Mirau相移干涉法测量微透镜阵列面形 被引量：8

1

作者 焦国华 李育林 胡宝文 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1924-1927,共4页

基于Mirau相移干涉法,在实验室环境下对微透镜阵列的微表面形貌进行了轮廓测量.实验使用He-Ne激光器作为光源,干涉成像系统由Mirau干涉物镜和其他光学元件组成.在实验中使用压电陶瓷执行器作为相移器,通过5步相移法计算待测表面形貌.实... 基于Mirau相移干涉法,在实验室环境下对微透镜阵列的微表面形貌进行了轮廓测量.实验使用He-Ne激光器作为光源,干涉成像系统由Mirau干涉物镜和其他光学元件组成.在实验中使用压电陶瓷执行器作为相移器,通过5步相移法计算待测表面形貌.实验结果表明,基于Mirau相移干涉法对微透镜阵列面形的测量,水平分辨率达到1.1μm,垂直测量准确度达到6.33nm,垂直测量范围为5μm.对于微透镜阵列的面形测量,通过将微透镜阵列划分为若干微小区域以保证局部面形最大高度小于5μm,然后辅以精密平移机构进行若干次5步相移法测量局部面形,再利用相位重建所得的数据进行拼接和3D轮廓重建,最终得到整个微透镜阵列的精确微表面形貌. 展开更多

关键词 Mirau干涉 相移干涉法 面形测量 5步相移法 压电陶瓷 微透镜阵列

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干涉仪环境振动的外差检测与自适应控制 被引量：8

2

作者 吴栋 朱日宏 +2 位作者 陈磊 何勇 姬会东 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1493-1496,共4页

测试环境的微振动干扰会引起干涉图的抖动,影响移相干涉仪的测量准确.设计了一种内嵌于移相干涉仪的外差测振光路,对干涉仪所受环境微振动进行实时检测;采用单片RF/IF集成芯片对两路40MHz的模拟外差信号直接进行比相,简化了通常使用的... 测试环境的微振动干扰会引起干涉图的抖动,影响移相干涉仪的测量准确.设计了一种内嵌于移相干涉仪的外差测振光路,对干涉仪所受环境微振动进行实时检测;采用单片RF/IF集成芯片对两路40MHz的模拟外差信号直接进行比相,简化了通常使用的数字测相方法.在测得环境振动信息后,运用DSP技术和自适应信号处理的方法,实现了基于PZT移相器的自适应振动控制,实验结果表明干涉仪对幅频积不大于100waves·Hz的环境振动的抑制能力达-39dB. 展开更多

关键词 移相干涉仪 环境振动 外差测振 相位检测 自适应振动控制

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干涉仪自适应抗振的空间移相术 被引量：7

3

作者 吴栋 陈磊 +2 位作者 陈进榜 朱日宏 高志山 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第8期969-972,共4页

根据时域移相算法的概念 ,提出了一种空间移相术 ,它能够检测因外界振动导致条纹抖动而引起的干涉图样的空间相位变化 .运用这种技术在Twyman Green移相式干涉仪中建立了一套自适应抗振系统 ,它可以实时测量振动引起的相位变化大小 ,并... 根据时域移相算法的概念 ,提出了一种空间移相术 ,它能够检测因外界振动导致条纹抖动而引起的干涉图样的空间相位变化 .运用这种技术在Twyman Green移相式干涉仪中建立了一套自适应抗振系统 ,它可以实时测量振动引起的相位变化大小 ,并通过反馈器件PZT实时校正干涉条纹的相位 ,使得干涉条纹稳定以保证光学测量的正常进行 ,与此同时PZT还作为移相器件 . 展开更多

关键词 空间移相术 自适应抗振 移相式干涉仪

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一种新的相移点衍射干涉仪系统误差标定方法 被引量：8

4

作者 刘克 李艳秋 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2923-2927,共5页

相移点衍射干涉仪利用测试波和参考波的横向错位产生载波干涉条纹,因此测量结果中必然引入一定的系统误差。在分析相移点衍射干涉仪主要系统误差源的基础上,提出了一种新的系统误差标定方法,即旋转光栅法。该方法根据光栅在正交方向上... 相移点衍射干涉仪利用测试波和参考波的横向错位产生载波干涉条纹,因此测量结果中必然引入一定的系统误差。在分析相移点衍射干涉仪主要系统误差源的基础上,提出了一种新的系统误差标定方法,即旋转光栅法。该方法根据光栅在正交方向上的两次测量结果,利用泽尼克多项式在单位圆域的正交特性和奇偶对称性质即可标定干涉仪的系统误差。可见光波段的标定实验结果表明,系统的几何彗差为-0.116λ,与理论计算结果-0.133λ基本一致,证明了该方法的有效性。 展开更多

