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Scaling Behavior and Magnetic Properties for Sm_x Co_5 Films 被引量:5
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作者 李加新 王锋 +4 位作者 赖恒 郑卫峰 贾翠红 盖荣权 黄志高 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第z2期266-269,共4页
SmxCo5(x = 1.3, 0.7, 0.4) thin films were prepared by magnetron co-sputtering technique. The samples were annealed at 723 K under Ar atmosphere. The annealed time was chosen as 30 min. The hysteresis loops of the samp... SmxCo5(x = 1.3, 0.7, 0.4) thin films were prepared by magnetron co-sputtering technique. The samples were annealed at 723 K under Ar atmosphere. The annealed time was chosen as 30 min. The hysteresis loops of the samples were measured under the ac applied magnetic field with the period Tp(2πω) , H(t) = H0sin(ωt), by vibrating sample magnetometer (VSM). The experimental results indicate that, (1) the average hysteresis loop areas as functions of the values of H0 andωdisplay a power scaling law with the exponents, A = A0 + H0αωβ; (2) the x composition of SmxCo5 film has evident effect on the scaling behavior and magnetic properties; (3) the anisotropy scaling exponents exist clearly in the anisotropy SmxCo5 thin films. Moreover, the scaling behavior of the anisotropy magnetic film was also simulated with Monte Carlo method. The simulated results are consistent with the experimental fact. 展开更多
关键词 smco films HYSTERESIS SCALING rare earths
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Crystal structure,microstructure and magnetic properties of SmCo-based films treated by different annealing methods 被引量:4
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作者 PENG Long LI Yuanxun 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第1期34-37,共4页
Effect of conventional thermal annealing(CTA) and rapid recurrent thermal annealing(RRTA) processes on crystal structure,mi-crostructure,and magnetic properties of the SmCo-based films were investigated.The result... Effect of conventional thermal annealing(CTA) and rapid recurrent thermal annealing(RRTA) processes on crystal structure,mi-crostructure,and magnetic properties of the SmCo-based films were investigated.The results indicated that the CTA-treated films exhibited poor permanent magnetic properties,and a low intrinsic coercivity of 72.8 kA/m was observed.Wide hysteresis loop was obtained for the RRTA-treated films,providing better permanent magnetic properties.The intrinsic coercivity reached 312.0 kA/m.According to the X-ray diffraction(XRD) and atomic force microscopy(AFM) results,the magnetic properties of the CTA-treated films and RRTA-treated films were found to be correlated with the crystal structure and microstructure,which were strongly determined by the annealing treatment.CTA treatment led to poor crystallization effects for the films,and a rough surface(RMS=3.47 nm and P-V=35.42 nm) and large grain size of 92.7 nm were observed correspondingly.However,the RRTA treatment exhibited great contributions on the crystallization of the films,which is accountable for the smooth surface(RMS=2.047 nm and P-V=16.43 nm) and fine grain size of 60.8 nm. 展开更多
