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脉冲偏压作用下MgO薄膜表面的荷电效应 被引量:1
1
作者 朱道云 郑昌喜 +3 位作者 王明东 陈弟虎 何振辉 闻立时 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期48-52,共5页
采用脉冲偏压电弧离子沉积技术在玻璃基片上制备了透明的、具有择优取向的MgO薄膜。针对绝缘性薄膜表面的荷电效应,比较了脉冲偏压作用下鞘层对离子的加速时间(即鞘层的寿命)与脉冲宽度的大小以及偏压鞘层的初始厚度与离子穿越的距离... 采用脉冲偏压电弧离子沉积技术在玻璃基片上制备了透明的、具有择优取向的MgO薄膜。针对绝缘性薄膜表面的荷电效应,比较了脉冲偏压作用下鞘层对离子的加速时间(即鞘层的寿命)与脉冲宽度的大小以及偏压鞘层的初始厚度与离子穿越的距离的大小,讨论了不同占空比下偏压鞘层对离子的加速效应。利用X射线衍射及扫描电子显微镜对样品的观察结果表明,由于荷电效应,脉冲偏压幅值为-150 V,占空比在10%~40%的范围内,占空比的变化并不能改变MgO薄膜的微观结构和表面形貌。 展开更多
关键词 脉冲偏压 电弧离子 荷电效应 MgO薄膜
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真空热处理对多弧离子镀NiCoCrAlY涂层高温氧化行为的影响
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作者 李玲 杜汐然 +6 位作者 曲品权 李建呈 王金龙 古岩 张甲 陈明辉 王福会 《中国腐蚀与防护学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期243-248,共6页
采用多弧离子镀技术在镍基高温合金上沉积NiCoCrAlY涂层,通过真空热处理消除涂层内部孔洞。研究了950、1000和1050℃热处理后的涂层在1000℃下的氧化实验,以探究最优的热处理温度。采用XRD、SEM和EDS观察分析涂层的物相组成和表截面形... 采用多弧离子镀技术在镍基高温合金上沉积NiCoCrAlY涂层,通过真空热处理消除涂层内部孔洞。研究了950、1000和1050℃热处理后的涂层在1000℃下的氧化实验,以探究最优的热处理温度。采用XRD、SEM和EDS观察分析涂层的物相组成和表截面形貌。结果表明,真空热处理后,基体与涂层结合紧密,氧化增重相对缓慢,涂层表面能形成均匀致密的氧化膜。其中,1000℃下真空热处理的涂层表现出了良好的抗氧化和防剥落性能。 展开更多
关键词 MCRALY涂层 高温氧化 真空热处理 多弧离子镀 高温防护涂层
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Si含量对电弧离子镀Ti-Al-Si-N薄膜组织结构和力学性能的影响 被引量:22
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作者 时婧 裴志亮 +3 位作者 宫骏 孙超 MUDERS C M 姜辛 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期1349-1356,共8页
利用磁过滤电弧离子镀技术在高速钢基体上制备了不同Si含量的Ti-Al-Si-N薄膜,研究了Si含量对薄膜组织结构以及力学性能的影响.结果表明,Ti-Al-Si-N薄膜主要由晶态TiAlN和非晶态的Si_3N_4组成,随着Si含量的增加,XRD衍射峰强度减弱,晶粒... 利用磁过滤电弧离子镀技术在高速钢基体上制备了不同Si含量的Ti-Al-Si-N薄膜,研究了Si含量对薄膜组织结构以及力学性能的影响.结果表明,Ti-Al-Si-N薄膜主要由晶态TiAlN和非晶态的Si_3N_4组成,随着Si含量的增加,XRD衍射峰强度减弱,晶粒尺寸减小;薄膜的显微组织也由明显的柱状晶转变为致密的纳米晶结构.利用纳米硬度仪对薄膜的硬度和弹性模量进行了分析,结果表明,薄膜的硬度和弹性模量有着相似的变化趋势,随着Si含量的增加,两者都先增加,当Si含量达到一定程度时.它们会逐渐稳定在一定范围内,而后又随Si含量的继续增加呈下降趋势.通过划痕测试对薄膜结合强度进行了分析,结果表明,薄膜与基体的结合强度随Si含量的增加先减小而后增加. 展开更多
关键词 磁过滤电弧离子镀 Ti-Al-Si-N薄膜 纳米硬度 结合强度
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基体材料对TiN薄膜表面液滴及薄膜结合力的影响 被引量:16
