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深亚微米MOS器件的热载流子效应 被引量:5
1
作者 刘红侠 郝跃 孙志 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期770-773,共4页
对深亚微米器件中热载流子效应 (HCE)进行了研究 .还研究了沟道热载流子的产生和注入以及与器件工作在高栅压、中栅压和低栅压三种典型的偏置条件的关系 .在分析热载流子失效机理的基础上 ,讨论了热载流子效应对电路性能的影响 .提出影... 对深亚微米器件中热载流子效应 (HCE)进行了研究 .还研究了沟道热载流子的产生和注入以及与器件工作在高栅压、中栅压和低栅压三种典型的偏置条件的关系 .在分析热载流子失效机理的基础上 ,讨论了热载流子效应对电路性能的影响 .提出影响晶体管热载流子效应的因素有 :晶体管的几何尺寸、开关频率、负载电容、输入速率及晶体管在电路中的位置 .通过对这些失效因素的研究并通过一定的再设计手段 ,可以减少热载流子效应导致的器件退化 . 展开更多
关键词 深亚微米 MOS器件 热载流子效应 可靠性
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光刻技术在微细加工中的应用 被引量:7
2
作者 刘建海 陈开盛 曹庄琪 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第8期37-39,48,共4页
介绍光刻技术中的曝光设备与技术、光刻工艺及工艺控制在集成电路微细加工中的应用。
关键词 光刻 深亚微米 曝光分辨率 微细加工 微电子
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ASIC物理设计中的时钟树综合优化研究 被引量:7
3
作者 潘静 吴武臣 +1 位作者 侯立刚 彭晓宏 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期872-875,共4页
以一款基于HJTC 0.18μm工艺的YAK SOC芯片为例,根据其时钟结构,提出一种能有效减小时钟偏移的方法,该方法通过在门级将时钟根节点分解成若干伪时钟源实现。基于该方法,采用布局布线工具,对YAK SOC芯片进行时钟树综合,得到了较好的效果... 以一款基于HJTC 0.18μm工艺的YAK SOC芯片为例,根据其时钟结构,提出一种能有效减小时钟偏移的方法,该方法通过在门级将时钟根节点分解成若干伪时钟源实现。基于该方法,采用布局布线工具,对YAK SOC芯片进行时钟树综合,得到了较好的效果。给出了一种采用缓冲器和反相器相结合构建时钟树以降低时钟树功耗的方法。通过完成物理设计和功耗分析的数据对比,证明了该优化方法的可行性。 展开更多
关键词 深亚微米 专用集成电路 片上系统 时钟偏移 时钟树综合
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Impactof Device Architecture on Performance and Reliability of Deep Submicron SOI MOSFETs( invited paper) 被引量:7
4
作者 F.Balestra(Laboratoire de Physique des Composants à Semiconducteurs, (UMR CNRS/INPG) ENSERG,23 Av.des Martyrs,BP 257,30016 Grenoble,France) 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第10期937-954,共18页
The main electrical properties of advanced Silicon On Insulator MOSFETs are addressed. The subthreshold and high field operations are analysed as a function of device architecture. The special SOI parasitic phenomena,... The main electrical properties of advanced Silicon On Insulator MOSFETs are addressed. The subthreshold and high field operations are analysed as a function of device architecture. The special SOI parasitic phenomena, such as the floating body potential and temperature, are critically reviewed. The main limitations of submicron MOSFET are comparatively evaluated for various SOI structures. Short channel and hot carrier effects as well as the reliability of the SOI technology are investigated for gate length down to sub\|0 1 micron. 展开更多
