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镍钛形状记忆合金薄膜的相变温度和力学性能 被引量:2
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作者 柳美荣 郭锦芳 +1 位作者 米绪军 朱明 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期95-97,共3页
利用直流磁控溅射法溅射沉积了NiTi形状记忆合金薄膜 ,对NiTi形状记忆合金薄膜进行晶化热处理以使其获得形状记忆效应 ,研究了 5 5 0℃晶化热处理 1h后Ti 48 2 %Ni薄膜的相变温度和力学性能。研究结果表明 ,NiTi薄膜 5 5 0℃晶化热处理... 利用直流磁控溅射法溅射沉积了NiTi形状记忆合金薄膜 ,对NiTi形状记忆合金薄膜进行晶化热处理以使其获得形状记忆效应 ,研究了 5 5 0℃晶化热处理 1h后Ti 48 2 %Ni薄膜的相变温度和力学性能。研究结果表明 ,NiTi薄膜 5 5 0℃晶化热处理 1h后 ,升温过程中发生M→A的相变 ,而降温过程中则先发生A→R相变 ,再发生R→M的相变。薄膜的断裂强度随测试温度的升高而增大 ,残余应变随温度的升高而减小 ,当温度大于Af 点时 。 展开更多
关键词 形状记忆合金 磁控溅射法 niti薄膜 晶化热处理
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Enhanced wear resistance of NiTi alloy by surface modification with Nb ion implantation 被引量:6
2
作者 Yan Li Fei Zhang +2 位作者 Ting-Ting Zhao Ming Tang Yong Liu 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第3期244-248,共5页
Niobium ion implantation is found to significantly decrease the friction coefficient and improve wear resistance of NiTi shape memory alloy. Scanning electron microscope(SEM) observations indicate that surface groov... Niobium ion implantation is found to significantly decrease the friction coefficient and improve wear resistance of NiTi shape memory alloy. Scanning electron microscope(SEM) observations indicate that surface grooves formed on NiTi during the mechanical polishing are removed after Nb ion implantation. Dry friction tests show that Nb implanted NiTi samples exhibit a lower friction coefficient, narrower wear tracks, fewer wear debris generated, 46 %-62 % reduction in wear width, and29 %-49 % reduction in wear depth compared with the untreated NiTi. Wear resistance is related to the incident parameters, and the Nb implanted NiTi with the incident dose of 2.5 9 1017ionsácm-2, and incident current of2 mA behaves the best wear performance. The lubricating of Nb2O5, good oxidation resistance of Nb in NiTi, and increased micro-hardness of NiTi are responsible for the enhanced wear resistance. 展开更多
关键词 niti NB Ion implantation Nano-film WEAR
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NiTi形状记忆合金表面氧化膜的成分和结构 被引量:3
3
作者 杨贤金 何菲 +1 位作者 朱胜利 崔振铎 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 2002年第2期7-10,共4页
用AES和XPS研究了NiTi合金表面氧化膜的成分和结构。结果表明 ,NiTi合金表面主要元素有C、O、Ti、Ni等 ;氧化膜的最外层由TiO2 和TiO及少量的Ni组成 ,TiO和TiO2 的相对含量分别为 30 .32 % ,6 9.6 8% ;表面氧化膜下存在一层富Ni层。随... 用AES和XPS研究了NiTi合金表面氧化膜的成分和结构。结果表明 ,NiTi合金表面主要元素有C、O、Ti、Ni等 ;氧化膜的最外层由TiO2 和TiO及少量的Ni组成 ,TiO和TiO2 的相对含量分别为 30 .32 % ,6 9.6 8% ;表面氧化膜下存在一层富Ni层。随表面距离的增加 ,TiO2 和TiO的含量逐渐减少 ,Ti的含量增加 。 展开更多
关键词 形状记忆合金 表面氧化膜 niti合金 氧化膜 XPS AES 镍钛合金