关键词 光学测量 光刻 移相干涉术 点衍射干涉仪 系统误差标定

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检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪 被引量：6

5

作者 张红霞 张以谟 +2 位作者 井文才 周革 李岩 《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期377-380,共4页

基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成.... 基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成.轮廓仪的放大率为-10,数值孔径为0.3,工作距5mm,视场0.64×0.48mm2,中心遮拦0.129.相移器为电容式闭环控制的压电陶瓷传感器.通过6幅光纤连接器端面的干涉图,经6步相移法得到其表面形貌.实验结果表明,Mirau干涉轮廓仪的横向分辨率为0.875μm,垂直方向的测量范围为5.3μm,重复测量精度为1.7nm. 展开更多

关键词 Mirau干涉 相移干涉轮廓仪 Mirau干涉物镜 光纤连接器 压电陶瓷传感器

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抗振型移相干涉测量术的进展 被引量：5

6

作者 吴栋 朱日宏 +3 位作者 陈磊 王青 何勇 高志山 《光学仪器》 2004年第5期59-64,共6页

移相干涉术易受环境振动的干扰,影响高精度的测量目的。为了进行振动环境下在线光干涉测试,必须采用有效的抗振技术。从移相算法、干涉图采集、光学结构、振动探测与补偿等方面介绍了移相干涉仪抗振技术的研究进展。目前具有抗振功能的... 移相干涉术易受环境振动的干扰,影响高精度的测量目的。为了进行振动环境下在线光干涉测试,必须采用有效的抗振技术。从移相算法、干涉图采集、光学结构、振动探测与补偿等方面介绍了移相干涉仪抗振技术的研究进展。目前具有抗振功能的移相干涉测试技术日益受到重视。 展开更多

关键词 移相干涉术 抗振 干扰 干涉测量 干涉图 测试技术 干涉仪 动环 振动 高精度

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平面度计量——点线面之间的量值传递与控制 被引量：6

7

作者 王青 顾洋 《计量学报》 CSCD 北大核心 2019年第2期189-195,共7页

研究了平面度计量中的线和面两种传递路径。针对通过等厚干涉仪的面传递中不能维持平面度指标的原始定义,必须采用光圈(N、ΔN)等指标来描述的问题,在讨论测量点的绝对检验方法的基础上,提出了解决直线和面域上不同的平面度指标体系的... 研究了平面度计量中的线和面两种传递路径。针对通过等厚干涉仪的面传递中不能维持平面度指标的原始定义,必须采用光圈(N、ΔN)等指标来描述的问题,在讨论测量点的绝对检验方法的基础上,提出了解决直线和面域上不同的平面度指标体系的统一的方法。分析了《JJG 28—2000平晶》中以点控线和以线控面过程中的假设和附加要求对于传递精度的影响问题,提出了基于相移干涉仪高分辨率和快速测量的优势,采用圆平晶以最大变化正交截面替代国标中随机的"任意"正交截面的方法,从而保证对平晶平面度计量的严谨性要求。 展开更多