关键词 SOI MOSFET 体系结构 可靠性
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利用RTS噪声确定MOSFET氧化层中陷阱位置的方法 被引量:5
5
作者 鲍立 包军林 庄奕琪 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1426-1430,共5页
强场诱生并与电场奇异性相关的边界陷阱是影响深亚微米MOS器件可靠性的关键因素之一.文中研究了深亚微米MOS器件的随机电报信号(RTS)的时间特性,提出了一种通过正反向测量器件非饱和区噪声的手段来确定边界陷阱空间分布的新方法.对0... 强场诱生并与电场奇异性相关的边界陷阱是影响深亚微米MOS器件可靠性的关键因素之一.文中研究了深亚微米MOS器件的随机电报信号(RTS)的时间特性,提出了一种通过正反向测量器件非饱和区噪声的手段来确定边界陷阱空间分布的新方法.对0·18μm×0·15μmnMOS器件的测量结果表明,利用该方法可以准确计算深亚微米器件氧化层陷阱的二维位置,还为深亚微米器件的可靠性评估提供了一种新的手段. 展开更多
关键词 RTS 深亚微米 边界陷阱 MOS器件 可靠性
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静态时序分析在深亚微米ASIC设计中的应用 被引量:3
6
作者 吴丹 刘三清 +1 位作者 邹雪城 徐维锋 《计算机与数字工程》 2004年第2期13-16,71,共5页
作为分析和验证电路时序行为的新手段 ,静态时序分析 (STA)技术以其无需仿真、快速、占用内存少以及测试覆盖面全等优点越来越多的应用于现代深亚微来ASIC设计中。本文在介绍了STA基本概念的基础上 ,以SDH系统中 8/16 /32路E1映射 (E1ma... 作为分析和验证电路时序行为的新手段 ,静态时序分析 (STA)技术以其无需仿真、快速、占用内存少以及测试覆盖面全等优点越来越多的应用于现代深亚微来ASIC设计中。本文在介绍了STA基本概念的基础上 ,以SDH系统中 8/16 /32路E1映射 (E1mapper)芯片设计为例 ,对STA在设计中的具体应用及注意事项进行了详细说明。结果表明 。 展开更多
关键词 深亚微米 静态时序分析 时序约束 ASIC STA 集成电路
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DOIND: a technique for leakage reduction in nanoscale domino logic circuits 被引量:2
7
作者 Ambika Prasad Shah Vaibhav Neema Shreeniwas Daulatabad 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2016年第5期69-77,共9页
A novel DOIND logic approach is proposed for domino logic, which reduces the leakage current with a minimum delay penalty. Simulation is performed at 70 nm technology node with supply voltage 1V for domino logic and D... A novel DOIND logic approach is proposed for domino logic, which reduces the leakage current with a minimum delay penalty. Simulation is performed at 70 nm technology node with supply voltage 1V for domino logic and DOIND logic based AND, OR, XOR and Half Adder circuits using the tanner EDA tool. Simulation results show that the proposed DOIND approach decreases the average leakage current by 68.83%, 66.6%, 77.86% and 74.34% for 2 input AND, OR, XOR and Half Adder respectively. The proposed approach also has 47.76% improvement in PDAP for the buffer circuit as compared to domino logic. 展开更多
关键词 deep submicron DOIND logic domino logic EVALUATION precharge subthreshold leakage
原文传递
深亚微米MOSFET模型研究进展 被引量:2
8
作者 周浩华 姚立真 郝跃 《电子科技》 1997年第2期11-14,共4页
文中在对深亚微米MOSFET的器件模型的研究基础上,提出了研究MOSFET模型值得注意的问题。
关键词 深亚微米 MOSFET 器件模型 集成电路 制造工艺
