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真空等离子装置的改进设计
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作者 袁安富 王珉 《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期552-555,共4页
利用旧的真空装置改造成一个物理气相沉积设备,不仅节约了大量的资金,而且还为今后的科研工作开辟了一个崭新的领域。本文主要讨论了在改造过程中,根据物理气相沉积的共性以及本实验装置的特定要求和需要注意的几个问题,如一个真空... 利用旧的真空装置改造成一个物理气相沉积设备,不仅节约了大量的资金,而且还为今后的科研工作开辟了一个崭新的领域。本文主要讨论了在改造过程中,根据物理气相沉积的共性以及本实验装置的特定要求和需要注意的几个问题,如一个真空沉积腔的整体结构、密封性和冷却结构,如何有效地利用载物台、励磁电路和点火电路的设计等,提出了改造方案。目前,已成功地将它改造成真空度为10- 2τ的低真空等离子沉积装置。 展开更多
关键词 等离子喷涂 沉积 类金刚石 等离子装置 热处理
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类金刚石碳膜的摩擦学特性及其研究进展 被引量:54
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作者 李刘合 夏立芳 +2 位作者 张海泉 张彦华 周志敏 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期76-80,共5页
从类金刚石碳膜作为耐磨涂层的角度出发 ,综述了近年来国际上关于类金刚石碳膜摩擦学特性的大量研究 ,着重讨论了影响类金刚石碳膜摩擦学特性的主要工艺参数和因素 ,阐明了类金刚石碳膜与金刚石膜在性能上的差异 ,指出了类金刚石碳膜的... 从类金刚石碳膜作为耐磨涂层的角度出发 ,综述了近年来国际上关于类金刚石碳膜摩擦学特性的大量研究 ,着重讨论了影响类金刚石碳膜摩擦学特性的主要工艺参数和因素 ,阐明了类金刚石碳膜与金刚石膜在性能上的差异 ,指出了类金刚石碳膜的发展现状和趋势 . 展开更多
关键词 金刚石膜 类金刚石碳膜 摩擦学特性
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类金刚石膜的应用及制备 被引量:24
3
作者 马国佳 邓新绿 《真空》 CAS 北大核心 2002年第5期27-31,共5页
类金刚石膜 (DL C)是由无定形碳和金刚石相混合组成的碳材料 ,由于具有与金刚石膜 (DF)相类似的性能——优异的机械特性、电学特性、光学特性、热学和化学特性以及生物相溶性 ,同时制备方法相对容易实现 ,因此引起人们极大兴趣 ,现在已... 类金刚石膜 (DL C)是由无定形碳和金刚石相混合组成的碳材料 ,由于具有与金刚石膜 (DF)相类似的性能——优异的机械特性、电学特性、光学特性、热学和化学特性以及生物相溶性 ,同时制备方法相对容易实现 ,因此引起人们极大兴趣 ,现在已经应用到很多领域。本文将简要介绍类金刚石膜的性能。 展开更多
关键词 类金刚石膜 应用 制备 属性 结构 性能 物理气相沉积 化学气相沉积
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类金刚石膜的结构与性能研究 被引量:14
4
作者 程宇航 吴一平 +2 位作者 陈建国 乔学亮 谢长生 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期452-457,共6页
用激光Raman谱和XRD谱对用直流射频等离子体化学气相沉积法制备的类金刚石膜的结构进行了分析,并研究了工艺参数对膜的沉积速率、内应力和直流电阻率的影响。结果表明:类金刚石膜是由sp2和sp3键组成的非晶态碳膜,当负... 用激光Raman谱和XRD谱对用直流射频等离子体化学气相沉积法制备的类金刚石膜的结构进行了分析,并研究了工艺参数对膜的沉积速率、内应力和直流电阻率的影响。结果表明:类金刚石膜是由sp2和sp3键组成的非晶态碳膜,当负偏压高于300V时,膜中sp3/sp2键的比值随负偏压的升高而降低。类金刚石膜的沉积速率与负偏压Vb成正比。膜内存在1~4.7GPa的压应力,随负偏压的升高而降低。膜的电阻率随负偏压的升高先增后降,这与膜中sp2/sp3的比值相对应。 展开更多