关键词 计量学 平面度 量值传递 相移干涉仪 特征截面

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相移点衍射干涉仪的高精度对准 被引量：6

8

作者 刘克 李艳秋 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1845-1849,共5页

相移点衍射干涉仪(PS/PDI)的绝对测量精度和重复精度都直接受干涉仪装调误差的影响,因此采用具有高灵敏度的计算机辅助装调技术进行干涉仪的高精度对准是必要的。在PS/PDI空间频域特性分析的基础上,开发了一套高灵敏度的计算机辅助装调... 相移点衍射干涉仪(PS/PDI)的绝对测量精度和重复精度都直接受干涉仪装调误差的影响,因此采用具有高灵敏度的计算机辅助装调技术进行干涉仪的高精度对准是必要的。在PS/PDI空间频域特性分析的基础上,开发了一套高灵敏度的计算机辅助装调方法来实现干涉仪的对准。在粗装调阶段,对光电传感器采集的光场分布进行离散傅里叶变换,利用频谱图中的信息调整PS/PDI;在精密装调阶段,采用干涉条纹的频域对比度作为评价函数,以得到对比度的最大值为目标微调干涉仪。装调实验结果表明,对于可见光波段PS/PDI中直径为1.5μm的针孔,可以达到优于0.1μm的重复对准精度。 展开更多

关键词 光学测量 光刻 移相干涉术 点衍射干涉仪 计算机辅助装调

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移相干涉仪环境微扰的外差检测及信号处理 被引量：4

9

作者 吴栋 朱日宏 +1 位作者 陈磊 姬会东 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期53-56,共4页

对环境微振动干扰进行补偿可减小移相干涉测量的误差,其中振动量的检测是实现振动补偿的前提。以声光调制器作为光学移频器,在移相式平面干涉仪中组合成外差干涉测振系统,可以实现光程差微小变化(范围为0到1/2波长)的实时检测。在外差... 对环境微振动干扰进行补偿可减小移相干涉测量的误差,其中振动量的检测是实现振动补偿的前提。以声光调制器作为光学移频器,在移相式平面干涉仪中组合成外差干涉测振系统,可以实现光程差微小变化(范围为0到1/2波长)的实时检测。在外差信号处理中采用单片RF/IF相位测量芯片直接对两路40MHz模拟信号进行比相,简化了通常使用的数字测相方法,其精确测相的典型非线性值小于1度。用该系统实际测量了周期性振动和地面冲击振动对干涉仪的影响,获得了干涉仪所受微振动的幅度和相位。 展开更多

关键词 移相干涉仪 外差振动测量 相位测量 微振 信号处理

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移相干涉仪的主动抗振技术:光强-相位法振动探测与补偿 被引量：3

10

作者 吴栋 朱日宏 +2 位作者 陈磊 何勇 吴子明 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期65-66,共2页

光学干涉测量易受环境振动的影响 ,本文提出了一种机电反馈式主动抗振方案 :光强 -相位法振动探测与补偿技术。在这个方案中 ,光电探测器测量干涉场中任意一点的光强因振动产生波动的情况 ,据此得到波前相位的变化量 ,经PZT光学移相器... 光学干涉测量易受环境振动的影响 ,本文提出了一种机电反馈式主动抗振方案 :光强 -相位法振动探测与补偿技术。在这个方案中 ,光电探测器测量干涉场中任意一点的光强因振动产生波动的情况 ,据此得到波前相位的变化量 ,经PZT光学移相器对波前相位采取象限区分反馈法进行实时校正。实验结果表明 ,这种方案可以对频率小于 5 0Hz、幅度小于 1/2光波波长的低频环境振动进行有效补偿 ,得到了稳定的条纹干涉图 。 展开更多

关键词 移相干涉仪 主动抗振 光强 波前相位

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等倾与相移两种干涉仪的平面度绝对测量比对 被引量：4

11

作者 王青 顾洋 《计测技术》 2018年第2期30-33,共4页

采用三平面互检测量方法,分别在等倾干涉仪和相移干涉仪上对平晶平面度进行了绝对测量比对。针对两种干涉仪不同的测量原理,提出了一种规范方法以从相移干涉仪数十万点阵测量数据中,提取符合等倾干涉仪测量数据格式的结果;对比等倾干涉... 采用三平面互检测量方法,分别在等倾干涉仪和相移干涉仪上对平晶平面度进行了绝对测量比对。针对两种干涉仪不同的测量原理,提出了一种规范方法以从相移干涉仪数十万点阵测量数据中,提取符合等倾干涉仪测量数据格式的结果;对比等倾干涉仪的结构与环境控制方法,研究了相移干涉仪进行平面度绝对检验过程中的温度、温度梯度、温度分层情况,采取双重保温措施下达到了0.002μm的测量重复性,和0.01μm的绝对检验测量不确定度。与等倾干涉仪的检定结果的差异小于0.01μm,证明了相移干涉仪用于平晶的平面度检定工作可行性。 展开更多

