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高性能光学合成石英玻璃的制备和应用 被引量:21
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作者 聂兰舰 王玉芬 +2 位作者 向在奎 王蕾 王慧 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期2916-2924,共9页
介绍了制备光学合成石英玻璃的常用工艺方法,包括化学气相沉积、等离子化学气相沉积和间接合成法等;给出了不同光学石英玻璃使用的原材料、它们的特点及其在不同领域的应用综述了该项技术在国内外的发展现状。比较了上述制备方法的优缺... 介绍了制备光学合成石英玻璃的常用工艺方法,包括化学气相沉积、等离子化学气相沉积和间接合成法等;给出了不同光学石英玻璃使用的原材料、它们的特点及其在不同领域的应用综述了该项技术在国内外的发展现状。比较了上述制备方法的优缺点,其中立式化学气相沉积工艺是目前最成熟的商业化工艺,可用于制备直径达Φ600mm以上、光学均匀性优于2×10^(-6)、抗激光损伤阈值达30J/cm2@355nm的大尺寸合成石英玻璃;等离子化学气相沉积工艺可制备内在质量优异、羟基含量≤5×10^(-6)、光谱透过率T190-4000nm≥80%的全光谱透过石英玻璃;间接合成法可制备光吸收系数小于1×10^(-6)/cm@1064nm、羟基含量≤1×10^(-6)、光谱透过率T157-4000nm≥80%的石英玻璃,而且易于掺杂及控制缺陷,进而制备各类掺杂特殊功能的石英玻璃。文章最后指出:上述制备工艺各有优缺点,应根据高端光电技术领域的应用需求采取适当的制备工艺。 展开更多
关键词 光学石英玻璃 化学气相沉积 等离子化学气相沉积 间接合成法 综述
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碳化硅衬底外延石墨烯 被引量:2
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作者 盛百城 刘庆彬 +5 位作者 蔚翠 何泽召 高学栋 郭建超 周闯杰 冯志红 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第8期635-640,共6页
通过高温热解法和化学气相沉积(CVD)法在SiC(0001)衬底外延石墨烯。采用光学显微镜、原子力显微镜、扫描电子显微镜、喇曼光谱、X射线光电子能谱和霍尔测试系统对样品进行表征,并对比了两种不同生长方法对石墨烯材料的影响以及不同的成... 通过高温热解法和化学气相沉积(CVD)法在SiC(0001)衬底外延石墨烯。采用光学显微镜、原子力显微镜、扫描电子显微镜、喇曼光谱、X射线光电子能谱和霍尔测试系统对样品进行表征,并对比了两种不同生长方法对石墨烯材料的影响以及不同的成核机理。结果表明,高温热解法制备的石墨烯材料有明显的台阶形貌,台阶区域平坦均匀,褶皱少,晶体质量取决于SiC衬底表面原子层,电学特性受衬底影响大,迁移率较低。CVD法制备的石墨烯材料整体均匀,褶皱较多,晶体质量更好。该方法制备的石墨烯薄膜悬浮在SiC衬底表面,与衬底之间为范德华力连接,电学特性受衬底影响小,迁移率较高。 展开更多
关键词 石墨烯 碳化硅衬底 高温热解法 化学气相沉积(cvd)法 成核机理
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不同衬底上层状MoS2薄膜制备及应用的研究进展 被引量:2
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作者 陶化文 黄玲琴 朱靖 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第10期737-747,759,共12页
二维层状MoS2薄膜具有超高的光响应度、高导电特性、良好的光学透明度以及优异的机械性能,是制造多功能和高性能光电探测器、传感器等最理想的半导体材料之一。在不同衬底上制备的MoS2薄膜性质有所差异,其构成的异质结性能也各具特色。... 二维层状MoS2薄膜具有超高的光响应度、高导电特性、良好的光学透明度以及优异的机械性能,是制造多功能和高性能光电探测器、传感器等最理想的半导体材料之一。在不同衬底上制备的MoS2薄膜性质有所差异,其构成的异质结性能也各具特色。首先,介绍了常用于制备层状MoS2薄膜的化学气相沉积(CVD)法和高温热分解法;然后,综述了在Si、塑料、GaN、GaAs、Si纳米线、蓝宝石、SiO2/Si和SiC等不同衬底上制备层状MoS2薄膜的方法,利用原子力显微镜、X射线衍射、拉曼光谱、X射线光电子能谱等测试方法对各衬底上制备的MoS2薄膜结构和性能进行了表征;同时讨论了相应的异质结器件的特性及应用,并对高质量MoS2薄膜在光电探测器、气体传感器、压电器件等光电子和纳电子器件中的应用进行了展望。 展开更多
关键词 二维层状MoS2 GAN 蓝宝石 SiC 化学气相沉积(cvd)法 高温热分解法 异质结
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石墨烯材料、器件与电路的研究现状 被引量:2