4
作者 龚才 代明江 +2 位作者 陈明安 韦春贝 侯惠君 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期27-33,共7页
采用真空阴极电弧离子镀技术分别在4Cr5MoSiV1(H13)模具钢、Cr18Ni9Ti(304)不锈钢、YG6硬质合金、Ti6Al4V(TC4)钛合金4种基体表面沉积TiN薄膜。利用扫描电镜(SEM)对薄膜表面液滴进行观察分析,通过划痕仪对薄膜的膜/基结合力进行表征。... 采用真空阴极电弧离子镀技术分别在4Cr5MoSiV1(H13)模具钢、Cr18Ni9Ti(304)不锈钢、YG6硬质合金、Ti6Al4V(TC4)钛合金4种基体表面沉积TiN薄膜。利用扫描电镜(SEM)对薄膜表面液滴进行观察分析,通过划痕仪对薄膜的膜/基结合力进行表征。结果表明:基体材料不同,TiN薄膜上液滴的密度、尺寸存在明显的区别。其中,镀膜后H13钢和304不锈钢表面的液滴数量最多,YG6硬质合金次之,TC4钛合金最少;薄膜的膜/基结合强度依次为YG6硬质合金>H13钢>304不锈钢>TC4钛合金。 展开更多
关键词 真空阴极电弧离子镀 TIN薄膜 液滴 基结合力
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烷/炔气低温沉积TiC黑膜的研究 被引量:5
5
作者 张海军 《真空》 CAS 北大核心 2001年第6期17-19,共3页
研究输入 C2 H2 +C3H8+Ar+N2 混合气的低温沉积 Ti C涂层真空阴极电弧离子镀技术 ,研究结果表明 :Ti C涂层层深 0 .0 0 5~ 0 .0 0 2 5 m m,涂层硬度 2 80 0~ 35 0 0 Hv0 .0 2 ,主要用于材料表面工程中耐磨。
关键词 真空阴极电弧离子镀 低温沉积 TiC黑膜 金属材料 表面处理 碳化钛涂层 丙烷气 乙炔气
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钢领表面电弧离子镀TiAlCN薄膜 被引量:7
6
作者 杨立军 张泽辉 +1 位作者 党新安 李林 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期51-55,共5页
在低温(145℃)条件下,采用真空电弧离子镀技术在GCr15钢领表面制备TiAlCN薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、电子探针(EPMA)、X射线衍射仪(XRD)、附着力测试仪和显微硬度计分析测试薄膜形貌和性质。结果表明,负偏压较小,液滴尺寸大;负偏... 在低温(145℃)条件下,采用真空电弧离子镀技术在GCr15钢领表面制备TiAlCN薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、电子探针(EPMA)、X射线衍射仪(XRD)、附着力测试仪和显微硬度计分析测试薄膜形貌和性质。结果表明,负偏压较小,液滴尺寸大;负偏压过高,液滴脱落后留下很多凹坑,薄膜组织性能恶化。随着弧电流的增大,液滴发生细化。当弧电流为50A、负偏压为-100V和镀膜时间为50min时,薄膜的均匀性和致密性好,薄膜表面的液滴分布均匀且尺寸小,液滴最大尺寸小于2μm,膜层平均厚度为2.2μm,膜层中有Fe0.975Ti0.025(110)、Ti2N(112)和AlTi3(CN)0.6等多种物质的存在,改善了膜层的组织结构,薄膜的附着力达到最大值39.8N,薄膜的硬度达到最大值1 776HV0.01,显著提高了钢领的表面硬度。 展开更多
关键词 真空电弧离子镀 TiAlCN 硬度 附着力
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硬质合金刀条AlCrN硬质膜性能的研究 被引量:6
7
作者 金烨堂 王进 +2 位作者 马大衍 柳琪 王旭 《精密成形工程》 2018年第4期139-144,共6页
目的采用阴极多弧离子镀膜设备制备Al Cr N薄膜,研究适合实际工况的膜层性能和厚度。方法利用工具显微镜、扫描电子显微镜检测并分析涂层表面和截面形貌;使用洛氏硬度计、HV显微硬度计、球磨仪检测分析涂层膜基结合力以及涂层厚度对结... 目的采用阴极多弧离子镀膜设备制备Al Cr N薄膜,研究适合实际工况的膜层性能和厚度。方法利用工具显微镜、扫描电子显微镜检测并分析涂层表面和截面形貌;使用洛氏硬度计、HV显微硬度计、球磨仪检测分析涂层膜基结合力以及涂层厚度对结合力、涂层显微硬度和使用寿命的影响。结果涂层以Al Cr N/Cr N结构沉积,涂层表面呈波纹状,分布有大颗粒和凹坑,经钝化处理后,表面质量明显改善。涂层的显微硬度为HV2200~HV3700,在基体硬度不变的情况下涂层的显微硬度随涂层厚度的增加而增加。随着涂层厚度的增加,结合力先变好后变差,刀条实际使用寿命也有相同的变化趋势。结论硬质合金刀条的最佳涂层厚度为4.0~4.5μm。 展开更多