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基于130nm SOI工艺数字ASIC ESD防护设计 被引量:3
9
作者 米丹 周昕杰 周晓彬 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第4期279-285,共7页
绝缘体上硅(SOI)工艺具有寄生电容小、速度快和抗闩锁等优点,成为低功耗和高性能集成电路(IC)的首选。但SOI工艺IC更易受自加热效应(SHE)的影响,因此静电放电(ESD)防护设计成为一大技术难点。设计了一款基于130 nm部分耗尽型SOI(PD-SOI... 绝缘体上硅(SOI)工艺具有寄生电容小、速度快和抗闩锁等优点,成为低功耗和高性能集成电路(IC)的首选。但SOI工艺IC更易受自加热效应(SHE)的影响,因此静电放电(ESD)防护设计成为一大技术难点。设计了一款基于130 nm部分耗尽型SOI(PD-SOI)工艺的数字专用IC(ASIC)。针对SOI工艺ESD防护设计难点,进行了全芯片ESD防护原理分析,通过对ESD防护器件、I/O管脚ESD防护电路、电源钳位电路和ESD防护网络的优化设计,有效减小了SHE的影响。该电路通过了4.5 kV人体模型ESD测试,相比国内外同类电路有较大提高,可以为深亚微米SOI工艺IC ESD防护设计提供参考。 展开更多
关键词 深亚微米 绝缘体上硅(SOI)工艺 全芯片 静电放电(ESD)防护 电源钳位 人体模型
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Particle detector readout integrated circuit of 0.18μm technology with 164 e equivalent noise charge 被引量:2
10
作者 LI Xiangyu LIU Haifeng ZHANG Qi SUNYihe 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2011年第6期358-365,共8页
Integrated circuits of deep submicron(DSM) CMOS technology are advantageous in volume density, power consumption and thermal noise for multichannel particle detection systems,but there are challenges in the front-end ... Integrated circuits of deep submicron(DSM) CMOS technology are advantageous in volume density, power consumption and thermal noise for multichannel particle detection systems,but there are challenges in the front-end circuit design.In this paper,we present a 0.18μm CMOS front-end readout circuit for low noise CdZnTe detectors in tens of pF capacitance.Solutions to the noise and gate leak problems in DSM technologies are discussed in detail.A prototype chip was designed,with a charge sensitive preamplifier,a 4th order semi-Gaussian shaper and several output drivers.Test results show that the chip has an equivalent noise charge of 164 e,without connecting it to a detector,with an integral nonlinearity of<0.21%and differential nonlinearity of<3.75%. 展开更多
关键词 电荷灵敏前置放大器 CMOS技术 粒子探测器 集成电路 热噪声 前端电路设计 DSM技术 读数
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集成电路中的天线效应 被引量:2
11
作者 刘义凯 刘丽娜 《微处理机》 2011年第6期6-7,11,共3页
天线效应会在MOS集成电路制造中引起良率和可靠性的问题,当芯片尺寸在深亚微米以下的工艺中更容易产生。介绍了集成电路中天线效应产生的原理,以及在版图设计中为避免天线效应所常用的几种方法。
关键词 天线效应 版图设计 深亚微米
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深亚微米SOI工艺ESD防护器件设计 被引量:2
12
作者 米丹 周昕杰 +2 位作者 周晓彬 何正辉 卢嘉昊 《电子与封装》 2021年第5期56-62,共7页