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作者 王宗成 王淑华 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第10期613-619,628,共8页
简单介绍了石墨烯优异的电学特性及主要国家的发展规划。详细论述了石墨烯材料制备技术的发展现状,如SiC外延法和CVD法的优缺点和目前的技术水平,其中SiC外延法生长的石墨烯尺寸达4英寸(1英寸=2.54 cm),迁移率高;CVD法生长的石墨烯尺寸... 简单介绍了石墨烯优异的电学特性及主要国家的发展规划。详细论述了石墨烯材料制备技术的发展现状,如SiC外延法和CVD法的优缺点和目前的技术水平,其中SiC外延法生长的石墨烯尺寸达4英寸(1英寸=2.54 cm),迁移率高;CVD法生长的石墨烯尺寸达30英寸以上,质量好,基本能满足石墨烯器件和电路的应用需求。从RF器件和电路、数字逻辑器件和电路以及THz器件和电路几个方面重点阐述了石墨烯电子器件和电路的最新研究进展,目前石墨烯RF晶体管在栅长分别为67和140 nm时,截止频率fT分别为427和300 GHz,而石墨烯逻辑器件在带隙研究的推动下,导通关断电流比(Ion/Ioff)已达到107。最后,从石墨烯材料制备和电子器件与电路方面对其发展方向进行了总结。 展开更多
关键词 石墨烯 SiC外延生长 化学气相沉积(cvd)法 射频(RF)器件 逻辑器件 太赫兹(THz)器件
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温度对硅衬底上生长石墨烯的影响 被引量:1
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作者 刘庆彬 蔚翠 +4 位作者 何泽召 王晶晶 李佳 芦伟立 冯志红 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第11期852-856,共5页
通过化学气相沉积(CVD)法在Si衬底上制备石墨烯薄膜,研究了生长温度对薄膜的影响以及石墨烯生长机理。采用傅里叶变换红外光谱(FTIR)、喇曼光谱、光学显微镜(OM)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子谱(XPS)表征石墨... 通过化学气相沉积(CVD)法在Si衬底上制备石墨烯薄膜,研究了生长温度对薄膜的影响以及石墨烯生长机理。采用傅里叶变换红外光谱(FTIR)、喇曼光谱、光学显微镜(OM)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子谱(XPS)表征石墨烯材料。结果表明,生长温度越高,越有利于Si衬底上石墨烯薄膜的形成和连续。生长过程中,C原子渗入Si衬底表层,在其表面优先形成3C-SiC缓冲层,随后在缓冲层表面重构形成石墨烯。在Si衬底上沉积SiO_2和Si_3N_4覆盖层,发现生长过程中不再出现3C-SiC缓冲层。随着生长温度的增加,石墨烯薄膜缺陷降低,薄膜与衬底之间为范德华力。生长温度1 100℃下结晶质量最好。 展开更多
关键词 石墨烯 硅衬底 化学气相沉积(cvd)法 生长温度 生长机理
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具有有序宏观结构纳米碳纤维的制备及其性能应用 被引量:1
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作者 吴强 武美霞 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第22期3070-3074,共5页
以CH4为碳源,金属Ni为催化剂,采用化学气相沉积法(CVD)在有序宏观基体材料(SiO2纤维,Al2O3纤维)上制备出纳米碳纤维。利用场发射扫描电镜(FE-SEM)、透射电镜(TEM)、拉曼光谱(Raman)以及热重分析(TG)对产物进行了微观形貌和结构的检测。... 以CH4为碳源,金属Ni为催化剂,采用化学气相沉积法(CVD)在有序宏观基体材料(SiO2纤维,Al2O3纤维)上制备出纳米碳纤维。利用场发射扫描电镜(FE-SEM)、透射电镜(TEM)、拉曼光谱(Raman)以及热重分析(TG)对产物进行了微观形貌和结构的检测。结果表明,所制备的纳米碳纤维具有取向性,能够在有序宏观基体材料上形成致密有序的纳米碳纤维层;与Al2O3纤维相比,SiO2纤维更易于生成高质量的纳米碳纤维;所制备的纳米碳纤维遵循顶端生长模式。此外,采用纳米碳纤维作模板可以原位合成出具有有序宏观结构的纳米LaMnO3,它能明显降低碳黑颗粒的起燃温度,具有潜在的应用前景。 展开更多
关键词 SiO2纤维 AL2O3纤维 化学气相沉积法(cvd) 纳米碳纤维(CNFs) 模板法
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一种碳纳米纤维的大面积连续制备方法 被引量:1
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作者 王威 李亚爽 康建立 《天津工业大学学报》 CAS 北大核心 2020年第4期26-30,共5页