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NiTi薄膜残余应力测试方法的探讨 被引量:4
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作者 周伟敏 周平南 吴廷斌 《实验室研究与探索》 CAS 2007年第1期16-18,共3页
介绍了适用薄膜残余应力测量的弯曲法和X射线掠射法,重点介绍了一种新型测量薄膜残余应力的方法—纳米压痕法,并采用非球形压头纳米压痕法测量了NiTi薄膜的残余应力,对薄膜残余应力的测量进行了有益的探讨和尝试,结果表明纳米压痕技术... 介绍了适用薄膜残余应力测量的弯曲法和X射线掠射法,重点介绍了一种新型测量薄膜残余应力的方法—纳米压痕法,并采用非球形压头纳米压痕法测量了NiTi薄膜的残余应力,对薄膜残余应力的测量进行了有益的探讨和尝试,结果表明纳米压痕技术可作为定性测量薄膜残余应力的有效手段。 展开更多
关键词 残余应力 niti 薄膜
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NiTi形状记忆合金薄膜中的相变 被引量:2
5
作者 谢致薇 王国庆 蒙继龙 《广东工业大学学报》 CAS 2001年第3期57-62,共6页
NiNi形状记忆合金薄膜是从块体状形状记忆合金中发展起来的一种新型功能薄膜材料 ,它具有不完全类同于块体状形状记忆合金的相变行为与记忆效应 本文综述了薄膜制备条件、化学成份、热处理工艺及循环条件对这种薄膜的组织结构 ,尤其是... NiNi形状记忆合金薄膜是从块体状形状记忆合金中发展起来的一种新型功能薄膜材料 ,它具有不完全类同于块体状形状记忆合金的相变行为与记忆效应 本文综述了薄膜制备条件、化学成份、热处理工艺及循环条件对这种薄膜的组织结构 ,尤其是主体相变行为和脱溶分解行为的影响 .表明上述因素的影响相当复杂 。 展开更多
关键词 形状记忆合金薄膜 niti薄膜 马氏体相变 脱溶分解 镍钛薄膜 形状记忆效应
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ZnO纳米颗粒掺杂对镍钛合金表面微弧氧化膜层形貌及性能的影响
6
作者 李红梅 孟建兵 +4 位作者 于浩洋 董小娟 周海安 战胜杰 唐友泉 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第13期185-191,共7页
针对镍钛合金在体内复杂生理环境的作用下受到腐蚀而释放大量镍离子的问题,向以NaAlO_(2)、C_(10)H_(14)N_(2)Na_(2)O_(8)、Na_(2)HPO_(4)·12H_(2)O为主要成分的电解液中添加ZnO纳米颗粒,通过微弧氧化技术在镍钛合金表面制备耐腐... 针对镍钛合金在体内复杂生理环境的作用下受到腐蚀而释放大量镍离子的问题,向以NaAlO_(2)、C_(10)H_(14)N_(2)Na_(2)O_(8)、Na_(2)HPO_(4)·12H_(2)O为主要成分的电解液中添加ZnO纳米颗粒,通过微弧氧化技术在镍钛合金表面制备耐腐蚀陶瓷氧化膜层。采用帕累托法则和正态分布曲线分析ZnO纳米颗粒对氧化膜层孔隙率和孔隙尺寸的作用,通过SEM、EDS、电化学工作站以及水滴接触角来研究颗粒掺杂对氧化膜层微观形貌、化学组分、耐腐蚀性及润湿性能的影响。结果表明:颗粒掺杂后的氧化膜层更加平整致密,孔隙率下降65.3%,孔径平均值从0.518μm降至0.321μm;随着ZnO纳米颗粒的加入,复合膜层的O、Al、Zn含量增加,Ni含量下降,阻抗模值上升,动电位极化曲线明显地向右上方偏移,自腐蚀电位上升32.4%,而电流密度下降一个数量级。 展开更多
关键词 镍钛合金 微弧氧化 ZnO颗粒掺杂 膜层形貌 耐蚀性能
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NiTi合金激光熔凝处理及其生物腐蚀性能研究 被引量:1
7
作者 仇安 陈慧 +3 位作者 宋婕 程学进 丁红燕 周广宏 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期364-371,420,共9页
目的通过对NiTi合金表面进行激光熔凝处理,从而提高Ni Ti合金的耐腐蚀性能。方法利用紫外激光器对NiTi合金进行表面熔凝处理,借助扫描电子显微镜(SEM)、光学显微镜(OM)、能量色散X射线光谱仪(EDX)和X射线衍射仪(XRD)等技术手段,研究了... 目的通过对NiTi合金表面进行激光熔凝处理,从而提高Ni Ti合金的耐腐蚀性能。方法利用紫外激光器对NiTi合金进行表面熔凝处理,借助扫描电子显微镜(SEM)、光学显微镜(OM)、能量色散X射线光谱仪(EDX)和X射线衍射仪(XRD)等技术手段,研究了激光熔凝处理前后Ni Ti合金的表面显微组织、成分和相结构。测试了激光熔凝处理前后NiTi合金表面与模拟体液(SBF)的接触角、熔凝层的显微硬度等表面性能。通过全浸腐蚀试验和电化学测试,研究了熔凝层在SBF溶液中的生物腐蚀性能,并分析了腐蚀机理。结果NiTi合金经过激光熔凝处理后,在合金的表层形成了厚度为90~150μm的熔凝层,熔凝层主要由TiO_(2)、β相以及少量的Ti O相组成。合金表面的平均显微硬度提高了153~279HV,合金的表面接触角增大,由亲水性转为疏水性。相较于未处理的样品,熔凝处理后的样品在SBF溶液中的腐蚀电位分别正移了435 mV和413 mV,腐蚀电流密度分别下降了83%、62%左右。熔凝处理后的样品在SBF溶液浸泡168 h后,SBF溶液中的Ni2+浓度下降了约1/3。结论以适当的激光加工参数对NiTi合金进行激光熔凝处理,可在NiTi合金表面形成致密的氧化膜,这层氧化膜和熔凝层可以有效地抑制NiTi合金在SBF溶液中的点腐蚀行为。 展开更多
关键词 niti合金 显微组织 激光熔凝 熔凝层 生物腐蚀 氧化膜
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Tribological performance of hydrogenated diamond-like carbon coating deposited on superelastic 60NiTi alloy for aviation selflubricating spherical plain bearings 被引量:3