关键词 类金刚石膜 化学气相沉积 结构 性能 金刚石薄膜
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无氢类金刚石碳膜的研究进展 被引量:19
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作者 任妮 马占吉 高欣 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第3期176-181,186,共7页
介绍了无氢类金刚石碳膜的制备方法 ,它们的机械、光学、电学性能 ,将无氢与含氢的类金刚石碳膜进行了简单比较 。
关键词 无氢类金刚石 类金刚石碳 拉曼谱 摩擦 磨损
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基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性 被引量:16
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作者 蔺增 巴德纯 +1 位作者 王志 闻立时 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期77-80,共4页
讨论用射频等离子体增强化学气相沉积 (RFPECVD)工艺 ,在室温下实现在 1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜。为提高DLC膜的结合力 ,首先在不锈钢基底上沉积Ti/TiN/TiC功能梯度膜。借助所设计的界面过渡层 ,成功地在不锈钢基底上... 讨论用射频等离子体增强化学气相沉积 (RFPECVD)工艺 ,在室温下实现在 1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜。为提高DLC膜的结合力 ,首先在不锈钢基底上沉积Ti/TiN/TiC功能梯度膜。借助所设计的界面过渡层 ,成功地在不锈钢基底上沉积了一定厚度的DLC膜。通过优化沉积参数 ,所沉积的DLC膜在与 10 0Cr6钢球对磨时摩擦系数低于 0 0 2 0。在摩擦过程中DLC膜的磨损机制借助SEM、Raman分析进行了研究。 展开更多
关键词 RFPECVD法 不锈钢 类金刚石薄膜 射频等离子体增强化学气相沉积 DLC 摩擦系数
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掺硅类金刚石膜的制备与力学性能研究 被引量:15
7
作者 赵栋才 任妮 +3 位作者 马占吉 邱家稳 肖更竭 武生虎 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期1935-1940,共6页
用脉冲电弧离子镀技术,通过调整掺硅石墨靶和纯石墨靶的数量,制备了一系列不同硅含量的类金刚石薄膜样品.研究发现:当硅含量达6.7at.%时,类金刚石薄膜的应力从4.5GPa降低到3.1GPa,薄膜的硬度还保持在3600Hv,和没有掺杂的类金刚石薄膜的... 用脉冲电弧离子镀技术,通过调整掺硅石墨靶和纯石墨靶的数量,制备了一系列不同硅含量的类金刚石薄膜样品.研究发现:当硅含量达6.7at.%时,类金刚石薄膜的应力从4.5GPa降低到3.1GPa,薄膜的硬度还保持在3600Hv,和没有掺杂的类金刚石薄膜的硬度相比,基本保持不变;当硅含量小于6.7at.%时薄膜的摩擦系数相对于未掺杂的类金刚石薄膜也保持不变,为0.15.当薄膜中硅含量继续增加时,薄膜中C—Si键的含量增多,导致薄膜硬度和应力都有较大幅度地减小、摩擦系数增大、磨损性能也变差了. 展开更多
关键词 类金刚石膜 掺硅 应力 硬度 制备 力学性能
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脉冲多弧离子镀研究 被引量:15
8
作者 杭凌侠 严一心 朱昌 《西安工业学院学报》 1996年第2期110-113,共4页
介绍一种新型镀膜方法的工作原理及相关参数,介绍了采用这种新型镀膜方法镀制的类金刚石膜层的性能.
