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薄膜滤光片的光学稳定性研究 被引量：29
1
作者 白胜元 顾培夫 +1 位作者 刘旭 唐晋发 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期576-580,共5页
薄膜滤光片中心波长的稳定性是非常重要的参量 .这不仅取决于膜层的聚集密度 ,而且与薄膜材料和基板的折射率温度系数及线性膨胀系数有着紧密的关系 .本文根据滤光片的实验参量 ,分析计算了它们对滤光片中心波长漂移影响的大小 。
关键词 光学薄膜 带通滤光片 光学稳定性 波长 薄膜滤光片 漂移 聚集密度 折射率温度系数 线性膨胀系数
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离子束溅射沉积干涉光学薄膜技术 被引量：14
2
作者 张云洞 刘洪祥 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期69-72,共4页
离子束溅射技术是近些年发展起来的制备高质量光学薄膜的一种非常重要的方法,它具有其它制膜技术所无法比拟的优点。但是,国内对这方面的研究和介绍甚少,且鲜见报到。本文着重介绍了离子束溅射技术的发展、原理和特征以及应用前景。
关键词 离子束溅射 光学薄膜 光腔衰荡 沉积
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光学薄膜在光通信中的应用 被引量：9
3
作者 杨军 明海 +1 位作者 王沛 唐麟 《光电子技术与信息》 2003年第3期10-14,共5页
主要介绍了光学薄膜在光通信的无源型器件中的原理及应用,并与光纤光栅和平面光波导型的无源器件作简单比较。
关键词 光学薄膜 密集波分复用 光分插复接连接器 光交叉连接器 增益平坦 色散补偿
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彩色膜上ITO的室温沉积及其在FPD中的应用 被引量：16
4
作者 孟志国 彭华君 +6 位作者 吴春亚 李娟 熊绍珍 丘成峰 李娟娟 王文 郭海成 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期140-145,共6页
使用直流磁控溅射技术,在彩色膜衬底上室温制备出粘附性良好的氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。X光衍射(XRD)和原子力显微(AFM)分析表明,室温ITO为多晶态,薄膜具有很好的透过率和良好的导电特性,方块电阻为120Ω/□,对应ITO/彩色膜复合膜在4... 使用直流磁控溅射技术,在彩色膜衬底上室温制备出粘附性良好的氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。X光衍射(XRD)和原子力显微(AFM)分析表明,室温ITO为多晶态,薄膜具有很好的透过率和良好的导电特性,方块电阻为120Ω/□,对应ITO/彩色膜复合膜在450nm的蓝(B)光、530nm的绿(G)光、630nm的红(R)光处的峰值透过率均达到85%左右。彩色膜与ITO电极的形成及联接等加工工艺有良好的相容性。对该技术在彩色液晶显示(LCD)和彩色有机发光显示(OLED)中的应用,进行了探索。 展开更多
关键词 ITO 彩色膜 FPD 方块电阻 有机发光显示 OLED 氧化铟锡 透过率 室温 透明导电薄膜
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YbF_3和ZnS薄膜的折射率和厚度的分光光度法测定 被引量：7
5
作者 乔明霞 黄伟 张彬 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期24-25,共2页
本文给出了一种简单而准确地确定光学薄膜折射率和厚度的方法。利用分光光度计分别测量光学薄膜样品以及基底透射率曲线,采用柯西(Cauchy)色散模型以及非线性单纯形优化法对透射率测量曲线进行拟合,从而确定薄膜的光学常数和厚度。采用... 本文给出了一种简单而准确地确定光学薄膜折射率和厚度的方法。利用分光光度计分别测量光学薄膜样品以及基底透射率曲线,采用柯西(Cauchy)色散模型以及非线性单纯形优化法对透射率测量曲线进行拟合,从而确定薄膜的光学常数和厚度。采用电子束热蒸发和电阻热蒸发方法,分别在CaF2基底上镀制ZnS薄膜和在Al2O3基底上镀制YbF3薄膜,通过测量其在400nm-2600nm波段内的透射率曲线,计算出ZnS和YbF3薄膜材料的折射率色散曲线以及膜层厚度。 展开更多