关键词 硬质合金刀条 阴极多弧离子镀 结合力 涂层厚度
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条纹相机在真空弧离子源等离子体诊断中的应用 被引量:5
8
作者 唐建 卢彪 +3 位作者 伍春雷 邓春凤 胡永宏 温中伟 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期188-192,共5页
针对真空弧离子源,利用条纹相机将时间轴信息转换为空间轴信息的特点,结合光谱仪分光功能,建立了一套高时间分辨与光谱分辨能力的发射光谱诊断装置,其时间分辨率和光谱分辨率分别可达26ps与0.1nm。利用该诊断装置采集获得了单次脉冲内... 针对真空弧离子源,利用条纹相机将时间轴信息转换为空间轴信息的特点,结合光谱仪分光功能,建立了一套高时间分辨与光谱分辨能力的发射光谱诊断装置,其时间分辨率和光谱分辨率分别可达26ps与0.1nm。利用该诊断装置采集获得了单次脉冲内等离子体的时间演化特性;同时,基于局域热力学平衡等离子体的发射光谱理论,建立了一套谱线拟合的等离子体温度与密度计算模型。相比传统的Boltzmann斜率法与Stark展宽法需要寻找孤立的不受附近谱线叠加的干净线状光谱,建立的拟合光谱模型可以直接处理多条谱线因为展宽效应而叠加形成的光谱线型,计算得到等离子体中电子温度与电子密度。结果表明,在脉冲功率源的作用下,真空弧放电等离子体的电子温度与电子密度分别可达1eV与3.5×1024 m-3。 展开更多
关键词 条纹相机 真空弧离子源 发射光谱拟合 电子温度 电子密度 时间分辨
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铝合金表面真空电弧离子镀AlTiCrN涂层的耐磨性研究 被引量:1
9
作者 孙紫薇 敬正彪 冉龙姣 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第7期640-646,共7页
铝合金由于轻质、耐蚀等优点,在汽车零部件中的应用逐渐增多,但其质软、耐磨性差,表面需要强化处理。采用真空电弧离子镀方法在铝合金表面分别沉积AlTiCrN和TiN涂层,利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、纳米压痕法、Rockwell压痕法以及... 铝合金由于轻质、耐蚀等优点,在汽车零部件中的应用逐渐增多,但其质软、耐磨性差,表面需要强化处理。采用真空电弧离子镀方法在铝合金表面分别沉积AlTiCrN和TiN涂层,利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、纳米压痕法、Rockwell压痕法以及摩擦磨损试验对涂层的组织结构、力学性能、结合性能和耐磨性能进行分析。结果表明:铝合金表面沉积的AlTiCrN涂层表面平整,“液滴”少。AlTiCrN涂层呈现TiN相的物相结构,且涂层以(200)晶面择优取向。AlTiCrN涂层晶粒细小,硬度为33.7GPa,分别较铝合金基体和TiN涂层提高67倍和66.8%。AlTiCrN涂层与铝合金基体结合牢固,在摩擦磨损过程中AlTiCrN涂层具有防粘作用和降低摩擦系数的作用,涂层后的铝合金其表面耐磨性显著增强。 展开更多
关键词 铝合金 真空电弧离子镀 AlTiCrN涂层 耐磨性
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C含量对电弧离子镀TiAlC_xN_(1-x)(x=0,0.18,0.41,0.49,0.69)薄膜性能的影响 被引量:5
10
作者 杨立军 张泽辉 +1 位作者 李林 张勇 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期1455-1458,共4页