关键词 离子镀 类金刚膜 多弧离子膜 镀膜 真空电弧
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医用不锈钢表面沉积类金刚石薄膜的电化学腐蚀性能研究 被引量:11
9
作者 刘成龙 杨大智 +1 位作者 邓新绿 齐民 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期559-563,共5页
医用316L不锈钢植入物植入体内后,体内环境可导致其产生腐蚀和Ni离子的析出。利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,采用等离子体源离子注入(plasmasourceionimplantation,PSII)和等离子体增强化学气相沉积(plasmaenhancedchem... 医用316L不锈钢植入物植入体内后,体内环境可导致其产生腐蚀和Ni离子的析出。利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,采用等离子体源离子注入(plasmasourceionimplantation,PSII)和等离子体增强化学气相沉积(plasmaenhancedchemicalvapordeposi tion,PECVD)复合工艺在医用316L不锈钢表面沉积类金刚石薄膜,进行表面改性,以提高其在模拟体液环境中的腐蚀阻抗。扫描电子显微镜和原子力显微镜观察发现,薄膜由纳米粒子构成,膜层连续光滑。电化学腐蚀测试表明:采用PSII+PECVD复合工艺制备的类金刚石薄膜与316L不锈钢改性体系在(37±1)℃的Troyde’s模拟体液中的自腐蚀电位约为120mV,体系的击穿电位超过1.9V,与基体316L不锈钢相比,其热力学稳定性与抗腐蚀性能得到增强,改性效果优于单独的PECVD工艺。 展开更多
关键词 等离子源离子注入 等离子增强化学气相沉积 类金刚石薄膜 医用不锈钢 抗腐蚀性 模拟体液
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单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜摩擦性能的研究 被引量:12
10
作者 朱宏 柳襄怀 +3 位作者 任琮欣 邹世昌 刘惠文 张绪寿 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期118-125,共8页
目前,制各类金刚石薄膜的方法很多,然而其中的多数在沉积过程中都需要基体具有比较高的温度,这就不可避免地会对耐温性能较差的材料造成损伤,或使机械零部件发生变形和尺寸变化.因此,利用单源低能离子束辅助沉积法制备了非晶碳薄... 目前,制各类金刚石薄膜的方法很多,然而其中的多数在沉积过程中都需要基体具有比较高的温度,这就不可避免地会对耐温性能较差的材料造成损伤,或使机械零部件发生变形和尺寸变化.因此,利用单源低能离子束辅助沉积法制备了非晶碳薄膜,并且利用喇曼光谱和俄歇电子能谱研究了薄膜的结构,发现其为无定形的类金刚石薄膜,薄膜中的碳原子成键主要是sp2杂化键.研究表明,随着离子能量和束流的增大,薄膜的显微硬度、摩擦系数和寿命都增大.由于这种方法制备的类金刚石薄膜的含氢量较少,膜中sp2杂化键较多,性能更接近于石墨,故其摩擦性能较好.研究结果对深入认识类金刚石簿膜结构和在改进磁盘表面耐磨保护涂层等薄膜润滑性能方面,都具有重要的指导意义和实用价值。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 类金刚石薄膜 摩擦性能
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不同过渡层对DLC薄膜力学性能和摩擦学性能的影响 被引量:15
11
作者 卓国海 柯培玲 +2 位作者 李晓伟 汪爱英 赵运才 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期39-47,共9页
薄膜与基体间的界面结合性能是决定薄膜性能发挥的关键要素。针对类金刚石薄膜(DLC)在硬质合金上结合力差的问题,采用线性阳极离子束复合磁控溅射技术在硬质合金YG8基体上设计制备了单层W过渡层、WC过渡层、双层W过渡层和三层W过渡层4... 薄膜与基体间的界面结合性能是决定薄膜性能发挥的关键要素。针对类金刚石薄膜(DLC)在硬质合金上结合力差的问题,采用线性阳极离子束复合磁控溅射技术在硬质合金YG8基体上设计制备了单层W过渡层、WC过渡层、双层W过渡层和三层W过渡层4种不同W过渡层的DLC薄膜,探讨了不同过渡层对DLC薄膜力学和摩擦学性能的影响。结果表明:不同过渡层结构的DLC薄膜结构致密,界面柱状生长随着层数增加及过渡层厚度的降低而打断,有利于改善薄膜的韧性。当为三层W过渡层时,DLC薄膜的断裂韧性达到最大值6.44 MPa·m1/2;与单层W过渡层相比,薄膜硬度有小幅下降,但薄膜内应力降低了55%,且膜/基匹配性更佳,结合强度高达85N,此时薄膜具有较低的摩擦因数和磨损率,表现出比较优异的抗磨减摩性能。 展开更多