关键词 光学薄膜 折射率 透射率 非线性单纯形法 分光光度法
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角度调谐滤光片偏振控制的间隔层折射率寻优算法 被引量：10
6
作者 王翀 罗斌 潘炜 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期707-711,共5页
斜入射滤光片的S偏振和P偏振的中心波长会发生分离,而通过调整间隔层的有效折射率,可使有角度入射滤光片两个偏振分量的中心波长相重合。由相位关系分析着手,利用多层膜的特征矩阵关系式,推导出间隔层中间折射率和P偏振及S偏振的中心波... 斜入射滤光片的S偏振和P偏振的中心波长会发生分离,而通过调整间隔层的有效折射率,可使有角度入射滤光片两个偏振分量的中心波长相重合。由相位关系分析着手,利用多层膜的特征矩阵关系式,推导出间隔层中间折射率和P偏振及S偏振的中心波长的两个隐函数表达式,由此可快速解出所寻找的中间折射率及对应的中心波长数值。单腔和三腔的两个具体实例的模拟计算表明:采用此算法,对于调谐到一特定角度入射的滤光片能很快地求出准确的中间折射率数值,应用此中间折射率即可使P偏振和S偏振的中心波长很好地重合。入射角从0°到30°的实例偏差分析表明此算法的精确度高,这对于减少偏振分量特性之间的分离以及滤光片的宽角度调谐有着良好的意义。 展开更多
关键词 薄膜光学 滤光片 倾斜入射 中间层折射率 中心波长 偏振
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电子束反应蒸发氧化物薄膜的应力特性 被引量：6
7
作者 熊胜明 张云洞 唐晋发 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期13-15,共3页
研究了反应电子束蒸发氧化物光学薄膜在空气中的应力。为了找到能减小多层膜结构内应力的淀积工艺参数 ,测试了氧化物膜层 Ti O2 ,Ta2 O5 ,Si O2 ,Al2 O3,Hf O2 的应力 ,发现有些膜层为压应力 ,一些高折射率膜为张应力。实验表明 ,热处... 研究了反应电子束蒸发氧化物光学薄膜在空气中的应力。为了找到能减小多层膜结构内应力的淀积工艺参数 ,测试了氧化物膜层 Ti O2 ,Ta2 O5 ,Si O2 ,Al2 O3,Hf O2 的应力 ,发现有些膜层为压应力 ,一些高折射率膜为张应力。实验表明 ,热处理可以有效地降低氧化物膜层光学吸收 ,并改变应力。 展开更多
关键词 光学薄膜 热处理 电子束蒸发 氧化物 应力特性
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光学薄膜的激光损伤研究进展 被引量：10
8
作者 李晓光 沈军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2237-2243,共7页
从理论、实验两方面对薄膜的激光损伤机理和提高损伤阈值的手段进行了回顾。概括了现有理论模型及其适用范围,对缺陷的行为进行了多方面的论述,重点比较了各种制备方法及后处理手段的特点,分析了主要工艺参数对薄膜损伤阈值的影响。结... 从理论、实验两方面对薄膜的激光损伤机理和提高损伤阈值的手段进行了回顾。概括了现有理论模型及其适用范围,对缺陷的行为进行了多方面的论述,重点比较了各种制备方法及后处理手段的特点,分析了主要工艺参数对薄膜损伤阈值的影响。结合本实验室及国内外同行的工作,对溶胶-凝胶法制备高损伤阈值薄膜的工艺进行了总结。从吸收、热传导、抗拉强度等角度对物理膜和化学膜在结构与性能上进行了比较,提出了从化学键、成膜过程等方面分析损伤机理的建议,并结合真空污染、亚表面损伤等新问题提出了未来工作的发展方向。 展开更多
关键词 激光损伤阈值 光学薄膜 缺陷 物理气相沉积 溶胶-凝胶
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高反射硅镜弱吸收的研究 被引量：9
9
作者 王英剑 胡海洋 +1 位作者 李庆国 范正修 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第10期937-940,共4页
运用表面热透镜技术精确测量 1315nm高反射硅镜的弱吸收 ,并结合原子力显微镜所显示的薄膜表面情况判断引起吸收的原因 。
关键词 表面热透镜 原子力显微镜 弱吸收 高反射硅镜