在GCr15轴承钢基体上,利用多弧离子镀技术低温(175℃)沉积TiAlCN涂层。利用SEM、EPMA、XRD、附着力测试仪、纳米压痕仪和UMT-2高温摩擦磨损测试仪研究薄膜性质。结果表明,涂层表面光滑平整、均匀致密且无明显孔洞。涂层表面存在一定... 在GCr15轴承钢基体上,利用多弧离子镀技术低温(175℃)沉积TiAlCN涂层。利用SEM、EPMA、XRD、附着力测试仪、纳米压痕仪和UMT-2高温摩擦磨损测试仪研究薄膜性质。结果表明,涂层表面光滑平整、均匀致密且无明显孔洞。涂层表面存在一定数量的液滴颗粒,薄膜厚度约为2μm。在涂层中,发现了晶体结构为fcc-TiN结构,薄膜的晶粒大小为10-30 nm;随着薄膜中C元素的加入,XRD谱中(Ti0.5,Al0.5)N峰出现了宽化;在TiAlN中引入C,附着力下降,随着涂层中C含量的增加,薄膜中的Al和Ti比例未发生明显变化,附着力略微增加,但硬度和弹性模量先增加后减小,摩擦系数一直减小。 展开更多
关键词 电弧离子镀 TiAlCN 附着力 摩擦系数 硬度
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真空阴极弧离子镀电弧特性及其电源选择 被引量:4
11
作者 李刘合 夏立芳 +3 位作者 孙明仁 马欣新 孙跃 李光 《科技通报》 1997年第3期180-185,共6页
研究了高纯氩气、高纯氩和高纯氢的混合气及高纯氩和乙炔的混合气等气体,对铜、钛及石墨等靶材电弧特性的影响.低熔点、导电性能好的铜及钛靶电弧燃烧时,电弧电压低,电压的波动小,电弧可以在很小的电流下工作;而石墨电弧弧压较高... 研究了高纯氩气、高纯氩和高纯氢的混合气及高纯氩和乙炔的混合气等气体,对铜、钛及石墨等靶材电弧特性的影响.低熔点、导电性能好的铜及钛靶电弧燃烧时,电弧电压低,电压的波动小,电弧可以在很小的电流下工作;而石墨电弧弧压较高,电压的波动很大.石墨电弧在氩气中比它在冷却性强的Ar+H2及Ar+C2H2中稳定得多.当C2H2的含量大于84%时,我们所采用的主电源已经不能维持正常的放电过程.另根据真空阴极弧弧光放电电弧静特性与其工作电源特性曲线的关系,分析了铜靶、钛靶及石墨靶所需电源外特性曲线的形状,针对石墨电弧的不稳定性,从理论上提出了应用范围广泛的真空阴极弧离子镀电源的特性具有较高的空载电压。 展开更多
关键词 真空阴极弧 离子镀 电弧特性曲线 电源
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基材硬度和涂层厚度对AlCrN多元复合纳米硬质涂层硬度的影响 被引量:5
12
作者 姜虎森 柳琪 +3 位作者 王进 王小连 周鹏 孙树峰 《铸造技术》 北大核心 2017年第10期2401-2404,共4页
采用真空阴极多弧离子镀技术制备了Al Cr N多元复合纳米硬质涂层,利用洛氏硬度计、划痕仪、HV显微硬度计、球磨仪、扫描电子显微镜、能谱仪及X射线衍射仪检测并分析了涂层膜基结合力、显微形貌、相结构以及基体硬度、涂层厚度对涂层硬... 采用真空阴极多弧离子镀技术制备了Al Cr N多元复合纳米硬质涂层,利用洛氏硬度计、划痕仪、HV显微硬度计、球磨仪、扫描电子显微镜、能谱仪及X射线衍射仪检测并分析了涂层膜基结合力、显微形貌、相结构以及基体硬度、涂层厚度对涂层硬度的影响。结果表明,涂层以Al Cr N/Cr N结构沉积,随着涂层厚度的增加,膜基结合强度提高。涂层表面成波纹状,有少量大颗粒,涂层内部呈Na Cl结构,含有大量呈柱状形式生长的面心立方的c-Cr N相和c-Al N相,择优取向均为(200)。同等基体硬度时,涂层厚度的增加有利于涂层硬度的提高,最佳涂层厚度为3.5~5.0μm。同等涂层厚度时,涂层硬度随着基体硬度的增加而增加,当涂层厚度低于4.0μm,基材硬度是影响涂层塑性变形抗力的主要因素。 展开更多
关键词 阴极多弧离子镀 膜基结合力 涂层硬度 耐磨性
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沉积气压对电弧离子镀制备ZnO薄膜的结构和性能影响 被引量:5
13
作者 王明东 朱道云 +3 位作者 郑昌喜 何振辉 陈弟虎 闻立时 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1013-1015,共3页
采用阴极真空电弧离子镀技术在玻璃衬底上制备出了具有择优取向的透明ZnO薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜及紫外一可见吸收光谱仪分别对ZnO薄膜的结构、表面形貌及可见光透过率进行了分析。XRD结果表明,所制备的ZnO薄膜具有六... 采用阴极真空电弧离子镀技术在玻璃衬底上制备出了具有择优取向的透明ZnO薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜及紫外一可见吸收光谱仪分别对ZnO薄膜的结构、表面形貌及可见光透过率进行了分析。XRD结果表明,所制备的ZnO薄膜具有六角纤锌矿结构的(002)和(101)两种取向,在沉积气压〉1.0Pa时所制备的ZnO薄膜具有(002)择优取向,并且非常稳定。SEM图表明,ZnO晶粒大小较为均匀,晶粒尺寸随着气压升高而变小。在400~1000nm范围内,ZnO薄膜的可见光透过率超过80%,吸收边在370nm附近,所对应的光学带隙约为3.33~3.40eV,并随着沉积气压上升而变大。 展开更多