在集成电路设计领域,绝缘体上硅(SOI)工艺以其较小的寄生效应、更快的速度,得到广泛应用。但由于SOI工艺器件的结构特点及自加热效应(SHE)的影响,其静电放电(ESD)防护器件设计成为一大技术难点。当工艺进入深亚微米技术节点,基于部分耗... 在集成电路设计领域,绝缘体上硅(SOI)工艺以其较小的寄生效应、更快的速度,得到广泛应用。但由于SOI工艺器件的结构特点及自加热效应(SHE)的影响,其静电放电(ESD)防护器件设计成为一大技术难点。当工艺进入深亚微米技术节点,基于部分耗尽型SOI(PD-SOI)工艺的ESD防护器件设计尤为困难。为了提高深亚微米SOI工艺电路的可靠性,开展了分析研究。结合SOI工艺器件的结构特点,针对性地进行了ESD防护器件选择,合理设计了器件尺寸参数,并优化设计了器件版图。使用该设计的一款数字电路,通过了4.5 k V人体模型(HBM)的ESD测试。该设计有效解决了深亚微米SOI工艺ESD防护器件稳健性弱的问题。 展开更多
关键词 深亚微米 SOI工艺 自加热效应 ESD防护器件 栅控二极管
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短沟道MOSFET解析物理模型 被引量:2
13
作者 杨谟华 于奇 +2 位作者 肖兵 谢晓峰 李竞春 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第11期84-86,92,共4页
本文基于修正的二维泊松方程导出了适用于深亚微米MOSFET的阈值电压解析模型,并进而通过反型区电荷统一表达式并考虑到载流子速度饱和、DIBL、相关迁移率、反型层电容和沟道长度调制等主要小尺寸与高场效应,最后得到了较为准确、连续和... 本文基于修正的二维泊松方程导出了适用于深亚微米MOSFET的阈值电压解析模型,并进而通过反型区电荷统一表达式并考虑到载流子速度饱和、DIBL、相关迁移率、反型层电容和沟道长度调制等主要小尺寸与高场效应,最后得到了较为准确、连续和可缩小的漏极电流模型.模型输出与华晶等样品测试MINIMOS模拟结果较为吻合。 展开更多
关键词 短沟道 MOSFET 解析物理模型 VLSI/ULSI
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一种使用遗传算法在高层次综合中完成互连优化的方法 被引量:2
14
作者 王磊 粟雅娟 魏少军 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期607-612,共6页
提出一种使用遗传算法在高层次综合中完成互连优化的方法 .相比同类的研究 ,该方法的主要优势在于提出一种新颖的编码方法 ,并设计了相应的遗传算子 ,避免了在计算过程中不可行解的产生 .
关键词 深亚微米 互连 高层次综合 资源分配 遗传算法
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深亚微米SOC芯片分层设计方法 被引量:1
15
作者 刘德启 胡忠 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期335-338,共4页
根据深亚微米SOC设计的特点和需求,提出了一种新的基于模块的全芯片分层设计方法,它把系统架构、逻辑设计以及物理实现有机结合到一起。通过渐进式时序收敛完成芯片的层次规划,并最终达到一次实现芯片级的时序收敛,大大提高了深亚微米SO... 根据深亚微米SOC设计的特点和需求,提出了一种新的基于模块的全芯片分层设计方法,它把系统架构、逻辑设计以及物理实现有机结合到一起。通过渐进式时序收敛完成芯片的层次规划,并最终达到一次实现芯片级的时序收敛,大大提高了深亚微米SOC设计的效率,并在实际设计之中得到了有效验证。 展开更多
关键词 深亚微米 片上系统 分层 渐进收敛
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Hot-carrier effects on irradiated deep submicron NMOSFET
16
作者 崔江维 郑齐文 +6 位作者 余学峰 丛忠超 周航 郭旗 文林 魏莹 任迪远 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2014年第7期52-55,共4页
We investigate how F exposure impacts the hot-carrier degradation in deep submicron NMOSFET with different technologies and device geometries for the first time. The results show that hot-carrier degradations on irrad... We investigate how F exposure impacts the hot-carrier degradation in deep submicron NMOSFET with different technologies and device geometries for the first time. The results show that hot-carrier degradations on irradiated devices are greater than those without irradiation, especially for narrow channel device. The reason is attributed to charge traps in STI, which then induce different electric field and impact ionization rates during hotcarrier stress. 展开更多