关键词 平面度 相移干涉仪 等倾干涉仪 三平面互检

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基于迟滞非线性补偿系统的光学元件形貌检测 被引量：3

12

作者 王芳 卢庆杰 +2 位作者 庄锦程 王全召 韩森 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期122-131,共10页

为了减少相移干涉仪中压电陶瓷致动器进行相移时,其迟滞非线性对相移算法中的相位计算带来的误差,设计了一套压电陶瓷致动器的控制系统.利用高精度电阻应变传感器和基于锁相放大原理的信号调理电路检测压电陶瓷致动器位移,建立多项式数... 为了减少相移干涉仪中压电陶瓷致动器进行相移时,其迟滞非线性对相移算法中的相位计算带来的误差,设计了一套压电陶瓷致动器的控制系统.利用高精度电阻应变传感器和基于锁相放大原理的信号调理电路检测压电陶瓷致动器位移,建立多项式数学模型描述迟滞非线性,然后提出了一种前馈开环控制方法补偿其迟滞非线性.最后,基于所提出的方案对压电陶瓷致动器进行了期望轨迹的跟踪控制实验,同时将补偿控制系统与干涉仪相结合检测光学元件表面形貌.实验结果表明:补偿后,压电陶瓷致动器的跟踪误差在-0.156μm与+0.078μm之间,迟滞非线性度由10.4%降到2.4%,且干涉仪所测得的光学元件表面面形起伏高度均方根和峰谷分别改变了0.795nm和3.937nm.该系统对于高精度的光学元件形貌检测具有重要的意义. 展开更多

关键词 相移干涉仪 相位 压电陶瓷致动器 迟滞非线性 形貌检测

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移相器类进动现象对干涉测量的影响 被引量：1

13

作者 吴栋 朱日宏 +3 位作者 陈磊 王青 何勇 高志山 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期861-864,共4页

压电晶体 (PZT)光学移相器作为移相干涉仪 (PSI)的关键部件 ,其移相误差直接影响被测波面的相位复原精度。分析了压电晶体移相器在移相过程中导致干涉图旋转的原因———类进动 ,其本质是移相器在伸长的同时其参考镜端面法线方向绕着伸... 压电晶体 (PZT)光学移相器作为移相干涉仪 (PSI)的关键部件 ,其移相误差直接影响被测波面的相位复原精度。分析了压电晶体移相器在移相过程中导致干涉图旋转的原因———类进动 ,其本质是移相器在伸长的同时其参考镜端面法线方向绕着伸长方向产生旋转。利用典型的Hariharan五步移相算法 ,得出了类进动现象所导致的波面相位复原误差计算公式 ,给出了在测试孔径上的误差分布图。对影响误差大小的主要因素如干涉条纹的宽度、旋转的角度和测试口径等进行了具体分析 ,由此推导出在移相干涉仪光学调整过程中控制干涉图旋转误差的准则。 展开更多

关键词 光学技术与仪器 干涉测量 移相干涉仪 移相器 类进动 误差

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移相干涉仪的抗振技术研究进展 被引量：3

14

作者 何祖斌 许乔 +1 位作者 柴立群 邓燕 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期416-419,共4页

在对光学元件面形进行检测和光学系统成像质量的评价中,移相干涉测量技术有着广泛地应用。但是,光学干涉仪的测量精度对环境的要求非常苛刻,环境的振动和空气的扰动会对测量结果产生很大影响。提高移相干涉仪的抗振性很有必要,受到广泛... 在对光学元件面形进行检测和光学系统成像质量的评价中,移相干涉测量技术有着广泛地应用。但是,光学干涉仪的测量精度对环境的要求非常苛刻,环境的振动和空气的扰动会对测量结果产生很大影响。提高移相干涉仪的抗振性很有必要,受到广泛重视。国际上移相干涉仪的抗振技术主要包括主动抗振和被动抗振两方面,两种技术具有各自特点。 展开更多

