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气密性平行缝焊技术与工艺 被引量:11
1
作者 王贵平 李晓燕 《电子工艺技术》 2014年第1期42-44,共3页
气密性封焊的产品因其杰出的可靠性被广泛应用于军事应用。与储能焊、激光焊相比,平行缝焊具有可靠性高、密封性能优越、运行成本低及生产率高等特点,是微电子器件最常用的气密性封装方法之一。主要阐述了气密性平行缝焊技术与工艺,并... 气密性封焊的产品因其杰出的可靠性被广泛应用于军事应用。与储能焊、激光焊相比,平行缝焊具有可靠性高、密封性能优越、运行成本低及生产率高等特点,是微电子器件最常用的气密性封装方法之一。主要阐述了气密性平行缝焊技术与工艺,并对焊接工艺参数进行了详细分析,同时给出了气密性检测要求及针对性措施。 展开更多
关键词 平行缝焊 气密性 封装
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平行缝焊工艺抗盐雾腐蚀技术研究 被引量:10
2
作者 李茂松 何开全 +1 位作者 徐炀 张志洪 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期465-469,共5页
抗盐雾腐蚀是提高集成电路封装可靠性的重要手段之一。根据金属腐蚀机理,通过优化封焊工艺和AuSn合金焊料平行缝焊封盖工艺,以及在封盖后再次进行电镀修复损伤等措施,提高了平行缝焊集成电路的抗盐雾腐蚀能力。
关键词 集成电路封装 抗盐雾腐蚀 平行缝焊
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平行缝焊工艺的热效应研究 被引量:9
3
作者 李宗亚 陈陶 +1 位作者 仝良玉 肖汉武 《电子与封装》 2015年第3期1-4,17,共5页
平行缝焊作为一种高可靠性的气密性密封方法,在陶瓷封装行业中有着愈发重要的应用。封焊过程中瞬间产生的高能量在完成密封的同时,会对陶瓷外壳造成很高的热应力残留,可能会对器件可靠性产生影响。介绍了平行缝焊的工作原理及工艺参数,... 平行缝焊作为一种高可靠性的气密性密封方法,在陶瓷封装行业中有着愈发重要的应用。封焊过程中瞬间产生的高能量在完成密封的同时,会对陶瓷外壳造成很高的热应力残留,可能会对器件可靠性产生影响。介绍了平行缝焊的工作原理及工艺参数,并通过使用ANSYS软件对工艺过程中的各参数进行热仿真分析,研究平行缝焊工艺参数对陶瓷封装的热影响。 展开更多
关键词 平行缝焊 陶瓷封装 仿真
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MCM-C金属气密封装技术 被引量:8
4
作者 何中伟 李寿胜 《电子与封装》 2006年第9期1-6,共6页
在介绍MCM-C常用金属气密封装方法的基础上,重点对MCM-C封装中工程实用性强、应用较多的平行缝焊密封工艺技术、链式炉钎焊密封工艺技术以及密封前的真空烘烤技术进行了较深入的研讨。实验结果表明,采用文中所述的MCM-C金属气密封装技... 在介绍MCM-C常用金属气密封装方法的基础上,重点对MCM-C封装中工程实用性强、应用较多的平行缝焊密封工艺技术、链式炉钎焊密封工艺技术以及密封前的真空烘烤技术进行了较深入的研讨。实验结果表明,采用文中所述的MCM-C金属气密封装技术所封装的金属外壳封装MCM-C、一体化PGA封装MCM-C产品,在经受规定的环境试验、机械试验后,其结构完整性、电学有效性、机械牢固性、封装气密性均能很好地满足要求。 展开更多
关键词 MCM-C 金属气密封装 平行缝焊 钎焊 真空烘烤
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基于平行缝焊工艺的AuSn合金焊料封盖技术研究 被引量:5
5
作者 李茂松 欧昌银 +4 位作者 陈鹏 赵光辉 胡琼 黄大志 朱虹姣 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期349-353,共5页
为了解决聚合物粘结电路的质量与长期可靠性问题,提出了一种采用平行缝焊工艺对AuSn合金焊料熔封器件进行封盖的新方法。通过对平行缝焊工艺的深入研究,解决了该类器件封盖的气密性与外观质量问题,从而找到了一种有效解决熔封外壳组装... 为了解决聚合物粘结电路的质量与长期可靠性问题,提出了一种采用平行缝焊工艺对AuSn合金焊料熔封器件进行封盖的新方法。通过对平行缝焊工艺的深入研究,解决了该类器件封盖的气密性与外观质量问题,从而找到了一种有效解决熔封外壳组装的低温聚合物粘结电路水汽含量、抗剪强度、键合强度控制的新方法。 展开更多