关键词 F ray irradiation deep submicron hot-carrier effect
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深亚微米N沟道MOS晶体管的总剂量效应 被引量:1
17
作者 文林 李豫东 +5 位作者 郭旗 孙静 任迪远 崔江维 汪波 玛丽娅 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期666-669,共4页
为了研究深亚微米工艺CCD的辐射效应特性,了解因器件特征尺寸变小引入的新效应,对0.18μm商用工艺线上流片的不同沟道宽长比的N型沟道MOSFET器件进行了60Co-γ射线辐照实验,这些NMOSFET与CCD内的MOSFET结构相同。分析了辐照后由于总剂... 为了研究深亚微米工艺CCD的辐射效应特性,了解因器件特征尺寸变小引入的新效应,对0.18μm商用工艺线上流片的不同沟道宽长比的N型沟道MOSFET器件进行了60Co-γ射线辐照实验,这些NMOSFET与CCD内的MOSFET结构相同。分析了辐照后由于总剂量效应导致的NMOSFET参数退化情况以及参数的常温和高温退火行为。实验结果表明,深亚微米工艺器件的辐射耐受性相比大尺寸器件明显增强,不同沟道宽长比的器件表现出的总剂量效应差异显示了器件具有明显的窄沟效应,界面陷阱电荷在新型器件的总剂量效应中起主导作用。研究结果为大面阵CCD的辐射效应研究和辐射加固设计提供了理论支持。 展开更多
关键词 深亚微米 NMOSFET 总剂量效应 窄沟效应
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深亚微米MOSFET短沟效应的变分法分析
18
作者 陈文松 田立林 李志坚 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第S1期3-6,共4页
短沟效应将成为限制MOS器件进一步缩小的主要因素。利用求解Poisson方程的变分方法对短沟效应进行了分析,导出了表征器件短沟效应的自然沟长尺度表达式。同时考虑了栅介质、沟道耗尽层和埋层SiO2中的二维效应,结果只与... 短沟效应将成为限制MOS器件进一步缩小的主要因素。利用求解Poisson方程的变分方法对短沟效应进行了分析,导出了表征器件短沟效应的自然沟长尺度表达式。同时考虑了栅介质、沟道耗尽层和埋层SiO2中的二维效应,结果只与边界条件与长沟解的差有关,具有清晰的物理意义。均匀掺杂沟道体硅MOSFET、本征掺杂沟道体硅MOS-FET、常规SOIMOSFET和双栅SOIMOSFET的短沟效应数值模拟比较结果与模型结论完全一致。表明模型能对不同器件结构的细致差别正确模拟。研究结果为设计抑制短沟效应的新型器件提供了指导。 展开更多
关键词 POISSON方程 变分法 深亚微米 MOSFET 短沟效应
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深亚微米CMOS IC抗噪声ESD保护电路的设计 被引量:1
19
作者 陈曦 庄奕琪 +2 位作者 罗宏伟 胡净 韩孝勇 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期439-442,共4页
 CMOS工艺技术缩小到深亚微米阶段,电路的静电(ESD)保护能力受到了更大的限制。因此,需要采取更加有效并且可靠的静电放电保护设计。文章提出了一种新型的ESD保护电路,以LVTSCR结构为基础,结合栅耦合技术以及抗噪声干扰技术。这种新型...  CMOS工艺技术缩小到深亚微米阶段,电路的静电(ESD)保护能力受到了更大的限制。因此,需要采取更加有效并且可靠的静电放电保护设计。文章提出了一种新型的ESD保护电路,以LVTSCR结构为基础,结合栅耦合技术以及抗噪声干扰技术。这种新型电路即使被意外触发也不会引起闩锁效应,提高了ESD保护电路的可靠性,实现了全芯片保护。 展开更多
关键词 深亚微米CMOS 噪声 ESD保护电路 静电保护 可靠性设计 集成电路
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一种深亚微米复杂芯片物理设计的时序收敛方法 被引量:1
20
作者 郑天华 梁利平 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2013年第11期139-142,共4页
深亚微米工艺下超大规模芯片的物理设计面临很多挑战,互连延时和串扰效应成为影响时序收敛的关键因素.文中介绍了一种采用二次综合、区域约束和串扰预防等措施实现渐进式时序收敛的方法.在65纳米工艺下,通过530万门多核DSP芯片设计验证... 深亚微米工艺下超大规模芯片的物理设计面临很多挑战,互连延时和串扰效应成为影响时序收敛的关键因素.文中介绍了一种采用二次综合、区域约束和串扰预防等措施实现渐进式时序收敛的方法.在65纳米工艺下,通过530万门多核DSP芯片设计验证了该方法.实例设计结果表明,这种方法可以有效地解决互连延时和串扰问题,实现复杂芯片的时序收敛. 展开更多
关键词 深亚微米 时序收敛 连线延时 串扰效应
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