关键词 光学测量 振动 移相干涉仪 抗振技术

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一种用于相移干涉仪的高压放大电路 被引量：3

15

作者 段源鸿 韩森 +1 位作者 唐寿鸿 卢庆杰 《电子测量技术》 2017年第8期217-220,225,共5页

基于自主研制高精度数字化相移干涉仪的需求,针对干涉仪的压电陶瓷移相器设计了一种高压放大电路。通过双极性运算放大器OP07构成低噪声,非斩波稳零的低压放大电路与中功率线性三极管MJE340和MJE350构成高压放大电路进行直流耦合,结合... 基于自主研制高精度数字化相移干涉仪的需求,针对干涉仪的压电陶瓷移相器设计了一种高压放大电路。通过双极性运算放大器OP07构成低噪声,非斩波稳零的低压放大电路与中功率线性三极管MJE340和MJE350构成高压放大电路进行直流耦合,结合反馈网络,功率放大电路,滤波电路以及限流保护电路,将计算机输出的0~5V低电压的移相控制信号稳定线性放大到-30V^+130V范围,且输出低至10mV峰值的纹波,满足压电陶瓷移相器的高压驱动控制要求和相移干涉仪的高精度移相测量的要求。 展开更多

关键词 移相干涉仪 压电陶瓷 高压放大电路 运放OP07 功率三极管

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相移点衍射干涉仪的关键技术研究 被引量：3

16

作者 李艳秋 刘克 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2010年第1期23-29,共7页

相移点衍射干涉仪(PS/PDI)是应用于极紫外光刻投影物镜波像差在线检测的高精度检测设备。在介绍国际相关机构PS/PDI研究进展的基础上,重点阐述在干涉仪优化设计、高精度对准、系统误差标定以及干涉图像处理等PS/PDI关键技术研究方面取... 相移点衍射干涉仪(PS/PDI)是应用于极紫外光刻投影物镜波像差在线检测的高精度检测设备。在介绍国际相关机构PS/PDI研究进展的基础上,重点阐述在干涉仪优化设计、高精度对准、系统误差标定以及干涉图像处理等PS/PDI关键技术研究方面取得的成果。以关键技术研究为基础,开发了一套可见光波段的PS/PDI原理实验装置,并利用该装置检测了极紫外光刻中典型的Schwarzschild投影物镜的波像差,自主开发的20倍缩小Schwarzschild物镜的数值孔径达到了0.2。实验结果表明,干涉仪的重复对准精度优于0.1μm,波像差的绝对检测精度均方根(RMS)误差达到了0.025λ(λ为检查光波长),重复检测精度RMS优于0.001λ,检测速度达到了20秒/视场点。 展开更多

关键词 光学测量 光刻 移相干涉术 点衍射干涉仪

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跨/超临界多相射流过程瞬态密度场可视化实验 被引量：2

17

作者 杨董 陈林 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第12期6432-6440,共9页

利用一种改进的高时空分辨率相移干涉仪,探究跨/超临界射流过程中不同于亚临界条件下的射流特性,测量了不同跨/超临界射流过程中相变化界面的瞬态密度场。相移干涉仪采用马赫-曾德尔型干涉仪的基本排布,通过像素阵列掩模法实现了传感器... 利用一种改进的高时空分辨率相移干涉仪,探究跨/超临界射流过程中不同于亚临界条件下的射流特性,测量了不同跨/超临界射流过程中相变化界面的瞬态密度场。相移干涉仪采用马赫-曾德尔型干涉仪的基本排布,通过像素阵列掩模法实现了传感器同时获得多相位的干涉图像,空间分辨率可达3.45μm,时间分辨率可达0.001s。实验中通过相移干涉仪实现了对液相-超临界相、超临界-气相射流过程的可视化研究,实时定量化测量了瞬态密度场。结果表明,液相流体射流到超临界环境中(p_(r)=1.01,Re=79.738),射流界面不会产生类似亚临界条件下的微小液滴,而是在边缘出现高度褶皱的相平衡层,与文献取得一致的结果;可视腔底部的射流流体密度初始处于712.82kg/m^(3),随着射流的进行,与周围低密度流体相互作用,密度降低到310kg/m^(3)。超临界相流体射流到气相环境中(p_(r)=0.98,R_(e)=87.340),射流界面发生破碎;随着高密度射流流体(314.99kg/m3)从底部向上流动,底部的密度逐渐降低到288.12kg/m^(3),射流相变化界面的法向有很大的密度梯度,最大值为1.565×10^(4)kg/m^(4)。 展开更多