关键词 类金刚石 过渡层 力学性能 摩擦性能
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利用脉冲激基分子激光制备大尺寸类金刚石薄膜及其均匀性分析 被引量:13
12
作者 李铁军 刘晶儒 +1 位作者 王丽戈 楼祺洪 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第12期1080-1085,共6页
利用脉冲激光沉积结合计算机辅助衬底扫描技术制备了尺寸为70 ×66m m 、均匀性为±5 % 的类金刚石薄膜,薄膜显微硬度最高为27GPa ,薄膜结合强度达到20000 转;在制备大尺寸薄膜的过程中,衬底扫描速度越... 利用脉冲激光沉积结合计算机辅助衬底扫描技术制备了尺寸为70 ×66m m 、均匀性为±5 % 的类金刚石薄膜,薄膜显微硬度最高为27GPa ,薄膜结合强度达到20000 转;在制备大尺寸薄膜的过程中,衬底扫描速度越慢,薄膜的均匀性越好;在应用传统清洗等方法的基础上,认为增大镀膜粒子的能量对于提高薄膜和衬底的结合强度是非常重要的- 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 脉冲激光沉积 均匀性
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Tribological behavior of different films on Ti-6Al-4V alloy prepared by plasma-based ion implantation 被引量:9
13
作者 季红兵 夏立芳 +1 位作者 马欣新 孙跃 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 2000年第4期493-497,共5页
The tribological behaviors of TiN coating and TiN+TiC+Ti(C, N)/diamond like carbon (DLC), TiN/DLC, TiC/DLC multilayers on Ti 6Al 4V alloy prepared by plasma based ion implantation (PBII) were compared. Under the test ... The tribological behaviors of TiN coating and TiN+TiC+Ti(C, N)/diamond like carbon (DLC), TiN/DLC, TiC/DLC multilayers on Ti 6Al 4V alloy prepared by plasma based ion implantation (PBII) were compared. Under the test conditions of counterbody AISI 52100, load 1 N and speed 0.05 m/s, the tribological properties of the alloy are improved by these films in the order of TiN, TiC/DLC, TiN/DLC and TiN+TiC+Ti(C,N)/DLC. Tribological behavior is affected by the conditions of surface modification and triboexperiments. The appearance of “peaks” in the wear dynamic resistance profiles may be due or correspond to the process of formation and breaking apart of transition films. The breakthrough of the DLC coated samples may start from partially wearing out, and end with joining piece dilamination. There are transition films on all counterbodies AISI 52100. When AISI 52100 counterbody is changed to Ti 6Al 4V, the wear of most modified samples is changed from only disc to both disc and ball abrasive dominated. 展开更多