关键词 封装 水汽控制 平行缝焊 气密性 合金封盖
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倒装焊器件的密封技术 被引量:6
6
作者 李欣燕 李秀林 丁荣峥 《电子与封装》 2010年第9期1-4,共4页
倒装焊的底部填充属非气密性封装,并且受倒装焊凸点焊料熔点、底部填充有机材料耐温限制,使得倒装焊器件的密封结构设计和工艺设计受限。文章结合气密性器件使用要求,设计了两种不改变现行倒装焊器件制造工艺、器件总体结构[3]的密封技... 倒装焊的底部填充属非气密性封装,并且受倒装焊凸点焊料熔点、底部填充有机材料耐温限制,使得倒装焊器件的密封结构设计和工艺设计受限。文章结合气密性器件使用要求,设计了两种不改变现行倒装焊器件制造工艺、器件总体结构[3]的密封技术,经过分析论证以及工艺实验,确认其是可行的。密封的器件能够满足MIL-883G中有关气密性、内部水汽含量、耐腐蚀(盐雾)、耐湿以及机械试验等[6~7],密封结构、密封工艺均是在现有封装工艺条件基础上进行,具有非常强的可行性。 展开更多
关键词 倒装焊 气密性 陶瓷外壳 平行缝焊 合金焊料熔封 可靠性
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HTCC产品气密性封装的平行缝焊工艺研究 被引量:5
7
作者 陈曦 甘志华 苗春蕾 《电子与封装》 2019年第10期8-12,共5页
平行缝焊作为气密性封装的一种重要封装形式,以其适用范围广、可靠性高等优势被广泛应用。在高温共烧陶瓷(High Temperature Co-fired Ceramics,HTCC)产品气密性封装应用时,有诸多因素可能会引起产品密封不合格,导致电路失效。从产品盖... 平行缝焊作为气密性封装的一种重要封装形式,以其适用范围广、可靠性高等优势被广泛应用。在高温共烧陶瓷(High Temperature Co-fired Ceramics,HTCC)产品气密性封装应用时,有诸多因素可能会引起产品密封不合格,导致电路失效。从产品盖板和底座的清洁度、预焊过程控制、封装夹具制作及封装参数的设置4个方面研究了平行缝焊工艺对HTCC产品气密性封装效果的影响。研究结果显示,为减少平行缝焊时陶瓷管壳所受到的热冲击,在脉冲周期内脉冲宽度要短,焊封能量应尽可能小,同时平行缝焊工艺中非封装参数影响的焊道质量也会影响HTCC产品气密性封装的效果。 展开更多
关键词 高温共烧陶瓷 气密性封装 平行缝焊
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微电子模块气密性封焊技术发展及应用 被引量:3
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作者 皋利利 包晓云 +1 位作者 顾网平 茹莉 《电焊机》 2016年第7期105-108,共4页
对微电子模块气密性封焊技术的研究现状进行了总结,综述了平行缝焊技术、钎焊封焊技术及激光封焊技术的工艺特点及应用领域,重点介绍了不同气密性封焊技术对结构设计、材料选择等方面的要求。
关键词 气密性封焊 平行缝焊 钎焊封焊 激光封焊
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平行缝焊盖板镀层结构的热分析 被引量:3
9
作者 蒋涵 徐中国 蒋玉齐 《电子与封装》 2022年第2期25-30,共6页
平行缝焊是陶瓷封装中应用最为广泛的高可靠性气密性封装方式之一。由于焊接过程中,盖板表面镀层会发生熔化、破坏等过程,可伐基底会被暴露在环境中,导致盐雾腐蚀失效。利用Abaqus有限元分析软件,选择2种代表性的可伐盖板镀层结构,分析... 平行缝焊是陶瓷封装中应用最为广泛的高可靠性气密性封装方式之一。由于焊接过程中,盖板表面镀层会发生熔化、破坏等过程,可伐基底会被暴露在环境中,导致盐雾腐蚀失效。利用Abaqus有限元分析软件,选择2种代表性的可伐盖板镀层结构,分析不同加载温度条件下可伐盖板及其表面镀层的温度分布。仿真结果表明,当可伐盖板采用Ni/Au的镀层结构时,控制焊接温度范围为1200~1400℃,有希望保证平行缝焊耐盐雾腐蚀可靠性,并给出其耐盐雾腐蚀机理。 展开更多
关键词 平行缝焊 陶瓷封装 仿真
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平行缝焊壳体温升影响研究 被引量:3
10
作者 徐炀 李茂松 倪乾峰 《电子与封装》 2015年第9期10-13,共4页