8
作者 Yefei ZHOU Zhihao CHEN +3 位作者 Zhonghui HU Lei LI Qingxiang YANG Xiaolei XING 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第12期309-320,共12页
It is imperative to develop a novel matching of metallic substrate and self-lubricating coating for aircraft spherical plain bearing in a wide range of service conditions.As a new type of superelastic material,60NiTi ... It is imperative to develop a novel matching of metallic substrate and self-lubricating coating for aircraft spherical plain bearing in a wide range of service conditions.As a new type of superelastic material,60NiTi alloy meets the performance requirements of aerospace bearing materials,but exhibits poor tribological performance,especially under the conditions of dry sliding friction.A Hydrogenated Diamond-Like Carbon(H-DLC)coating was deposited on the 60NiTi alloy to improve its tribological performance.The microstructure and mechanical behavior of the 60NiTi alloy and its H-DLC coating were explored.Results show that improvement of friction and wear performance of the H-DLC coating deposited on the 60NiTi substrate is mainly achieved by graphitization at the friction interface and the transfer film produced on the counterpart ball.The increased friction load leads to intensification of graphitization at the friction interface and formation of continuous and compact transfer film on the surface of the counterpart ball. 展开更多
关键词 60niti Diamond-Like Carbon(DLC)coating GRAPHITIZATION Transfer film TRIBOLOGY
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NiTi非晶薄膜的径向分布函数及结构分析
9
作者 展西国 单连君 +1 位作者 姜训勇 张建 《理化检验(物理分册)》 CAS 2008年第5期223-225,共3页
径向分布函数(RDF)是描述非晶态材料结构的重要工具,一般是通过对衍射强度的解析计算得到的。RAD程序是根据非晶材料X射线衍射数据计算其径向分布函数的集成程序。介绍了该程序的结构和应用方法,并采用RAD程序计算了采用磁控溅射法制备... 径向分布函数(RDF)是描述非晶态材料结构的重要工具,一般是通过对衍射强度的解析计算得到的。RAD程序是根据非晶材料X射线衍射数据计算其径向分布函数的集成程序。介绍了该程序的结构和应用方法,并采用RAD程序计算了采用磁控溅射法制备不同成分NiTi合金的径向分布函数,利用径向分布函数计算了非晶微结构参数。结果表明非晶薄膜中钛含量不同影响了非晶微结构参数。 展开更多
关键词 非晶薄膜 niti 径向分布函数 软件
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富钛的镍钛形状记忆薄膜的相变行为及影响因素 被引量:1
10
作者 郭亮 漆璇 +1 位作者 江伯鸿 戚震中 《包钢科技》 2000年第1期62-65,共4页
本文研究射频磁控溅射镍钛形状记忆薄膜相交行为和性能。 在一定化学成分下,晶化退火温度对富钛薄膜的相变过程及相变温度有很大影响。富钛薄膜的相变温度一般较高,马氏体相变温度在室温之上。在富钛薄膜中有可能出现双马氏体峰。 富... 本文研究射频磁控溅射镍钛形状记忆薄膜相交行为和性能。 在一定化学成分下,晶化退火温度对富钛薄膜的相变过程及相变温度有很大影响。富钛薄膜的相变温度一般较高,马氏体相变温度在室温之上。在富钛薄膜中有可能出现双马氏体峰。 富钛薄膜在循环或者时效时。相交特性和结构显示了良好的稳定性。 研究结果表明,富钛的镍钛薄膜适当控制成份和热处理条件可具有适当的相变温度和较小滞后并且具有良好的形状记忆效应;可以得到只发生R相变及道相变的富钛薄膜、其相变温度滞后只有2℃左右,很适合用来制作徽机械驱动器。 展开更多
关键词 镍钛合金薄膜 形状记忆效应 晶化 马氏体相变
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NiTi合金薄膜生长初期的实验研究