关键词 diamond like carbon Ti 6Al 4V alloy plasma based ion IMPLANTATION FRICTION WEAR
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非平衡磁控溅射法类金刚石薄膜的制备及分析 被引量:8
14
作者 杨武保 范松华 +3 位作者 张谷令 马培宁 张守忠 杜健 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期4944-4948,共5页
利用非平衡磁控溅射物理气相沉积技术制备了光滑、致密、均匀的类金刚石薄膜.分析沉积工艺参数对所得类金刚石薄膜的电学特性的影响以及溅射粒子的大小、能量、碰撞及沉积过程中的相变机理后认为溅射粒子越小、与环境气体分子的碰撞次... 利用非平衡磁控溅射物理气相沉积技术制备了光滑、致密、均匀的类金刚石薄膜.分析沉积工艺参数对所得类金刚石薄膜的电学特性的影响以及溅射粒子的大小、能量、碰撞及沉积过程中的相变机理后认为溅射粒子越小、与环境气体分子的碰撞次数越多、与衬底相互作用时具有适当动量等,能够有效提高薄膜中sp3杂化碳原子的含量.利用拉曼光谱、纳米力学探针、红外光谱、扫描电镜等分析了所得类金刚石膜的结构、力学及光学性能、表面形貌等特征.结果表明,类金刚石膜中sp3杂化碳原子的含量较高,显微硬度大于11GPa,薄膜光学透过率达到89·4%,折射系数为1·952,沉积速率为0·724μm/h,表面光滑、致密、均匀,不存在明显的晶粒特征. 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 类金刚石膜 拉曼光谱 红外光谱 类金刚石薄膜 磁控溅射法 制备 气相沉积技术 力学探针 表面光滑
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超短脉冲准分子激光淀积类金刚石薄膜的实验研究 被引量:12
15
作者 姚东升 刘晶儒 +3 位作者 王丽戈 李铁军 俞昌旋 詹如娟 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期270-276,共7页
利用KrF超短脉冲激光器(248nm,500fs,10mJ)开展了超短脉冲激光淀积类金刚石薄膜的实验研究,薄膜生长速率0.02nm/pulse,厚度0.5~0.6μm,显微硬度55GPa,光学透过率优于90%(580... 利用KrF超短脉冲激光器(248nm,500fs,10mJ)开展了超短脉冲激光淀积类金刚石薄膜的实验研究,薄膜生长速率0.02nm/pulse,厚度0.5~0.6μm,显微硬度55GPa,光学透过率优于90%(580~20μm)。采用等离子体的时间-空间分辨的发射光谱技术,给出了等离子体的粒子成份以及等离子体的时间-空间的演化图像,以及在不同激光参数条件下等离子体特性的变化,发现超短脉冲激光的等离子体有能量高、持续时间短(高通量)的特点,适合类金刚石薄膜的淀积并有制备其他非晶态结构和纳米相薄膜材料的潜力。利用自行研制的离子探针原位诊断了在成膜条件下的粒子流的特性及其随激光参数等实验条件的变化,其结果与发射光谱非常自洽。比较了不同激光参数条件下,等离子体特性、粒子流特性及淀积类金刚石薄膜的结构和性能的变化,并对短脉冲激光和靶相互作用过程和激光等离子体淀积类金刚石成膜的机理进行了讨论,为进一步提高成膜质量走向实用化打下基础。 展开更多
关键词 超短脉冲 类金刚石 薄膜 等离子体羽 激光淀积
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类金刚石(DLC)膜对2Crl3不锈钢耐蚀性能的影响 被引量:8
16
作者 黄桂芳 周灵平 +3 位作者 李绍禄 李德意 赵立华 王巧玲 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期9-11,共3页
采用失重法、极化曲线法和金相显微分析等方法研究了类金刚石 (DLC)膜对 2Crl3不锈钢耐蚀行为的影响。失重试验结果表明 :DLC膜较薄时对 2Crl3不锈钢在中性NaCI溶液中耐全面腐蚀的影响不明显 ,而膜较厚时能显著降低 2Crl3不锈钢的腐蚀速... 采用失重法、极化曲线法和金相显微分析等方法研究了类金刚石 (DLC)膜对 2Crl3不锈钢耐蚀行为的影响。失重试验结果表明 :DLC膜较薄时对 2Crl3不锈钢在中性NaCI溶液中耐全面腐蚀的影响不明显 ,而膜较厚时能显著降低 2Crl3不锈钢的腐蚀速度 ;失重试验和电化学试验均表明DLC膜降低了 2Crl3不锈钢在酸性介质中的腐蚀速度 ;动电位扫描曲线和金相显微分析说明DLC膜明显改善了 2Crl3不锈钢基体抗点蚀。 展开更多