关键词 超临界二氧化碳 两相流 相移干涉 定量可视化 相变

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Φ600mm波长调谐干涉仪的振动误差抑制算法 被引量：2

18

作者 郑东晖 陈磊 +2 位作者 马致遥 李金鹏 胡晨辉 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第23期96-103,共8页

为抑制Φ600 mm波长调谐干涉仪测量过程中振动引起的测量误差,研究了波长调谐振动抑制算法。该算法构建了基于波长调谐移相的振动理论模型,在此基础上建立光强与初始相位的关系曲线,从它的频谱中提取谐波系数用于修正初始相位,解算出真... 为抑制Φ600 mm波长调谐干涉仪测量过程中振动引起的测量误差,研究了波长调谐振动抑制算法。该算法构建了基于波长调谐移相的振动理论模型,在此基础上建立光强与初始相位的关系曲线,从它的频谱中提取谐波系数用于修正初始相位,解算出真实相位。引入评价参数误差抑制系数,将该算法应用于Φ600 mm波长调谐平面移相干涉仪,经过振动抑制算法的处理,振动引起的二倍频“纹波”误差得到较好的抑制,波面峰谷值由0.1180λ降至0.0951λ(λ为波长),均方根值由0.0164λ降到0.0135λ,结果验证了振动抑制算法在波长调谐移相干涉仪上的有效性。 展开更多

关键词 测量 移相干涉 波长调谐 大口径干涉仪 振动抑制

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可实现误差估计的移相量计算方法 被引量：1

19

作者 刘乾 袁道成 何建国 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期2565-2571,共7页

针对移相干涉仪中移相器的标定,提出了一种基于干涉图计算移相量的迭代方法。该方法分为两步:首先假设移相量已知,构建三元最小二乘方程计算位相;然后假设位相已知,构建二元最小二乘方程计算移相量,同时依据三角函数关系和遍历原则,建... 针对移相干涉仪中移相器的标定,提出了一种基于干涉图计算移相量的迭代方法。该方法分为两步:首先假设移相量已知,构建三元最小二乘方程计算位相;然后假设位相已知,构建二元最小二乘方程计算移相量,同时依据三角函数关系和遍历原则,建立估算移相量计算误差的参数。利用计算机仿真和实验验证了提出方法的有效性。计算机仿真显示:提出的方法比已有算法计算精度更高,而且误差估计值与实际计算误差偏离小于15%。在Fizeau干涉仪上开展了验证实验,利用两个电容位移传感器测量了镜架的位移。计算结果与电容传感器测量结果非常吻合,最大偏差仅为0.7nm。另外,利用本文方法得到的误差估计值为0.52nm,显示测量结果和计算结果的偏差在误差估计值范围内。所提出的方法可以高精度地提取移相量,且能给出移相量计算误差,是一种简单可靠的移相器标定方法。 展开更多

关键词 移相干涉仪 移相器 标定 误差估计 迭代算法

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基于LMS算法的移相干涉仪环境振动控制器

20

作者 吴栋 陈磊 朱日宏 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期127-131,共5页

环境振动严重影响移相干涉测量的过程。在运用光学外差法测得移相干涉仪环境振动信号的前提下,设计了采用高速DSP芯片的振动控制器,它对电压形式的振动信号进行采样,用自适应LMS算法分析振动信号,同时输出反馈控制信号。反馈控制信号驱... 环境振动严重影响移相干涉测量的过程。在运用光学外差法测得移相干涉仪环境振动信号的前提下,设计了采用高速DSP芯片的振动控制器,它对电压形式的振动信号进行采样,用自适应LMS算法分析振动信号,同时输出反馈控制信号。反馈控制信号驱动PZT光学移相器对振动引起的光程差(或波前相位)变化进行实时补偿。通过这种闭环控制,系统能够对幅频积小于100waves*Hz的环境振动进行有效补偿,实验中获得了稳定的移相干涉条纹,保证了光学测试的正确性。 展开更多

关键词 光学测试 移相干涉仪 环境振动 振动控制器 自适应LMS算法 PZT移相器

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