关键词 真空电弧离子镀 X射线衍射 ZNO薄膜
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Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜对钛合金疲劳性能的影响 被引量:5
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作者 冯诚诚 林松盛 +4 位作者 匡同春 代明江 胡芳 赵升升 周克崧 《真空》 CAS 2015年第1期22-26,共5页
采用真空阴极电弧沉积技术在TC11钛合金基体上沉积约10μm厚的Ti/Ti N/Zr/Zr N多层膜,通过对比镀膜前后试样的屈服强度、抗拉强度、疲劳强度、疲劳寿命,以及断口形貌,研究沉积Ti/Ti N/Zr/Zr N多层膜对基体疲劳性能的影响,探讨疲劳断裂... 采用真空阴极电弧沉积技术在TC11钛合金基体上沉积约10μm厚的Ti/Ti N/Zr/Zr N多层膜,通过对比镀膜前后试样的屈服强度、抗拉强度、疲劳强度、疲劳寿命,以及断口形貌,研究沉积Ti/Ti N/Zr/Zr N多层膜对基体疲劳性能的影响,探讨疲劳断裂机理。结果表明:多层膜对TC11钛合金基体材料的屈服强度和抗拉强度影响不大,但由于膜层硬而脆而降低了基体材料的收缩率和延伸率;多层膜提高基体材料的疲劳极限;低应力下,裂纹源在多层膜表面萌生,并向内部扩展,在多层结构的膜层界面处受到阻碍,发生偏转,从而提高基体疲劳寿命;高应力下,膜层容易破裂,裂纹源增多,降低基体疲劳寿命;应力水平在520 MPa到650 MPa范围内,疲劳寿命增量从+40.82%降到-36.88%。 展开更多
关键词 真空阴极电弧沉积 Ti/TiN/Zr/ZrN 多层膜 疲劳性能
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基于柱状电弧靶的高沉积率真空多弧离子镀装备设计
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作者 董小虹 卢泽坚 +1 位作者 常玉敏 万庆海 《机电工程技术》 2023年第11期266-268,308,共4页
涡轮涡扇发动机叶片、汽轮机叶片、压铸模具、轴承等零件的耐磨和耐热性能都需要50~100μm的耐热和耐磨涂层,而目前国内真空电弧离子镀设备的沉积效率一般在4~8μm/h,无法满足一次50μm以上的涂层要求。介绍一种特殊设计的柱状电弧靶,... 涡轮涡扇发动机叶片、汽轮机叶片、压铸模具、轴承等零件的耐磨和耐热性能都需要50~100μm的耐热和耐磨涂层,而目前国内真空电弧离子镀设备的沉积效率一般在4~8μm/h,无法满足一次50μm以上的涂层要求。介绍一种特殊设计的柱状电弧靶,两端连接到高电压大电流的弧电源上,通过PLC控制系统反复进行正负极输入切换改变作用在柱状阴极靶靶面的电磁场方向,使处于靶面的弧斑沿着柱状靶面作向上或向下螺旋运动,从而形成弧斑在柱状阴极靶的靶面作上下反复螺旋运动,使阴极靶面上的材料高速离化,并通过工件与炉壳之间的偏压将靶材形成的等离子体引向工件表面,形成工件表面快速循环沉积结构,使工件表面最终快速的获得厚涂层,同时极大提高了靶材利用率,从而节约成本。该装置可在复杂的零件表面快速一次性沉积形成高效率(15~20μm/h)、低成本、高性能的较厚涂层,涂层厚度可达50~100μm。该厚涂层性能能够满足飞机发动机叶片、汽轮机叶片、压铸模具、轴承等零件的耐磨和耐热性能要求。 展开更多
关键词 柱状电弧靶 高沉积率 真空多弧离子镀装备
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表面处理对TC16钛合金和18Ni钢电偶对的腐蚀防护 被引量:3
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作者 邓建青 刘道新 +1 位作者 唐长斌 张卿 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期69-71,85,共3页