在微电子器件密封工艺中,平行缝焊气密性焊接过程的热冲击导致器件质量问题是一种比较常见的现象。为了量化分析缝焊温度与焊接参数、封装外壳形式的关系,提出了一种采用AD590温度传感器芯片定量测试器件内腔温度变化情况的新方法。针... 在微电子器件密封工艺中,平行缝焊气密性焊接过程的热冲击导致器件质量问题是一种比较常见的现象。为了量化分析缝焊温度与焊接参数、封装外壳形式的关系,提出了一种采用AD590温度传感器芯片定量测试器件内腔温度变化情况的新方法。针对测试的温度数据,根据其规律性开展工艺优化试验,降低产品在焊接过程中生产的热应力损伤,避免产生质量问题。 展开更多
关键词 平行缝焊 气密性封装 温度效应
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全自动平行缝焊机控制系统设计 被引量:2
11
作者 李文杰 乔丽 边国敏 《电子工业专用设备》 2018年第5期64-67,共4页
介绍了全自动平行缝焊机的系统组成,重点对设备的运动控制系统进行描述。该设备以运动控制卡为核心,结合图像处理技术,实现设备的高精度运动控制。
关键词 平行缝焊 自动对位 运动控制
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耐高过载LTCC一体化LCC封装的研制 被引量:2
12
作者 何中伟 李杰 +2 位作者 周冬莲 贺彪 卢道万 《电子工艺技术》 2014年第6期334-336,340,共4页
通过封装结构设计及其制造工艺流程和LTCC基板加工、围框与基板共晶焊接、平行缝焊封盖等制造工艺的研究,成功研制了适于多芯片、多元器件微电子模块的LTCC一体化LCC封装外壳,封装气密性满足国军标要求,能够达到抗25000g机械冲击应力的... 通过封装结构设计及其制造工艺流程和LTCC基板加工、围框与基板共晶焊接、平行缝焊封盖等制造工艺的研究,成功研制了适于多芯片、多元器件微电子模块的LTCC一体化LCC封装外壳,封装气密性满足国军标要求,能够达到抗25000g机械冲击应力的耐高过载水平。 展开更多
关键词 LTCC 一体化LCC封装 真空共晶焊 平行缝焊 气密性 耐高过载
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微小型一体化管壳气密封装技术 被引量:2
13
作者 胡骏 雷党刚 +1 位作者 金家富 付娟 《电子与封装》 2012年第4期1-3,19,共4页
微小型一体化管壳将基板和外壳构成一个封装整体,可以较好地解决高密度集成微电路的封装难题。平行缝焊技术是微小型一体化管壳气密封装的主要形式,平行缝焊的热应力是造成微小型一体化管壳气密封装失效的主要原因。文章用有限元法计算... 微小型一体化管壳将基板和外壳构成一个封装整体,可以较好地解决高密度集成微电路的封装难题。平行缝焊技术是微小型一体化管壳气密封装的主要形式,平行缝焊的热应力是造成微小型一体化管壳气密封装失效的主要原因。文章用有限元法计算了微小型一体化管壳的热应力分布,并在此基础上优化了平行缝焊参数,保证获得最佳的焊接效果。 展开更多
关键词 一体化管壳 平行缝焊 焊接应力 有限元法
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提高多芯片微波模块气密性的研究 被引量:1
14
作者 王建志 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第7期558-561,共4页
伴随着现代微电子技术的高速发展,在一些特殊环境条件下使用的各种微波模块,需要进行密封封装,以防止器件中的电路因潮气、大气中的离子、腐蚀气氛的浸蚀等引起失效,采用气密性封装以延长器件的使用时间。密封的实现方式根据具体要求采... 伴随着现代微电子技术的高速发展,在一些特殊环境条件下使用的各种微波模块,需要进行密封封装,以防止器件中的电路因潮气、大气中的离子、腐蚀气氛的浸蚀等引起失效,采用气密性封装以延长器件的使用时间。密封的实现方式根据具体要求采取不同的措施,对于密封要求相对较低,可以采用锡封的方式实现;对于密封要求相对较高的,可以采用平行封焊的方式实现。影响平行缝焊质量的有诸多因素,盖板与平行缝焊的关系是相当重要的,在壳体性能稳定的情况下,盖板质量的好坏直接影响着器件的气密性,盖板和管壳之间的匹配、工艺参数的设置、电极表面的状态等对平行缝焊的质量都起着重要的作用。 展开更多
关键词 封装 平行缝焊 气密性 盖板 电极