为了实现碳纳米材料的大面积连续制备,采用卷对卷化学气相沉积法,通过等离子体催化乙炔在Cu箔表面裂解,制备均匀连续的碳纳米纤维(CNFs)。结果表明:当等离子体功率为40 W时,合成的CNFs直径约为50~60 nm,且纯度较高;随着合成温度从550℃... 为了实现碳纳米材料的大面积连续制备,采用卷对卷化学气相沉积法,通过等离子体催化乙炔在Cu箔表面裂解,制备均匀连续的碳纳米纤维(CNFs)。结果表明:当等离子体功率为40 W时,合成的CNFs直径约为50~60 nm,且纯度较高;随着合成温度从550℃增加到700℃时,碳纳米产物由直壁状CNFs逐渐向单螺旋状CNFs转变,且直径不断增加;随着通入乙炔的气流量从5 mL/min增加到40 mL/min时,碳纳米产物由不均匀直壁状CNFs逐渐转变为均匀直壁CNFs,并在高的乙炔气流量下转变为单螺旋CNFs,且CNFs的直径及螺旋角呈逐渐增大的趋势。 展开更多
关键词 碳纳米纤维 连续均匀 大面积连续制备 化学气相沉积法(cvd)
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二维WS2薄膜的制备及光电特性 被引量:1
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作者 丁馨 徐铖 +2 位作者 许珂 朱静怡 马锡英 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第5期366-371,共6页
以硫化钨(WS2)水溶液为原料、氩气为携载气体、利用化学气相沉积(CVD)法在硅衬底上制备了二维WS2薄膜,并研究了其形貌、晶体结构、光吸收特性及光电特性等。发现利用该方法生长的WS2薄膜非常光滑均匀,并具有良好的结晶性。另外,发现WS2... 以硫化钨(WS2)水溶液为原料、氩气为携载气体、利用化学气相沉积(CVD)法在硅衬底上制备了二维WS2薄膜,并研究了其形貌、晶体结构、光吸收特性及光电特性等。发现利用该方法生长的WS2薄膜非常光滑均匀,并具有良好的结晶性。另外,发现WS2薄膜不仅在466 nm处有很强的蓝光发射,还在617和725 nm处有显著的红光发射,前者可能是由于量子尺寸效应引起的分立能级的发光,后者则分别对应WS2单层和多层的本征发射。最后,研究了WS2/Si异质结的光电效应和温度效应,发现随照射光功率或温度的增加,异质结的电流显著增大,说明WS2/Si异质结对光照和温度非常敏感,可用于制备太阳电池和光探测器等新型光电子器件。 展开更多
关键词 硫化钨(WS2)薄膜 化学气相沉积(cvd)法 WS2/Si异质结 光电特性 温度效应
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CVD法制备Sn掺杂MFI分子筛膜及其对乙醇/水体系的分离性能 被引量:1
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作者 彭莉 吴政奇 +2 位作者 王兴 王博轩 顾学红 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期2710-2716,共7页
采用化学气相沉积(CVD)法对MFI分子筛膜进行Sn掺杂,制备了一种Sn-MFI分子筛膜,并研究了其渗透汽化分离乙醇/水体系的性能.XRD,29Si NMR,UV-Vis及分离实验结果表明,采用CVD法在将Sn引入MFI膜时,膜层结构基本得到保持,Sn可以进入分子筛骨... 采用化学气相沉积(CVD)法对MFI分子筛膜进行Sn掺杂,制备了一种Sn-MFI分子筛膜,并研究了其渗透汽化分离乙醇/水体系的性能.XRD,29Si NMR,UV-Vis及分离实验结果表明,采用CVD法在将Sn引入MFI膜时,膜层结构基本得到保持,Sn可以进入分子筛骨架,有效地减少了膜表面的硅羟基缺陷,提高了膜分离乙醇/水体系时的稳定性.在SnCl4用量为3 mL、修饰时间为1 h时,所得到的Sn-MFI分子筛膜的渗透汽化分离性能最佳,并可在60℃下分离5%(质量分数)乙醇/水混合物时保持良好的稳定性.在经过连续50 h渗透气化分离后,其渗透通量仅从1.52 kg·m−2·h−1下降至1.38 kg·m−2·h−1,分离因子从18下降至16. 展开更多
关键词 MFI分子筛膜 锡修饰 化学气相沉积法
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二硫化钨薄膜的制备及发光性能
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作者 刘奇英 薛思敏 王彤 《吉林大学学报(理学版)》 CAS 北大核心 2022年第6期1446-1451,共6页
采用常压化学气相沉积(APCVD)法在SiO_(2)/Si(300 nm)衬底上制备最大尺寸为74.22μm的多层二硫化钨(WS_(2))薄膜,并在蓝宝石衬底上合成边缘清晰、形状规则、最大尺寸为41.89μm的WS_(2)薄膜.通过光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)、R... 采用常压化学气相沉积(APCVD)法在SiO_(2)/Si(300 nm)衬底上制备最大尺寸为74.22μm的多层二硫化钨(WS_(2))薄膜,并在蓝宝石衬底上合成边缘清晰、形状规则、最大尺寸为41.89μm的WS_(2)薄膜.通过光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)、Raman光谱仪和光致发光谱仪(PL)等对制备的样品进行表征,并结合样品的形貌尺寸分析生长温度、钨源和氯化钠(NaCl)用量比例、不同衬底等实验参数对生长WS_(2)薄膜的影响.实验结果表明:温度对APCVD生长WS_(2)薄膜影响最大,高温有助于生长高结晶质量的WS_(2)薄膜,温度越高,薄膜形状越规则;在最佳温度下,波数差越小,薄膜层数越少,晶粒缺陷越少,发光强度越高;不同温度对应的钨源和氯化钠用量比不同,加入适量的氯化钠有助于提高反应系统中钨源的过饱和度,促进反应顺利进行,更有利于WS_(2)薄膜生长;不同衬底制备WS_(2)薄膜的生长系统所需生长温度不同,在相同的实验条件下,蓝宝石衬底上所需的生长温度更高. 展开更多