为了有效控制航空工业中TC16钛合金与18Ni钢的电偶腐蚀,分别采用真空电弧离子镀TiN层和微弧氧化技术对TC16钛合金进行表面处理,并对18Ni钢化学氧化,分析了不同表面处理的电偶对的腐蚀等级、阻抗特征及腐蚀形态。结果表明:TC16钛合金与1... 为了有效控制航空工业中TC16钛合金与18Ni钢的电偶腐蚀,分别采用真空电弧离子镀TiN层和微弧氧化技术对TC16钛合金进行表面处理,并对18Ni钢化学氧化,分析了不同表面处理的电偶对的腐蚀等级、阻抗特征及腐蚀形态。结果表明:TC16钛合金与18Ni钢之间存在显著的电偶腐蚀,仅对18Ni钢化学氧化不能解决其与TC16钛合金的电偶腐蚀问题;在TC16钛合金表面镀TiN层,同时对18Ni钢化学氧化,可在一定程度上控制电偶腐蚀;而对TC16钛合金表面微弧氧化,同时对18Ni钢化学氧化,则能完全有效地控制两者间的电偶腐蚀。 展开更多
关键词 电偶腐蚀 TC16钛合金 18Ni钢 真空电弧离子镀 微弧氧化 化学氧化
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Influence of a TiAlN Coating on the Mechanical Properties of a Heat Resistant Steel at Room Temperature and 650℃ 被引量:2
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作者 张程煜 CAO Huawei +2 位作者 HAN Dong QIAO Shengru 郭永 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2013年第5期1029-1033,共5页
A TiA1N coating was deposited on a heat resistant steel X12CrMoWVNbN10-1-1 by vacuum arc ion plating. The tensile and fatigue properties of the coated steel were investigated at room temperature (RT) and 650 ℃. The... A TiA1N coating was deposited on a heat resistant steel X12CrMoWVNbN10-1-1 by vacuum arc ion plating. The tensile and fatigue properties of the coated steel were investigated at room temperature (RT) and 650 ℃. The results reveal that the TiA1N coating is compact, on which a small number of large particle and pits are present. The Ti/Al atomic ratio in the coating is about 0.94. The average hardness of the coating is 1 868 HV0.1 and the interface bonding force between TiAIN coating and the substrate is about 3 l N. The elastic modulus and the strength of the steel are improved by the deposition of TiAIN coating. The influence of the TiA1N coating on the tensile properties of the steel can be ignored at both RT and 650 ℃. Moreover, there is no obvious decrease of the fatigue limit of substrate when the steel is coated by the coating at the investigated temperature. 展开更多
关键词 TiA1N coating TENSILE FATIGUE vacuum arc ion plating
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胡椒孔法在强流脉冲离子束中的发射度测量 被引量:4