关键词 类金刚石膜 DLC膜 腐蚀速度 点蚀 晶间腐蚀
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几种新型超硬薄膜的研究进展 被引量:4
17
作者 张生俊 陈光华 +2 位作者 邓金祥 宋雪梅 邵乐喜 《物理》 CAS 北大核心 2001年第10期622-627,共6页
超硬材料主要由Ⅲ ,Ⅳ ,Ⅴ族共价键化合物 (碳化物、氮化物 )和单质 (金刚石 )组成 ,硬度高于 4 0GPa ,有单晶、多晶、非晶等多种 .除金刚石外 ,这些材料都是人工合成的 ,没有天然对应物 .除超硬性质以外 ,这些材料大都具有宽带隙、高... 超硬材料主要由Ⅲ ,Ⅳ ,Ⅴ族共价键化合物 (碳化物、氮化物 )和单质 (金刚石 )组成 ,硬度高于 4 0GPa ,有单晶、多晶、非晶等多种 .除金刚石外 ,这些材料都是人工合成的 ,没有天然对应物 .除超硬性质以外 ,这些材料大都具有宽带隙、高温稳定性、化学惰性等优良的物理化学性质 .新型超硬薄膜材料研究从金刚石开始 ,目前主要的研究对象有金刚石、类金刚石碳 (DLC)、立方氮化硼 (cBN)、氮化碳 (C3N4 ,CNx)、硼碳氮 (BCN)等 ,是近二十年来材料研究的热门方向之一 .文章结合作者近年来的工作 ,介绍这几种超硬薄膜的研究进展和展望 . 展开更多
关键词 超硬材料 金刚石 立方氮化硼 氮化碳 类金刚石碳 超硬薄膜
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从欧洲真空镀膜会议分析光学薄膜及其技术的研究和发展 被引量:2
18
作者 黄心耕 刘江 王素英 《光学仪器》 1999年第4期238-242,共5页
简要介绍了96 年欧洲真空镀膜会议概况,结合94 年第一届欧洲真空镀膜专题讨论会的内容,对欧洲各国在光学薄膜和薄膜技术的研究动向作了介绍;并介绍了广泛应用于激光、红外及航天等高技术中的类金刚石和金刚石薄膜、软X射线多层... 简要介绍了96 年欧洲真空镀膜会议概况,结合94 年第一届欧洲真空镀膜专题讨论会的内容,对欧洲各国在光学薄膜和薄膜技术的研究动向作了介绍;并介绍了广泛应用于激光、红外及航天等高技术中的类金刚石和金刚石薄膜、软X射线多层膜的研究成果。 展开更多
关键词 光学薄膜 薄膜技术 类金刚石 软X射线 真空镀膜
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真空弧源沉积类金刚石薄膜及其性能研究 被引量:6
19
作者 冷永祥 黄楠 +3 位作者 孙鸿 陈俊英 万国江 王进 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期229-230,共2页
采用真空孤源沉积技术在钛舍金及Si(100)表面合成DlLC薄膜,通入不同的氩气,控制DLC薄膜中的SP3/SP2比值。研究表明,薄膜硬度可达96GPa,随着氩气流量的增加,薄膜的硬度先增加,后有明显降低。随着氩气流量的增加,类金刚石薄膜中,SP2键增加... 采用真空孤源沉积技术在钛舍金及Si(100)表面合成DlLC薄膜,通入不同的氩气,控制DLC薄膜中的SP3/SP2比值。研究表明,薄膜硬度可达96GPa,随着氩气流量的增加,薄膜的硬度先增加,后有明显降低。随着氩气流量的增加,类金刚石薄膜中,SP2键增加,SP3键减少,而血液相容性明显提高。DLC薄膜具有优异的耐磨性,摩擦系数低,与钛合金基体结合牢固。 展开更多
关键词 真空弧源沉积 类金刚石薄膜 血液相容性 纳米硬度 耐磨性 生物材料
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应用纳米压痕法测试类金刚石薄膜力学性能的研究 被引量:7
20
作者 严学俭 I. Hermann 《真空电子技术》 2003年第3期22-25,共4页
介绍一种被称为材料机械性质微探针的新型纳米压痕仪 ,藉助于加荷 卸荷过程中压痕对负荷和压入深度 ,即压头位移的敏感关系 ,测试材料的硬度及弹性模量等力学性质。纳米和纳牛顿量级的压头位移与作用力 ,使得测试始终在大多数材料 ,特... 介绍一种被称为材料机械性质微探针的新型纳米压痕仪 ,藉助于加荷 卸荷过程中压痕对负荷和压入深度 ,即压头位移的敏感关系 ,测试材料的硬度及弹性模量等力学性质。纳米和纳牛顿量级的压头位移与作用力 ,使得测试始终在大多数材料 ,特别是薄膜材料的弹性限度内 ,克服了维氏法、努氏法等传统方法引起压痕边缘模糊或者碎裂的缺点 ,保证了测试的正确性、可靠性和重复性。应用纳米压痕法成功地对具有脆性的类金刚石薄膜的硬度及弹性模量进行了测试和分析。 展开更多
关键词 纳米压痕法 机械性质 类金刚石薄膜 力学性质 测试
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