关键词 二硫化钨 化学气相沉积法 晶体生长 RAMAN光谱 光致发光谱 发光性能
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Stacking monolayers at will:A scalable device optimization strategy for two-dimensional semiconductors
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作者 Xiaojiao Guo Honglei Chen +24 位作者 Jihong Bian Fuyou Liao Jingyi Ma Simeng Zhang Xinzhi Zhang Junqiang Zhu Chen Luo Zijian Zhang Lingyi Zong Yin Xia Chuming Sheng Zihan Xu Saifei Gou Xinyu Wang Peng Gong Liwei Liu Xixi Jiang Zhenghua An Chunxiao Cong Zhijun Qiu Xing Wu Peng Zhou Xinyu Chen Ling Tong Wenzhong Bao 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2022年第7期6620-6627,共8页
In comparison to monolayer(1L),multilayer(ML)two-dimensional(2D)semiconducting transition metal dichalcogenides(TMDs)exhibit more application potential for electronic and optoelectronic devices due to their improved c... In comparison to monolayer(1L),multilayer(ML)two-dimensional(2D)semiconducting transition metal dichalcogenides(TMDs)exhibit more application potential for electronic and optoelectronic devices due to their improved current carrying capability,higher mobility,and broader spectral response.However,the investigation of devices based on wafer-scale ML-TMDs is still restricted by the synthesis of uniform and high-quality ML films.In this work,we propose a strategy of stacking MoS_(2) monolayers via a vacuum transfer method,by which one could obtain wafer-scale high-quality MoS_(2) films with the desired number of layers at will.The optical characteristics of these stacked ML-MoS_(2) films(>2L)indicate a weak interlayer coupling.The stacked MLMoS_(2) phototransistors show improved optoelectrical performances and a broader spectral response(approximately 300-1,000 nm)than that of 1L-MoS_(2).Additionally,the dual-gate ML-MoS_(2) transistors enable enhanced electrostatic control over the stacked ML-MoS_(2) channel,and the 3L and 4L thicknesses exhibit the optimal device performances according to the turning point of the current on/off ratio and the subthreshold swing. 展开更多