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溶胶-凝胶法制备SiO_2基片Er^(3+)∶Al_2O_3光学薄膜 被引量：4
10
作者 王兴军 杨涛 +1 位作者 王晶 雷明凯 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期397-400,共4页
用溶胶凝胶法在SiO2 基片上提拉制备了掺Er3 + ∶Al2 O3 光学薄膜。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、差热热重分析仪、X射线衍射仪研究了掺Er3 + ∶Al2 O3 光学薄膜的形貌和结构特性。在 90 0℃烧结后 ,SiO2 基片上提拉 15次形成厚... 用溶胶凝胶法在SiO2 基片上提拉制备了掺Er3 + ∶Al2 O3 光学薄膜。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、差热热重分析仪、X射线衍射仪研究了掺Er3 + ∶Al2 O3 光学薄膜的形貌和结构特性。在 90 0℃烧结后 ,SiO2 基片上提拉 15次形成厚度 8μm掺摩尔比 0 .0 1Er3 + 的面心立方结构γ Al2 O3 薄膜具有明显 (110 )择优取向 ,掺摩尔比 0 .0 1Er3 + 对γ Al2 O3 的晶体结构和结晶生长过程未产生显著影响。薄膜具有均匀多孔结构 ,平均粒径为 30～ 10 0nm ,平均孔径为 5 0～ 10 0nm ,表面起伏度为 10～ 2 0nm。掺摩尔比 0 .0 1Er3 + ∶γ Al2 O3 薄膜 ,获得了中心波长为1.5 34μm(半峰全宽为 36nm)的光致发光谱。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 二氧化硅基片 铒离子掺杂 三氧化二铝薄膜 晶体结构 结晶生长
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脉宽压缩光栅用的多层膜设计和性能分析 被引量：8
11
作者 孔伟金 邵建达 +3 位作者 张伟丽 方明 范瑞瑛 范正修 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期701-706,共6页
应用于啁啾脉冲放大技术中的脉宽压缩光栅是基于多层膜作为基底,利用全息干涉技术和离子束技术刻蚀而成。脉宽压缩光栅的衍射效率和抗激光损伤阈值一方面依赖于光栅结构的设计,另一方面很大程度上取决于作为基底的多层膜的设计。给出了... 应用于啁啾脉冲放大技术中的脉宽压缩光栅是基于多层膜作为基底,利用全息干涉技术和离子束技术刻蚀而成。脉宽压缩光栅的衍射效率和抗激光损伤阈值一方面依赖于光栅结构的设计,另一方面很大程度上取决于作为基底的多层膜的设计。给出了以413.1nm作为写入波长,1053nm作为使用波长的多层介质光栅膜的设计,样品在ZZS-800F型真空镀膜机上采用电子束蒸发方式沉积而成,并给出了膜系结构对光学性能影响因素的详细分析,结果表明膜系H3L(H2L)9H0.5L2.03H满足光栅膜的指标。给出了样品光学特性测试,其使用波长处的透射率<0.5%,写入波长处的透射率>90%,测试表明样品满足设计要求且实验结果和理论设计符合得很好。 展开更多
关键词 薄膜光学 膜系设计 性能分析 脉宽压缩
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MOCVD生长的GaN膜的光学性质研究 被引量：8
12
作者 张荣 杨凯 +3 位作者 秦林洪 沈波 施洪涛 郑有炓 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期91-96,共6页
本文报道（0001）晶向蓝宝石衬底上金属有机化学气相淀积（MOCVD）方法生长的单晶六角GaN薄膜室温光学性质．由光吸收谱和488umAr+激光激发的光调制反射光谱（PR）确定的禁带宽度分别为3．39和3．400eV，从光吸收谱得到了GaN薄膜的折射... 本文报道（0001）晶向蓝宝石衬底上金属有机化学气相淀积（MOCVD）方法生长的单晶六角GaN薄膜室温光学性质．由光吸收谱和488umAr+激光激发的光调制反射光谱（PR）确定的禁带宽度分别为3．39和3．400eV，从光吸收谱得到了GaN薄膜的折射率随光谱能量的变化关系．对PR谱的调制机理进行的分析，发现信号来自缺陷作用下的表面电场调制．应用喇曼光谱研究了GaN薄膜中的声子模，通过对LO声子-等离激元的耦合模散射峰的研究，得到了材料中的载流子浓度和等离激元阻尼常数． 展开更多
关键词 氮化镓 MOCVD生长 光学性质