关键词 smco films CRYSTALLIZATION COERCIVITY rare earths
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退火温度对SmCo永磁薄膜微结构及磁性能的影响(英文) 被引量:2
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作者 陈志川 张万里 +2 位作者 蒋洪川 彭斌 唐军 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1472-1475,共4页
采用直流磁控溅射法制备SmCo薄膜,研究了退火温度对薄膜微结构及磁性能的影响。XRD分析结果表明,当退火温度为600℃时,SmCo5相析出,而Sm2Co17相在700℃析出。SEM照片可看出,退火温度高于900℃时,六方柱状的SmCo5相和菱方状的Sm2Co17相... 采用直流磁控溅射法制备SmCo薄膜,研究了退火温度对薄膜微结构及磁性能的影响。XRD分析结果表明,当退火温度为600℃时,SmCo5相析出,而Sm2Co17相在700℃析出。SEM照片可看出,退火温度高于900℃时,六方柱状的SmCo5相和菱方状的Sm2Co17相全部析出。随着退火温度的升高,晶粒尺寸增大,当温度达940℃时,晶粒尺寸减小,而在980℃时,晶粒尺寸又将增大。VSM测试表明,与制备态的薄膜相比,退火后的薄膜在垂直于膜面方向的矫顽力、剩余磁化强度及最大磁能积都增大。960℃时得到矫顽力和剩余磁化强度的最大值,800℃时得到最大磁能积的最大值。 展开更多
关键词 smco薄膜 退火 微结构 磁性能
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Magnetic properties of SmCo-based permanent magnetic films during 25 to 300 ℃ 被引量:1
4
《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第10期988-991,共4页
Magnetic properties of the SmCo-based permanent magnetic films prepared on hot substrate with Mo and Cr underlayer without subsequent annealing process were investigated by vibrating sample magnetometer (VSM), X-ray... Magnetic properties of the SmCo-based permanent magnetic films prepared on hot substrate with Mo and Cr underlayer without subsequent annealing process were investigated by vibrating sample magnetometer (VSM), X-ray diffraction (XRD), and en- ergy dispersive X-ray spectroscopy (EDS). The results showed that the film thickness of the SmCo-based films presented complex effect on the intrinsic coercivity Hci. Optimal Hc~ for the films with Mo underlayer, Cr underlayer, and without underlayer was ob- served with different film thicknesses. Furthermore, the monotonous temperature dependence of Hci was found to be strongly corre- lated with the magnetic parameters for the 3.0 μm thick SmCo7 films with Mo underlayer. From 25 to 300 ℃, the Hci decreased from 281.6 to 211.2 kA/m with a temperature coefficient of-0.091%/℃, exhibiting good temperature stability. 展开更多
关键词 rare earth permanent magnets smco films magnetic anisotropy constant COERCIVITY
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SmCo7永磁薄膜的高温磁性能(英文) 被引量:1
5
作者 彭龙 涂小强 +1 位作者 李乐中 王瑞 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期2335-2338,共4页
研究了以Mo为衬底在Si(100)基片上沉积SmCo7永磁薄膜的高温磁学性能。结果表明,高温老化处理对薄膜的晶体结构和磁性能没有显著影响。根据趋近饱和定律和薄膜的高温磁化曲线,获得了磁晶各向异性常数K1随温度的变化关系。该关系说明随着... 研究了以Mo为衬底在Si(100)基片上沉积SmCo7永磁薄膜的高温磁学性能。结果表明,高温老化处理对薄膜的晶体结构和磁性能没有显著影响。根据趋近饱和定律和薄膜的高温磁化曲线,获得了磁晶各向异性常数K1随温度的变化关系。该关系说明随着温度的增加,SmCo晶粒的取向在一定程度上受到了破坏。此外,薄膜磁性能随温度的变化关系适当,可以满足在微电子机械系统(MEMS)中的应用。 展开更多
关键词 稀土永磁 smco薄膜 高温应用 MEMS
