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题名垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的实验研究
被引量：2
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作者
侯立峰
冯源
钟景昌
杨永庄
赵英杰
郝永芹
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机构
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室
中国人民解放军装甲兵技术学院
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期2733-2737,共5页
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基金
国家自然科学基金(60676059)
吉林省科技发展计划项目(20080331)资助
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文摘
为实现对垂直腔面发射半导体激光器氧化孔径的精确控制,提高其光电特性,对湿法氧化工艺进行了实验研究.在不同的氧化温度下,对相同结构的垂直腔面发射半导体激光器模拟片进行湿法氧化.采用X射线能谱分析仪,对氧化后模拟片的氧化层按不同的氧化深度对其氧化生成物进行检测.依据氧化生成物中氧元素组分浓度的变化,对氧化过程进行了分析与讨论,推导出在一定的温度下,氧化速率随时间变化的一般规律.提出了在垂直腔面发射半导体激光器的湿法氧化工艺过程中,适当降低氧化温度,延长氧化时间,可减小氧化限制孔径的控制误差,提高氧化工艺的准确性与稳定性.
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关键词
垂直腔面发射激光器
湿法氧化
x射线能谱分析
氧化限制孔径
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Keywords
VCSEL
Wet oxidation
x-ray micro-analyses
Oxide-aperture
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分类号
TN248
[电子电信—物理电子学]
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题名电子探针波谱仪分析方法及其在钢铁冶金领域的应用
被引量：11
- 2
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作者
孙宜强
张萍
许竹桃
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机构
武汉钢铁(集团)公司研究院
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2013年第6期525-529,共5页
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文摘
本文介绍了电子探针波谱仪工作原理、分析方法和特点,举例讨论了波谱仪定性分析、定量分析、点分析、线分析和面分析在钢铁冶金领域的应用。结果表明,电子探针显微分析是一个重要的微区成分分析手段,它成功地把微区形貌和成分分析相结合,还可以进行状态分析、断口分析和高倍组织观察,在钢铁冶金领域具有不可替代的作用。
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关键词
电子探针
波谱仪
分析方法
状态分析
钢铁
冶金
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Keywords
electron probe x-ray micro-analyser
wavelength dispersive spectrometer
analysis method
state analysis
ferrousmetallurgy
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分类号
TG115.215.7
[金属学及工艺—物理冶金]
TH841
[金属学及工艺—金属学]
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题名电子探针图象处理程序自动定量统计矿石光片矿物量
被引量：1
- 3
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作者
黎小文
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机构
地矿部新疆中心实验室
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出处
《岩矿测试》
CAS
CSCD
北大核心
1994年第1期11-14,共4页
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文摘
探讨了用电子探针微区分析（ＥＰＭＡ）图象处理程序自动定量统计矿石光片矿物量的方法，实现了矿物量统计的自动化。
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关键词
矿石光片
矿物量
图象处理程序
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Keywords
electron prob x-ray micro analyser(EPMA),binary image,area percent,image process program
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分类号
P575.1
[天文地球—矿物学]
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