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作者 朱祎国 毛文 潘茜 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期929-932,共4页
针对制备NiTi合金薄膜中原子个数比难于控制的问题,探讨了一种工艺方法制备薄膜.该工艺运用射频磁控溅射法,采用倾斜的固定的纯Ni和纯Ti的单质靶材同时溅射,同时基底自转的方法,以保证整个薄膜在制备过程中Ni原子、Ti原子在基底上均匀分... 针对制备NiTi合金薄膜中原子个数比难于控制的问题,探讨了一种工艺方法制备薄膜.该工艺运用射频磁控溅射法,采用倾斜的固定的纯Ni和纯Ti的单质靶材同时溅射,同时基底自转的方法,以保证整个薄膜在制备过程中Ni原子、Ti原子在基底上均匀分布,并可以很好的控制各原子的溅射功率.研究不同基底温度和不同溅射功率下制备出的薄膜成分及表面形貌的变化.得到了基底温度和溅射功率比值对成分及薄膜成岛方式的影响规律.实验表明:随着基底温度的升高,薄膜中岛的尺寸增加,数量减少;Ti靶与Ni靶材功率比值为3.7时,制备出的薄膜最接近等原子比. 展开更多
关键词 niti合金 薄膜 基底 形貌
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Corrosion and passive film characteristics of 3D-printed NiTi shape memory alloys in artificial saliva
12
作者 Ming Liu Jia-Ning Zhu +3 位作者 V.A.Popovich E.Borisov J.M.C.Mol Y.Gonzalez-Garcia 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第9期3114-3129,共16页
Electrochemical tests and surface analysis were applied to study the corrosion behavior and passive film characteristics of three-dimensional-printed NiTi shape memory alloys fabricated by laser-powder bed fusion(LPBF... Electrochemical tests and surface analysis were applied to study the corrosion behavior and passive film characteristics of three-dimensional-printed NiTi shape memory alloys fabricated by laser-powder bed fusion(LPBF) in artificial saliva at 37.C. The passivity of L-PBF NiTi shows to be influenced by the process parameters and resulting morphological and physicochemical surface properties. The results show that the defects at the surface of L-PBF Ni Ti can promote the passivation rate in the early stages of exposure but a slowly formed passive film shows the best corrosion protection. The thickness of the passive film is positively correlated with its corrosion protective performance. The L-PBF NiTi alloy prepared at a linear energy density of 0.2 J·m^(-1) and volumetric energy density of 56 J·mm^(-3) shows the least defects and best corrosion protection. An outer Ti-rich and inner Ni-rich dense passive film could be also obtained showing higher corrosion resistance. 展开更多
关键词 niti Laser-powder bed fusion(L-PBF) Passive film Corrosion resistance Artificial saliva
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Enhanced micro/nano-tribological performance in partially crystallized 60NiTi film
13
作者 Wanjun HE Qunfeng ZENG 《Friction》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第6期1635-1647,共13页