关键词 two-dimensional semiconductor field-effect transistors chemical vapor deposition(cvd)synthesis interlayer coupling vacuum transfer method dual-gate transistor
原文传递
PMMA对石墨烯转移质量的影响
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作者 宋雪梅 桂羊羊 +1 位作者 孔鑫燚 严辉 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期948-952,共5页
在聚甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate,PMMA)辅助法转移化学气相沉积法生长的石墨烯过程中,PMMA是一种不可或缺的保护材料,为了分析探讨PMMA的固化条件对石墨烯转移质量的影响,借助拉曼光谱仪、原子力显微镜、紫外可见分光光度... 在聚甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate,PMMA)辅助法转移化学气相沉积法生长的石墨烯过程中,PMMA是一种不可或缺的保护材料,为了分析探讨PMMA的固化条件对石墨烯转移质量的影响,借助拉曼光谱仪、原子力显微镜、紫外可见分光光度计、霍尔效应测试仪等测试设备,对不同PMMA固化条件下转移所获得的石墨烯的表面形貌以及光电特性进行系统化的测试分析.结果表明:PMMA的固化对石墨烯的转移质量有着重要的影响,它能够有效地支撑和保护石墨烯,使石墨烯在转移过程中减少褶皱破损、杂质吸附以及晶格结构缺陷,并获得最佳的PMMA固化温度和时间分别为180℃、120 s,对应的石墨烯最高平均光学透过率、载流子浓度及迁移率分别达90.6%、6.7×1012cm^(-2)、1 500 cm^2/(V·s). 展开更多
关键词 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 石墨烯 化学气相沉积法(cvd)
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空心碳纳米球在锂离子电池中的性能
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作者 黄求来 罗海东 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第4期243-248,共6页
为了探究高性能的锂电池负极新型碳基材料,通过高温退火碳包铜纳米颗粒材料制备得到空心碳纳米球,该材料的平均粒径为20 nm,这比其他空心碳球的平均粒径都要小,碳层厚度为1~3 nm,喇曼强度比值为1.06,比表面积为300 m^2·g^(-1)。空... 为了探究高性能的锂电池负极新型碳基材料,通过高温退火碳包铜纳米颗粒材料制备得到空心碳纳米球,该材料的平均粒径为20 nm,这比其他空心碳球的平均粒径都要小,碳层厚度为1~3 nm,喇曼强度比值为1.06,比表面积为300 m^2·g^(-1)。空心碳纳米球作为锂电池负极材料表现出出众的电化学性能,在186 mA·g^(-1)的电流密度下比容量达到400 mA·h·g^(-1),在不同的电流密度下具有良好的比容量,循环100次的容量保持率为100%,这些优异的电化学性能与空心碳纳米球的高比表面积、空心结构和非常小的粒径有关,这些结果表明空心碳纳米球是一种具有潜力的锂电池负极材料。 展开更多
关键词 锂离子电池 空心碳纳米球 化学气相沉积(cvd)法 负极材料 电化学性能
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CVD反应器内复杂流动现象的有限元模拟
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作者 丛志先 金希卓 《吉林大学自然科学学报》 CAS CSCD 1992年第1期29-33,共5页
本文建立了用于计算立式钟罩CVD反应器内对流扩散现象的流体动力学和热输运方程,并用Galerkin有限元法做了计算(计算过程中考虑了热浮力对流动的影响)。计算结果表明,在热基座上方存在着涡旋运动,彻底消除这种运动比较困难,但适当地增... 本文建立了用于计算立式钟罩CVD反应器内对流扩散现象的流体动力学和热输运方程,并用Galerkin有限元法做了计算(计算过程中考虑了热浮力对流动的影响)。计算结果表明,在热基座上方存在着涡旋运动,彻底消除这种运动比较困难,但适当地增加入流速度可使涡旋区远离基座表面,从而可消弱涡旋运动对薄膜生长均匀性的影响。 展开更多
关键词 质量输运 有限元法 反应器 cvd
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CVD反应器内基座倾斜时流场的有限分析方法数值计算
15
作者 郭庆尧 金希卓 《吉林大学自然科学学报》 CAS CSCD 1993年第4期42-48,共7页
本文用有限分析方法,对带有倾斜基座的CVD反应器内流场进行了数值计算.结果表明,有限分析方法对于小倾角的非矩形边界的解域也是适用的.