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SmCo_7永磁薄膜的高温磁学行为研究
6
作者 彭龙 涂小强 +2 位作者 李乐中 王瑞 李元勋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期163-166,共4页
以Mo薄膜为衬底层,采用磁控溅射工艺在热单晶Si(100)基片上制备了3μm厚的SmCo7永磁薄膜,研究了薄膜在25—300℃范围内的高温磁学行为。基于趋近饱和定律,建立了薄膜磁晶各向异性常数K1的计算方法,结合薄膜的高温磁化曲线,获得... 以Mo薄膜为衬底层,采用磁控溅射工艺在热单晶Si(100)基片上制备了3μm厚的SmCo7永磁薄膜,研究了薄膜在25—300℃范围内的高温磁学行为。基于趋近饱和定律,建立了薄膜磁晶各向异性常数K1的计算方法,结合薄膜的高温磁化曲线,获得了蜀随温度的变化关系。高温磁滞回线测试结果表明,薄膜的剩磁比Mr/Ms随着温度的增加逐渐降低,说明SmCo晶粒的面内取向受到了破坏。此外,薄膜的磁性能具有适当的温度依赖关系,并且温度稳定性良好,有利于实现器件应用。 展开更多
关键词 稀土永磁 smco薄膜 高温 磁学行为
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650℃热基片上制备SmCo基永磁薄膜的内禀矫顽力研究(英文)
7
作者 李元勋 彭龙 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期796-799,共4页
以Al、Cu、Ag、Mo、Cr为衬底层,在650℃热硅基片上制备了未经后退火工艺处理的Sm Co基永磁薄膜,研究了薄膜内禀矫顽力的变化规律。结果表明,采用Mo和Cr作为衬底层可以提高薄膜的内禀矫顽力。Sm Co基永磁薄膜的厚度对内禀矫顽力的影响复... 以Al、Cu、Ag、Mo、Cr为衬底层,在650℃热硅基片上制备了未经后退火工艺处理的Sm Co基永磁薄膜,研究了薄膜内禀矫顽力的变化规律。结果表明,采用Mo和Cr作为衬底层可以提高薄膜的内禀矫顽力。Sm Co基永磁薄膜的厚度对内禀矫顽力的影响复杂,当薄膜厚度为3.0μm时,可以获得室温内禀矫顽力的最大值为281.6 k A·m-1。内禀矫顽力的温度依赖关系主要取决于薄膜的相关磁学参数,在25-300℃范围内,内禀矫顽力高于200 k A·m-1。 展开更多
关键词 稀土永磁 smco薄膜 矫顽力 衬底层
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退火温度对SmCo非晶薄膜显微结构和磁性能的影响 被引量:3
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作者 祝要民 宋晓平 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2004年第11期17-20,共4页
用直流磁控溅射方法制备了非晶态的SmCo磁性薄膜 ,并通过不同的退火处理使其具有不同晶粒大小的晶化组织和磁性能。用透射电镜 (TEM)及电子衍射分析薄膜在不同状态下的微观组织形貌和相结构 ,用振动样品磁强计 (VSM)分析薄膜的磁性能变... 用直流磁控溅射方法制备了非晶态的SmCo磁性薄膜 ,并通过不同的退火处理使其具有不同晶粒大小的晶化组织和磁性能。用透射电镜 (TEM)及电子衍射分析薄膜在不同状态下的微观组织形貌和相结构 ,用振动样品磁强计 (VSM)分析薄膜的磁性能变化规律。结果表明 ,溅射态薄膜为非晶 ,在 4 0 0℃退火薄膜已晶化 ,在 4 5 0℃退火时晶粒均匀细小且磁性能优良 ;5 0 0℃以上退火时出现不均匀粗大晶粒 ,对应的磁性能降低。 展开更多
关键词 smco薄膜 退火处理 微观形貌及结构 磁性能
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SmCo/Cr薄膜中Cr底层最佳溅射条件的正交设计研究 被引量:1
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作者 许小红 段静芳 +3 位作者 王芳 武海顺 李震 李佐宜 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1033-1036,共4页
在SmCo/Cr薄膜中,Cr底层的取向结构对薄膜的磁学性能有很大的影响。设计了4因素3水平的正交实验L9(34),并通过数理统计的方法分析了Cr底层的溅射参数对SmCo/Cr薄膜矫顽力的影响。用较少的实验得到Cr底层的最佳实验条件:靶基距为4cm,功率... 在SmCo/Cr薄膜中,Cr底层的取向结构对薄膜的磁学性能有很大的影响。设计了4因素3水平的正交实验L9(34),并通过数理统计的方法分析了Cr底层的溅射参数对SmCo/Cr薄膜矫顽力的影响。用较少的实验得到Cr底层的最佳实验条件:靶基距为4cm,功率为50W,溅射气压为0.5Pa,溅射时间为9min。并发现了靶基距、功率和溅射气压对薄膜矫顽力的影响较大,其中靶基距是薄膜矫顽力最主要的控制因素。而溅射时间在所取的水平上对薄膜矫顽力的影响最小。本实验设计可达到95%的置信度。 展开更多
关键词 smco/Cr薄膜 矫顽力 Cr底层 溅射参数
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不同基体SmCo颗粒膜的组织和磁性
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作者 祝要民 宋晓平 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期90-93,共4页
用磁控溅射方法制备了Cu,Mo和Al基体的SmCo颗粒薄膜.用能谱EDAX,透射电镜TEM和振动样品磁强计VSM分别表征和测量了薄膜的结构和磁性能.结果表明,Cu基体溅射态已晶化而Mo和Al溅射态为非晶态,在500℃回火30 min后磁性相的析出特性有一定差... 用磁控溅射方法制备了Cu,Mo和Al基体的SmCo颗粒薄膜.用能谱EDAX,透射电镜TEM和振动样品磁强计VSM分别表征和测量了薄膜的结构和磁性能.结果表明,Cu基体溅射态已晶化而Mo和Al溅射态为非晶态,在500℃回火30 min后磁性相的析出特性有一定差异.对溅射的SmCo薄膜在500℃回火30 min后,Cu基体的SmCo薄膜磁性能较好,并有一定的磁各向异性,其原因是Cu在SmCo晶界的聚集对晶粒有钉扎作用. 展开更多
关键词 金属材料 smco颗粒薄膜 磁性能
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