The microstructure,mechanical and micro/nano-tribological properties of the 60NiTi film annealed at different temperature were investigated.The results reveal that annealing as-deposited 60NiTi film at 300,375,and 600... The microstructure,mechanical and micro/nano-tribological properties of the 60NiTi film annealed at different temperature were investigated.The results reveal that annealing as-deposited 60NiTi film at 300,375,and 600℃ for 1 h leads to structural relaxation,partial crystallization and full crystallization,respectively.Compared with the structurally relaxed structure,the partially crystallized structure exhibits increased hardness but decreased elastic modulus.This is because that the elastic modulus is reduced by Voigt model while the hardness is improved by composite effect.Due to the highest hardness and ratio of hardness to elastic modulus(H/E),the partially crystallized 60NiTi film has the lowest penetration depth and residual depth(i.e.,groove depth).Besides,the results also reveal that ductile plowing is the dominant wear mechanism for all the annealed 60NiTi films.Under the condition of the ductile plowing,coefficient of friction and wear resistance are related to penetration depth and residual depth,respectively.Therefore,the partially crystallized 60NiTi film shows the best tribological performance at the micro/nano-scale.The current work not only highlights the important roles of hardness and H/E in improving the micro/nano-tribological properties but also concludes an efficient and simple method for simultaneously increasing hardness and H/E. 展开更多
关键词 60niti film partial crystallization micro/nano-friction HARDNESS ratio of hardness to elastic modulus
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MEMS微齿型尺蠖驱动器的研究进展
14
作者 张兆成 胡泓 《微特电机》 北大核心 2008年第10期55-57,60,共4页
全面介绍了MEMS微齿型尺蠖驱动器在国外的最新研究进展及应用,该驱动器具有大输出力和高频大功率密度的特点,是高性能精密直线驱动器的一个重要发展方向。
关键词 尺蠖驱动器 MEMS微齿 镍钛合金层
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化学修饰对NiTi形状记忆合金氧化膜的影响 被引量:9
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作者 杨贤金 何菲 +2 位作者 朱胜利 崔振铎 姚康德 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期169-171,共3页
用X光电子能谱 (XPS)研究了NiTi形状记忆合金经酸、碱处理后表面氧化膜成分和结构的变化。结果表明 ,未经处理的NiTi合金表面最外层氧化膜主要由TiO2 、TiO和少量的Ni组成 ,酸、碱处理后 ,最外层氧化膜由TiO2 、Ni2 O3 组成 ,但经碱处理... 用X光电子能谱 (XPS)研究了NiTi形状记忆合金经酸、碱处理后表面氧化膜成分和结构的变化。结果表明 ,未经处理的NiTi合金表面最外层氧化膜主要由TiO2 、TiO和少量的Ni组成 ,酸、碱处理后 ,最外层氧化膜由TiO2 、Ni2 O3 组成 ,但经碱处理后 。 展开更多
关键词 niti形状记忆合金 化学修饰 XPS 氧化膜
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医用NiTi合金表面溶胶-凝胶法制备TiO_2-SiO_2薄膜 被引量:14
16
作者 刘敬肖 杨大智 蔡英骥 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期75-80,共6页
采用溶胶-凝胶法在NiTi形状记忆合金表面制备了TiO2-SiO2复合薄膜,在提高医用NiTi合金的抗腐蚀性方面,收到了显著的效果.运用电化学方法对不同组成的TiO2-SiO2薄膜在模拟体液中的腐蚀行为进行了研究,结... 采用溶胶-凝胶法在NiTi形状记忆合金表面制备了TiO2-SiO2复合薄膜,在提高医用NiTi合金的抗腐蚀性方面,收到了显著的效果.运用电化学方法对不同组成的TiO2-SiO2薄膜在模拟体液中的腐蚀行为进行了研究,结果表明,随薄膜中 Ti/Si比的增加,TiO2-SiO2薄膜的抗腐蚀性增强.划痕试验表明 TiO2-SiO2(Ti/Si=4:1)膜与NiTi合金基体具有较高的界面结合强度.用原子力显微镜(AFM)对TiO2-SiO2薄膜的表面形貌及表面粗糙度进行观察和分析,解释并讨论了TiO2-SiO2薄膜的配方组成与其抗腐蚀性的关系,SiO2含量较少时,薄膜结构致密,膜层均匀平滑,且膜基结合力好,作为医用NiTi合金的表面保护层,可以使其耐腐蚀性有显著提高. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 TiO2-SiO2薄膜 niti合金 二氧化钛