18
作者 柯建林 周长庚 邱瑞 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期2067-2070,共4页
真空弧离子源的引出束流具有低能、强流等特点,当离子源工作在单脉冲模式时,被广泛采用的缝-杯式和Alison式发射度测量方法不再适用。采用基于成像板的胡椒孔法测量了真空弧离子源的发射度。初步研制了胡椒孔法发射度测量装置,利用该装... 真空弧离子源的引出束流具有低能、强流等特点,当离子源工作在单脉冲模式时,被广泛采用的缝-杯式和Alison式发射度测量方法不再适用。采用基于成像板的胡椒孔法测量了真空弧离子源的发射度。初步研制了胡椒孔法发射度测量装置,利用该装置测量了引出电压为64 kV时脉冲束流的发射度和发射相图。在x方向和y方向,测得归一化均方根发射度分别为6.41,4.61π.mm.mrad。测量结果表明该真空弧离子源在64 kV时的归一化发射度远大于其他类型的离子源的发射度。 展开更多
关键词 发射度测量 真空弧离子源 胡椒孔 单脉冲束
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基体负偏压对CrAlN涂层组织和性能的影响 被引量:4
19
作者 常伟 牟仁德 +3 位作者 商晓宇 何利民 陆峰 汤智慧 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第7期32-37,共6页
采用真空多弧离子镀技术,使用Cr30Al70(原子分数)复合靶,在不同的基体负偏压下,在不锈钢基体上制备了一系列CrAlN涂层;采用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电子显微镜、粗糙度仪、显微硬度仪、摩擦磨损试验机和划痕仪等系统分析了涂层的成分... 采用真空多弧离子镀技术,使用Cr30Al70(原子分数)复合靶,在不同的基体负偏压下,在不锈钢基体上制备了一系列CrAlN涂层;采用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电子显微镜、粗糙度仪、显微硬度仪、摩擦磨损试验机和划痕仪等系统分析了涂层的成分、表面形貌、相结构、粗糙度、显微硬度、摩擦磨损性能和界面结合性能。结果表明:随着负偏压的增大,涂层中x(Cr)/x(Cr+Al)的比值先增大后减小,当负偏压为150V时,该值达到最大,并与靶材成分接近;基体负偏压为200V时,涂层的表面粗糙度最大,涂层结晶度、硬度最佳,晶体相为固溶铬的面心立方AlN;涂层的摩擦磨损性能不仅与涂层的表面粗糙度相关,还与涂层非晶相中铝元素的含量以及涂层的内应力大小密切相关;界面过渡层制备工艺相同时,基体偏压对涂层和基体之间的界面结合性能影响较小。 展开更多
关键词 真空多弧离子镀 复合靶 CrAlN涂层 显微组织
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TiC薄膜的性能研究 被引量:4
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作者 邵霄 朱昌 梁海峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期56-59,共4页
采用磁过滤直流电弧离子镀法在不同的CH4分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和EDX表征了薄膜的相组成和微结构,用MCMS-1摩擦磨损测试仪,研究了不同CH4分压对薄膜摩擦性能的影响,采用DURAMIN-10型丹麦全自动显微硬度仪,研究不同CH4分... 采用磁过滤直流电弧离子镀法在不同的CH4分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和EDX表征了薄膜的相组成和微结构,用MCMS-1摩擦磨损测试仪,研究了不同CH4分压对薄膜摩擦性能的影响,采用DURAMIN-10型丹麦全自动显微硬度仪,研究不同CH4分压对薄膜硬度的影响。结果表明,不同CH4分压对薄膜的相组成、微结构和力学性能均有明显的影响,高的CH4分压下,薄膜的摩擦系数较低,CH4分压提高到0.15Pa左右,薄膜内形成晶粒细小的单相TiC,进一步提高CH4分压,薄膜呈现非晶态。 展开更多
关键词 TiC薄膜 脉冲真空电弧离子镀 微结构 力学性能
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