关键词 化学汽相淀积 数值模拟 流场
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金刚石薄膜热沉制备的研究 被引量:1
16
作者 于三 赵方海 +3 位作者 金曾孙 吕宪义 庄荣书 邹广田 《吉林大学自然科学学报》 CAS CSCD 1990年第3期75-76,共2页
1967年Dyment等人利用Ⅱα型天然金刚石制备出了用于GaAs半导体激光二极管散热用的金刚石热沉,并用该热沉首次实现了这一激光二极管的室温连续工作。但是由于受到制备成本的限制,利用天然及高压合成金刚石制备的热沉一直没有得到推广应... 1967年Dyment等人利用Ⅱα型天然金刚石制备出了用于GaAs半导体激光二极管散热用的金刚石热沉,并用该热沉首次实现了这一激光二极管的室温连续工作。但是由于受到制备成本的限制,利用天然及高压合成金刚石制备的热沉一直没有得到推广应用。 本文用灯丝热解CVD方法,合成了厚度为100μm的金刚石多晶薄膜。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 半导体激光器 热沉
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Safe growth of graphene from non-flammable gas mixtures via chemical vapor deposition
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作者 Ying Feng Daniel J.Trainer +2 位作者 Hongshang Peng Ye Liu Ke Chen 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第3期285-290,共6页
Chemical vapor deposition has emerged as the most promising technique for the growth of graphene.However, most reports of this technique use either flammable or explosive gases, which bring safety concerns and extra c... Chemical vapor deposition has emerged as the most promising technique for the growth of graphene.However, most reports of this technique use either flammable or explosive gases, which bring safety concerns and extra costs to manage risk factors. In this article, we demonstrate that continuous monolayer graphene can be synthesized via chemical vapor deposition technique on Cu foils using industrially safe gas mixtures. Important factors, including the appropriate ratio of hydrogen flow and carbon precursor,pressure, and growth time are considered to obtain graphene films. Optical measurements and electrical transport measurements indicate graphene films are with comparable quality to other reports. Such continuous large area graphene can be synthesized under non-flammable and non-explosive conditions, which opens a safe and economical method for mass production of graphene. It is thereby beneficial for integration of graphene into semiconductor electronics. 展开更多
关键词 Graphene Safe growth Non-flammable chemical vapor depositioncvd Contact resistance Transfer length method
原文传递
MoS_2纳米材料化学合成工艺流程的研究 被引量:2
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作者 徐志昌 张萍 《中国钼业》 2009年第6期11-25,共15页
对化学合成MoS2纳米材料的工艺流程进行了研究,从技术、经济和环境保护等的角度评估了各种工艺流程。研究结果证明,化学气相沉积法(CVD流程)的工艺步骤最短、无过滤和干燥工序、[s]/[Mo]的克分子比值最低、无废水、废气组成最简单、废... 对化学合成MoS2纳米材料的工艺流程进行了研究,从技术、经济和环境保护等的角度评估了各种工艺流程。研究结果证明,化学气相沉积法(CVD流程)的工艺步骤最短、无过滤和干燥工序、[s]/[Mo]的克分子比值最低、无废水、废气组成最简单、废气容易回收利用,最具有工业放大价值;其中有待开发的项目是固体催化剂和液体模板等。其他3种湿法流程包括后还原沉淀法、先还原沉淀法以及水热法等。它们在工艺步骤、硫化物原料消耗、废气、废水方面存在明显差别,其中的水热法具有工艺步骤较短、硫化物原料耗量较少以及免除了含有硫化氢的废气等明显优势,因此,水热法在湿法工艺流程中独占鳌头,优势明显。为了制备纳米MoS2涂层薄膜材料,应当努力开展溶胶-凝胶流程的研究;为了制备MoS2纳米管材料,应当努力开展环状有机硫化合物,即液体模板的研究以及有序固体模板的研究。 展开更多
关键词 MoS2纳米材料 化学气相沉积法(cvd) 先还原沉淀法 后还原沉淀法 水热法 溶胶-凝胶法
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