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1064nm倍频波长分离膜的制备与性能研究 被引量：6
13
作者 马小凤 张东平 +4 位作者 王英剑 范书海 高卫东 范正修 邵建达 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期835-838,共4页
通过对主膜系添加匹配层并借助计算机对膜系进行优化,设计出结构规整、性能优良的1064nm倍频波长分离膜。用电子束蒸发及光电极值监控技术在K9玻璃基底上沉积薄膜,将样品置于空气中在260℃温度下进行3h热退火处理。然后用Lambda900分光... 通过对主膜系添加匹配层并借助计算机对膜系进行优化,设计出结构规整、性能优良的1064nm倍频波长分离膜。用电子束蒸发及光电极值监控技术在K9玻璃基底上沉积薄膜,将样品置于空气中在260℃温度下进行3h热退火处理。然后用Lambda900分光光度计测量了样品的光谱性能;用表面热透镜(STL)技术测量了样品的弱吸收值;用调Q脉冲激光装置测试了样品的抗激光损伤阈值(LIDT)。实验结果发现,样品的实验光谱性能与理论光谱性能有很好的一致性,退火前后其光谱性能几乎没有发生温漂,说明薄膜的温度稳定性好;同时退火使样品的弱吸收减小,从而其激光损伤阈值提高。理论和实验结果均表明,对主膜系添加匹配层的方法是1064nm倍频波长分离膜设计的较好方法。 展开更多
关键词 薄膜 倍频波长分离膜 弱吸收 激光损伤阈值
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低损耗液晶光开关器件用透明电极的制备 被引量：2
14
作者 白胜元 黄昱勇 +3 位作者 李海峰 刘旭 顾培夫 唐晋发 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期26-29,共4页
液晶可以用来制作光通讯系统中的光开关,液晶器件的损耗主要取决于透明电极的透射率, ITO(氧化铟锡)在可见光范围具有高的透射率,但在红外损耗较大。在测定ITO复折射率的基础上,本文借鉴光学薄膜中诱导滤光片的设计思想,设计、制备出了... 液晶可以用来制作光通讯系统中的光开关,液晶器件的损耗主要取决于透明电极的透射率, ITO(氧化铟锡)在可见光范围具有高的透射率,但在红外损耗较大。在测定ITO复折射率的基础上,本文借鉴光学薄膜中诱导滤光片的设计思想,设计、制备出了在红外1.5mm^1.6mm范围内高透射率的透明电极,使整个器件的损耗<0.4dB,相应的方块电阻为350W/□。 展开更多
关键词 光开关 光学薄膜 诱导滤光片 透明电极 液晶
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光学薄膜的色度分析 被引量：8
15
作者 高竹青 范正修 李如凤 《光子学报》 EI CAS CSCD 2000年第9期838-842,共5页
本文建立了与分光光度计 Lambda-9结合的光学薄膜的色度计算程序 ,研究了薄膜光谱中各色光透过率变化对薄膜表面颜色的影响 ,对几种常见的颜色薄膜进行了色度分析 .
关键词 光学薄膜 分光光度计 色光 色度分析
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短脉冲激光诱导薄膜损伤的等离子体爆炸过程分析 被引量：8
16
作者 夏志林 郭培涛 +2 位作者 薛亦渝 黄才华 李展望 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期3523-3530,共8页
短脉冲激光诱导薄膜材料损伤过程的研究通常止于薄膜材料发生喷溅.超热喷溅物质吸收剩余激光脉冲能量将形成剧烈的等离子体爆炸过程.采用两步数值计算方法处理等离子体微滴的爆炸过程,即在每一个数值计算时间步长内,将爆炸过程分为两步... 短脉冲激光诱导薄膜材料损伤过程的研究通常止于薄膜材料发生喷溅.超热喷溅物质吸收剩余激光脉冲能量将形成剧烈的等离子体爆炸过程.采用两步数值计算方法处理等离子体微滴的爆炸过程,即在每一个数值计算时间步长内,将爆炸过程分为两步,第一步处理微滴的绝热膨胀及裂解过程;第二步处理微滴对激光脉冲能量的吸收过程.有效地将微滴吸收激光能量的物理学过程与爆炸动力学过程耦合到一起.分析了喷溅物质微滴在剩余激光脉冲作用下,其半径、膨胀(加)速度、裂解(加)速度、电子及离子的密度与温度等参量随时间变化的演化情况.结果表明:材料喷溅前期为微滴雾化阶段,后期则以膨胀过程为主.裂解速度是周期性的,膨胀速度则单调增加.在特定情况下膨胀速度可能在雾化之后出现一个动稳定阶段,但该动稳定态的出现条件是苛刻的. 展开更多