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镍钛合金的高级氧化法表面改性及其血液相容性研究 被引量:13
17
作者 胡涛 储成林 +6 位作者 孙卫斌 王娟 周静艳 董寅生 浦跃朴 林萍华 朱剑豪 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1074-1077,共4页
通过高级氧化法对NiTi形状记忆合金进行表面改性,SEM和TF-XRD分析证实,羟自由基(·OH)氧化后的NiTi形状记忆合金表面生成了金红石和锐钛矿结构的二氧化钛薄膜。通过测定动态凝血时间、溶血率和研究血小板黏附行为等方法进行了血液... 通过高级氧化法对NiTi形状记忆合金进行表面改性,SEM和TF-XRD分析证实,羟自由基(·OH)氧化后的NiTi形状记忆合金表面生成了金红石和锐钛矿结构的二氧化钛薄膜。通过测定动态凝血时间、溶血率和研究血小板黏附行为等方法进行了血液相容性评估。结果表明,经高级氧化法表面改性后的NiTi形状记忆合金血液相容性获得了明显的改善。 展开更多
关键词 高级氧化 羟自由基(·OH) niti形状记忆合金 二氧化钛薄膜 血液相容性
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热处理和热循环对Ni-49.12%Ti溅射膜相变点和组织结构的影响 被引量:13
18
作者 邱平善 李丹 +2 位作者 郭立伟 黄渭馨 王桂松 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期553-557,共5页
探讨了热处理和热循环对空心阴极离子镀 (HCD)法在玻璃基板上制备的Ni 4 9.12 %Ti形状记忆合金薄膜的影响。结果表明 ,由于镀膜时基板温度较高 ,所得的膜已部分晶化 ,其组织为母相组织。经热处理后 ,其组织发生一系列变化。随加热温度... 探讨了热处理和热循环对空心阴极离子镀 (HCD)法在玻璃基板上制备的Ni 4 9.12 %Ti形状记忆合金薄膜的影响。结果表明 ,由于镀膜时基板温度较高 ,所得的膜已部分晶化 ,其组织为母相组织。经热处理后 ,其组织发生一系列变化。随加热温度的升高和保温时间的延长 ,其晶化程度变好 ,晶粒变粗大 ,并伴随产生R相、马氏体相和Ni3Ti,同时其相变温度也随之有所提高 ,但是当加热温度过高和保温时间过长 ,样品中各相的量减少 ,其衍射强度降低。薄膜经热循环后 ,其相变温度也发生变化。随着热循环次数增加 ,As 和Af 点逐渐升高 ,Ms 点有所降低 ,tR 基本保持不变。还发现薄膜经热处理后 。 展开更多
关键词 形状记忆合金 镍钛薄膜 热处理 热循环 相变温度 组织
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NiTi合金基TiN薄膜的血液相容性和耐腐蚀性研究 被引量:10
19
作者 李波 李小侠 +1 位作者 王天民 程峰 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期857-861,共5页
采用电弧离子镀法在NiTi形状记忆合金表面制备了TiN薄膜,利用X射线衍射、扫描电子显微镜和原子力显微镜研究了TiN薄膜的相组成及表面特性;在生物体外,研究比较了镀膜和未镀膜的NiTi合金的血液相容性和耐腐蚀性。结果表明:TiN薄膜提高了N... 采用电弧离子镀法在NiTi形状记忆合金表面制备了TiN薄膜,利用X射线衍射、扫描电子显微镜和原子力显微镜研究了TiN薄膜的相组成及表面特性;在生物体外,研究比较了镀膜和未镀膜的NiTi合金的血液相容性和耐腐蚀性。结果表明:TiN薄膜提高了NiTi合金的血液相容性,并使Ni离子的释放率约降低了1个数量级,有效地提高了NiTi合金的耐腐蚀性。薄膜越厚性能提高的效果越显著。 展开更多
关键词 niti形状记忆合金 TIN薄膜 血液相容性 耐腐蚀性
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新型的形状记忆合金/硅薄膜微驱动器 被引量:7
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作者 徐东 蔡炳初 +1 位作者 丁桂甫 王莉 《微细加工技术》 1999年第4期51-55,共5页
介绍了一种用硅微加工技术制作的NiTi/Si 薄膜结构的双向微驱动器。它利用NiTi 形状记忆合金薄膜(SMA) 大的相变回复应力和Si 衬底膜的反偏置力产生有一定位移量的双向运动。对NiTi 薄膜进行合理的图形化后使得... 介绍了一种用硅微加工技术制作的NiTi/Si 薄膜结构的双向微驱动器。它利用NiTi 形状记忆合金薄膜(SMA) 大的相变回复应力和Si 衬底膜的反偏置力产生有一定位移量的双向运动。对NiTi 薄膜进行合理的图形化后使得驱动器位移量增大,双向效应显著,响应速度提高。同时图形化后的NiTi 膜也是加热电阻,使驱动结构简单,所需功率减少。驱动器实际驱动面积为3 ×3m m2 厚度为20μm 。可产生的最大位移为50μm ,最高驱动频率可达100Hz。驱动功率可减小到200m W。经过1000 万次振动后,驱动膜无开裂,性能正常。它已被成功的应用于压缩型微泵,该泵最大流量达340μL/min 。 展开更多
关键词 薄膜 形状记忆合金 微驱动器 微机电系统
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