘衡平 《真空》 CAS 北大核心 2009年第2期29-32,共4页
利用非平衡磁控溅射复合靶技术制备了一系列掺钛的无氢类金刚石(Ti-DLC)薄膜,并对薄膜的热稳定性能、机械性能、应力分布以及表面形貌进行了研究。实验结果表明:退火处理对Ti-DLC膜的性能具有重要影响。随着热处理温度的升高,成膜晶粒... 利用非平衡磁控溅射复合靶技术制备了一系列掺钛的无氢类金刚石(Ti-DLC)薄膜,并对薄膜的热稳定性能、机械性能、应力分布以及表面形貌进行了研究。实验结果表明:退火处理对Ti-DLC膜的性能具有重要影响。随着热处理温度的升高,成膜晶粒逐渐细化,电阻率上升但至一定值后趋于稳定。退火温度的升高,会促使薄膜应力逐渐减小,硬度变低,但其耐火温度可以达到600℃以上而不发生石墨化,这一结果为DLC膜在高温环境下的应用提供了一定思路。 展开更多
关键词 类金刚石膜 非平衡磁控溅射 钛掺杂 复合靶 热稳定性
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类陨石坑表面类金刚石薄膜的制备及摩擦特性 被引量:4
13
作者 郑锦华 张冲 +1 位作者 晁云峰 李聪慧 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期934-941,共8页
为了提高DLC(Diamond-like Carbon)类金刚石薄膜与SAE1060碳素钢基材的结合强度,以延长发动机活塞环的使用寿命,研制了一种带有复合阳极的RF-DCCVD双电源化学气相沉积设备.利用锯齿结构的辅助阳极产生尖端放电,制备了具有微米类陨石... 为了提高DLC(Diamond-like Carbon)类金刚石薄膜与SAE1060碳素钢基材的结合强度,以延长发动机活塞环的使用寿命,研制了一种带有复合阳极的RF-DCCVD双电源化学气相沉积设备.利用锯齿结构的辅助阳极产生尖端放电,制备了具有微米类陨石坑非连续结构的DLC薄膜,并利用Ball-on-Disk摩擦评价试验机评价了薄膜的摩擦特性.着重研究了极间距S-T对薄膜表面类陨石坑密度的影响;最后利用拉曼光谱仪分析了薄膜结构和成分.结果表明:在同样的电压下,类陨石坑的密度随着电极间距的增加而减小,最佳电极间距S-T为40~60 mm,此时不仅具有比较适中的类陨石坑密度,对DLC薄膜的摩擦特性影响不大,而且具有较强的界面结合强度.当S-T为50 mm,施加载荷为3N时,薄膜的破坏寿命达到了130万循环,比光滑表面的薄膜延长了30万循环.得到的结果显示微米类陨石坑非连续结构能够有效地释放膜内的残余压缩应力,延长SAE1060碳素钢基材上沉积类金刚石薄膜的使用寿命. 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 界面强度 摩擦特性 破坏寿命 残余应力 拉曼光谱
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Tribological performance of hydrogenated diamond-like carbon coating deposited on superelastic 60NiTi alloy for aviation selflubricating spherical plain bearings 被引量:3
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作者 Yefei ZHOU Zhihao CHEN +3 位作者 Zhonghui HU Lei LI Qingxiang YANG Xiaolei XING 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第12期309-320,共12页
It is imperative to develop a novel matching of metallic substrate and self-lubricating coating for aircraft spherical plain bearing in a wide range of service conditions.As a new type of superelastic material,60NiTi ... It is imperative to develop a novel matching of metallic substrate and self-lubricating coating for aircraft spherical plain bearing in a wide range of service conditions.As a new type of superelastic material,60NiTi alloy meets the performance requirements of aerospace bearing materials,but exhibits poor tribological performance,especially under the conditions of dry sliding friction.A Hydrogenated Diamond-Like Carbon(H-DLC)coating was deposited on the 60NiTi alloy to improve its tribological performance.The microstructure and mechanical behavior of the 60NiTi alloy and its H-DLC coating were explored.Results show that improvement of friction and wear performance of the H-DLC coating deposited on the 60NiTi substrate is mainly achieved by graphitization at the friction interface and the transfer film produced on the counterpart ball.The increased friction load leads to intensification of graphitization at the friction interface and formation of continuous and compact transfer film on the surface of the counterpart ball. 展开更多
关键词 60NiTi diamond-like carbon(dlc)coating GRAPHITIZATION Transfer film TRIBOLOGY
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超薄磁盘保护膜的制备技术 被引量:2
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作者 李艳琴 丁万昱 +3 位作者 邓新绿 董闯 徐军 陈小猛 《真空》 CAS 北大核心 2005年第5期17-21,共5页
类金刚石薄膜和氮化硅薄膜都是性能很好的绝缘材料,可以用于对磁盘进行保护,在本文中主要讨论了它们各自的制备方法。随着巨磁阻读写磁头(g ian tm agneto-res istive heads)技术的引入,磁盘的存储密度以每年100%的速度在增加,这就要求... 类金刚石薄膜和氮化硅薄膜都是性能很好的绝缘材料,可以用于对磁盘进行保护,在本文中主要讨论了它们各自的制备方法。随着巨磁阻读写磁头(g ian tm agneto-res istive heads)技术的引入,磁盘的存储密度以每年100%的速度在增加,这就要求磁盘保护膜的厚度要尽量的小,所以对制备方法有一定的要求。对类金刚石磁盘保护膜,可以使用等离子体磁控溅射沉积、磁过滤阴极弧沉积、等离子体化学气相沉积来制备;对氮化硅磁盘保护膜,可以使用射频反应溅射沉积来制备。 展开更多
关键词 类金刚石 氮化硅 磁盘保护膜
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具有表面类金刚石膜高速钢的耐磨性能 被引量:2
16
作者 戴兵 王博 +2 位作者 张恒华 黄波 高国强 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期51-54,共4页
在高速钢基体上分别进行了制备类金刚石(DLC)膜和浸硫氮化两种表面处理,并以铸铁为对偶件,用MM200磨损试验机比较了经两种不同表面处理高速钢的耐磨性能,用扫描电子显微镜观察了磨痕形貌并分析了磨损机理。结果表明:在转速200 r·mi... 在高速钢基体上分别进行了制备类金刚石(DLC)膜和浸硫氮化两种表面处理,并以铸铁为对偶件,用MM200磨损试验机比较了经两种不同表面处理高速钢的耐磨性能,用扫描电子显微镜观察了磨痕形貌并分析了磨损机理。结果表明:在转速200 r·min^(-1)、载荷50 N的条件下,不论在油润滑状态还是在干摩擦状态,具有DLC膜高速钢的耐磨性能明显比浸硫氮化处理的好。 展开更多
关键词 dlc 高速钢 耐磨性能
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Ti-Ni合金上镀制类金刚石薄膜研究 被引量:2
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作者 吴玲玲 徐昌杰 +1 位作者 蔡长龙 严一心 《西安工业学院学报》 2003年第1期61-65,共5页
 利用脉冲真空电弧离子镀技术在Ti_Ni形状记忆合金上成功地镀制了类金刚石薄膜,测试了膜层的电阻率,进行了Raman散射和扫描电镜(SEM)分析,并对两种工艺方法的优劣进行了比较.