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大电流EMI滤波器气密性金属封装的研制 被引量:1
15
作者 陈益芳 洪瑜鹏 +1 位作者 康武闯 赵海霞 《电子与封装》 2017年第4期5-8,共4页
大电流EMI滤波器密封式结构相较于开放式结构更适于盐雾、振动、冲击等工作环境,但需解决气密性金属封装中装配、散热、高频耦合等问题。以研制一款15 A的EMI滤波器的气密性金属封装产品为例,介绍了密封结构设计以及组件一体化设计、凹... 大电流EMI滤波器密封式结构相较于开放式结构更适于盐雾、振动、冲击等工作环境,但需解决气密性金属封装中装配、散热、高频耦合等问题。以研制一款15 A的EMI滤波器的气密性金属封装产品为例,介绍了密封结构设计以及组件一体化设计、凹槽辅助焊接结构、平行缝焊、玻璃封装及Ni-Au复合镀等工艺措施,有效解决金属封装的气密性及气密性成品率。产品基本电性能等效于开放式结构产品,并通过相关可靠性考核,为同类EMI滤波器气密性封装的设计提供参考。 展开更多
关键词 滤波器 金属封装 平行缝焊
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自动平行缝焊机中对位机构的设计 被引量:1
16
作者 张泽义 张媛 田志峰 《电子工业专用设备》 2018年第3期44-46,72,共4页
针对平行缝焊机手动对位存在的缺陷,经过工艺试实验验证,自动对位很好地解决了这些缺陷。对位机构的设计提高了产品的生产效率和质量。
关键词 平行缝焊 自动对位 生产效率
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自动对位平行缝焊机的设计应用
17
作者 田志峰 张泽义 +1 位作者 刘畅 王晋强 《电子工艺技术》 2022年第4期241-244,248,共5页
自动对位平行缝焊机是在客户需求下研制的,通过工艺过程、工作流程的分析,在机械结构、视觉系统和算法的综合考虑下设计制造。经过测试验证与实践证明,该设备满足生产需求。通过视觉对位,并自动完成焊接过程,提高了生产质量与生产效率,... 自动对位平行缝焊机是在客户需求下研制的,通过工艺过程、工作流程的分析,在机械结构、视觉系统和算法的综合考虑下设计制造。经过测试验证与实践证明,该设备满足生产需求。通过视觉对位,并自动完成焊接过程,提高了生产质量与生产效率,同时降低了企业的投入成本与操作者的要求,为企业创作更多价值。 展开更多
关键词 平行缝焊 自动对位 视觉系统 生产效率
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新型自动平行缝焊设备机构设计
18
作者 闫旭冬 赵雷 丁永生 《山西电子技术》 2019年第3期34-35,38,共3页
平行缝焊是针对微电子器件及光电器件等较大管壳的气密性缝焊工艺。文中提出的新型自动平行缝焊设备优势主要体现在管壳与盖板对位技术及夹具高兼容性设计。此外,设备中传输机构对于微电子封装行业自动化设备具有一定借鉴意义。
关键词 平行缝焊 自动对位 传输机构
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固态继电器平行缝焊工艺
19
作者 郭建章 赵笃良 +2 位作者 何学东 林永 杨琼 《机电元件》 2020年第1期30-34,共5页
气密式密封固态继电器因其具有良好的可靠性,而被广泛应用于航天、航空、船舶、装甲车等领域。平行缝焊是实现气密式封装的方式之一,具有可靠性高、密封性能优良、生产率高等特点。文章主要阐述了平行缝焊系统原理、系统参数关系、外壳... 气密式密封固态继电器因其具有良好的可靠性,而被广泛应用于航天、航空、船舶、装甲车等领域。平行缝焊是实现气密式封装的方式之一,具有可靠性高、密封性能优良、生产率高等特点。文章主要阐述了平行缝焊系统原理、系统参数关系、外壳配合、夹具设计等方面。并对气密性检测进行了详细说明。 展开更多
关键词 固态继电器 平行缝焊 密封性 电极
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基于F型管壳的旋转缝焊技术研究
20
作者 欧昌银 李茂松 黄大志 《电子质量》 2004年第12期54-55,72,共3页
本文深入研究了旋转缝焊技术,讨论了缝焊中焊边受力、速度变化和热量分布情况,分析了影响旋转缝焊气密性的主要因素。
关键词 平行缝焊 扁平封装 陶瓷封装 旋转缝焊 气密性 集成电路
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