关键词 光学薄膜 激光损伤 等离子体 爆炸
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光学薄膜表面微细缺陷在线检测方法研究 被引量：7
17
作者 钟球盛 胡广华 李静蓉 《机械设计与制造》 北大核心 2011年第10期102-104,共3页
为了对光学薄膜进行精密光学检测,需要采用数个具有高解析度的线阵CCD相机进行光学薄膜缺陷图像的同步采集。基于计算机视觉的理论,提出了一种有效的自动质量监测方案,实现对光学薄膜表面微细缺陷项目的检测,并根据检测结果驱动打标机... 为了对光学薄膜进行精密光学检测,需要采用数个具有高解析度的线阵CCD相机进行光学薄膜缺陷图像的同步采集。基于计算机视觉的理论,提出了一种有效的自动质量监测方案,实现对光学薄膜表面微细缺陷项目的检测,并根据检测结果驱动打标机对光学薄膜缺陷进行自动标识和定位,该方法具有高精度、实时、在线和非接触的显著优势。探索性实验结果表明,采用该方法可获得光学薄膜表面缺陷的清晰图像,缺陷的细节能够得到很好的展现,并且能够完成缺陷特征的提取与识别。 展开更多
关键词 光学薄膜 缺陷检测 计算机视觉
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侧光式LED液晶电视背光模组设计原理 被引量：8
18
作者 何胜斌 《电子科技》 2012年第3期97-100,共4页
液晶电视背光模组作为设计的关键,正从LCD向LED模组、从小尺寸LED向大尺寸LED模组转变。在LED模组设计中如何将LED点光源转化成均匀的面光源,同时保证必要的光能量利用率,是背光源设计所面临的两大议题。尤其在大尺寸背光模组中,为降低... 液晶电视背光模组作为设计的关键,正从LCD向LED模组、从小尺寸LED向大尺寸LED模组转变。在LED模组设计中如何将LED点光源转化成均匀的面光源,同时保证必要的光能量利用率,是背光源设计所面临的两大议题。尤其在大尺寸背光模组中,为降低成本,需在设计之初,对背光模组的各个器件进行整体考虑和计算。仿真实验结果证明,中心辉度为≥420 cd/m2;亮度均匀性≥76%;色坐标、视角、画质等均符合设计要求。 展开更多
关键词 LED背光模组 LED灯珠 导光板 膜片
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基于广义形态滤波和模糊逻辑的散斑噪声抑制 被引量：5
19
作者 蒋立辉 耿蒙 赵春晖 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2005年第1期80-83,共4页
提出一种新的用于图像斑点噪声抑制的滤波算法。此算法应用了形态滤波和模糊逻辑理论,首先以一方向结构元素进行广义形态闭-开、开-闭操作,获得不同方向结构元素的滤波版本,然后根据设计的模糊规则计算所有版本像素的隶属度,以具有相应... 提出一种新的用于图像斑点噪声抑制的滤波算法。此算法应用了形态滤波和模糊逻辑理论,首先以一方向结构元素进行广义形态闭-开、开-闭操作,获得不同方向结构元素的滤波版本,然后根据设计的模糊规则计算所有版本像素的隶属度,以具有相应最大隶属度的像素构成最后的滤波结果。实验结果证明:本文算法优于Lee滤波算法、F.Safa算法和加权形态滤波算法。 展开更多
关键词 形态滤波器 模糊逻辑 斑点噪声抑制 图像
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中红外激光器光学薄膜的研制 被引量：7
20
作者 洪冬梅 岳威 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1157-1159,共3页
文章讨论了中红外波段激光器使用的一系列光学薄膜的设计方法和制备工艺。膜系类型涉及截止滤光膜、增透膜与高反膜,根据对称匹配膜层的理论,利用计算机膜系设计优化软件对膜系进行优化后,得到了损耗小、利于制备、重复性好的膜系结构,... 文章讨论了中红外波段激光器使用的一系列光学薄膜的设计方法和制备工艺。膜系类型涉及截止滤光膜、增透膜与高反膜,根据对称匹配膜层的理论,利用计算机膜系设计优化软件对膜系进行优化后,得到了损耗小、利于制备、重复性好的膜系结构,并且在完成多次实际制备过程后,分析了离子束预处理和离子源辅助蒸发对膜层的影响,确定最优参数的设定值后取得了较好的效果。 展开更多
关键词 光学薄膜 中红外 对称匹配层 计算机优化 离子源
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