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ZrO_2薄膜的X射线光电子能谱分析
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作者 娄彦良 肖文凯 李元科 《郑州工业大学学报》 CAS 2000年第4期39-41,共3页
用X射线光电子能谱 (XPS)对自制ZrO2 薄膜进行了成分分析 .结果发现 ,在基片有负偏压的条件下 ,薄膜发生了氧缺位现象 ,退火处理可以补偿氧缺位 .在膜表面存在一个Y的偏聚层 .
关键词 氧化锆薄膜 X射线光电子能谱 成分
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