关键词 TI-NI合金 类金刚石薄膜 脉冲电弧
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TiNi合金表面沉积类金刚石薄膜的性能评价 被引量:2
18
作者 崔琳 柳翠 +1 位作者 齐民 李国卿 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期1223-1225,共3页
类金刚石膜作为新型的生物材料得到了广泛的关注。本实验制备的薄膜为典型的类金刚石膜,膜层比较致密、均匀和光滑。膜层硬度随离子束能量变化,在束电源为750V附近出现峰值,硬度达到了15GPa,该膜的摩擦系数为0.124。在Troyde’s模拟体... 类金刚石膜作为新型的生物材料得到了广泛的关注。本实验制备的薄膜为典型的类金刚石膜,膜层比较致密、均匀和光滑。膜层硬度随离子束能量变化,在束电源为750V附近出现峰值,硬度达到了15GPa,该膜的摩擦系数为0.124。在Troyde’s模拟体液中的电化学分析表明,类金刚石膜显著提高了Ti-Ni合金表面抗点蚀能力。 展开更多
关键词 TINI合金 类金刚石膜 离子束 表面改性 表面性能
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Effects of platinum content on tribological properties of platinum/nitrogen doped diamond-like carbon thin films deposited via magnetron sputtering 被引量:2
19
作者 Nay Win KHUN Erjia LIU 《Friction》 SCIE EI CAS 2014年第1期64-72,共9页
Platinum(Pt)and nitrogen(N)were co-incorporated in diamond-like carbon(DLC)thin films using a magnetron sputtering system to form PtN-DLC thin films for tribological applications.The Pt content in the PtN-DLC films pr... Platinum(Pt)and nitrogen(N)were co-incorporated in diamond-like carbon(DLC)thin films using a magnetron sputtering system to form PtN-DLC thin films for tribological applications.The Pt content in the PtN-DLC films prepared on Si substrates was controlled by varying RF power applied to a Pt target at a fixed N2 flow rate.The tribological properties of the PtN-DLC films were investigated with respect to the Pt content in the films.The uncoated Si substrate surface tested against a steel ball of 6 mm in diameter had significant abrasive and fatigue wear,while no significant wear was found on the N-DLC coated sample surface,indicating that the N-DLC film effectively prevented its underlying Si substrate from wear.However,the incorporation of Pt in the N-DLC films reduced the wear resistance of the films by degrading sp3-bonded cross-linking structures of the films so that significant wear tracks were found on the surfaces of the PtN-DLC films.Therefore,the increased radio frequency(RF)power applied to the Pt target decreased the wear resistance of the PtN-DLC films as a result of the increased Pt content. 展开更多
关键词 diamond-like carbon(dlc)film Pt and N doping friction wear
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射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法制备类金刚石碳膜工艺与性能表征 被引量:2
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作者 陈冲 费振义 +5 位作者 亓永新 曹宁 张益博 王风 吕震 李木森 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2009年第5期7-12,共6页
使用射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积技术(简称RFGDPECVD)在玻璃载玻片表面沉积类金刚石薄膜。用原子力显微镜(AFM)、摩擦试验仪、划痕试验机测定了其表面形貌、耐磨性及附着性。采用X射线光电子能谱(XPS)、分光光度计对两种气源(... 使用射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积技术(简称RFGDPECVD)在玻璃载玻片表面沉积类金刚石薄膜。用原子力显微镜(AFM)、摩擦试验仪、划痕试验机测定了其表面形貌、耐磨性及附着性。采用X射线光电子能谱(XPS)、分光光度计对两种气源(C4H10、C2H2)制备的DLC薄膜微观组成和透光率进行了检测和对比。结果表明:DLC薄膜的表面光滑、平整,表面粗糙度随沉积时间的增加单调递增;耐磨性及附着性优良;与C4H10相比使用C2H2作为碳源气体可以得到较高sp3含量和较低sp1含量的DLC膜;C2H2制备DLC薄膜的透光率低于C4H10;同一种碳源气体,反应流量比例越小,则DLC薄膜的透光性越好。 展开更多
关键词 射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积 类金刚石薄膜 放电特性
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