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多层薄膜沉积的应力仿真分析 被引量:8
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作者 李长安 杨明冬 +1 位作者 全本庆 关卫林 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第4期404-408,共5页
提出了一种薄膜本征应力的模拟方法,数值仿真分析了多层薄膜沉积过程中的热应力和本征应力。通过引入本征应力系数,并借助现有的热应力有限元分析程序,模拟了薄膜的本征应力,并从理论上证明了该方法的合理性。采用模型重构-应力初始化... 提出了一种薄膜本征应力的模拟方法,数值仿真分析了多层薄膜沉积过程中的热应力和本征应力。通过引入本征应力系数,并借助现有的热应力有限元分析程序,模拟了薄膜的本征应力,并从理论上证明了该方法的合理性。采用模型重构-应力初始化的方法模拟了材料增长,建立了多层薄膜应力分析模型。工程实例分析结果表明,采用该方法和流程可以方便地模拟出多层薄膜在每个沉积阶段的本征应力和热应力。 展开更多
关键词 薄膜 膜应力 有限元 材料增长
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Recent progress in GeSn growth and GeSn-based photonic devices 被引量:3
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作者 Jun Zheng Zhi Liu +4 位作者 Chunlai Xue Chuanbo Li Yuhua Zuo Buwen Cheng Qiming Wang 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2018年第6期76-81,共6页
The GeSn binary alloy is a new group IV material that exhibits a direct bandgap when the Sn content ex- ceeds 6%. It shows great potential for laser use in optoelectronic integration circuits (OEIC) on account of it... The GeSn binary alloy is a new group IV material that exhibits a direct bandgap when the Sn content ex- ceeds 6%. It shows great potential for laser use in optoelectronic integration circuits (OEIC) on account of its low light emission efficiency arising from the indirect bandgap characteristics of Si and Ge. The bandgap of GeSn can be tuned from 0.6 to 0 eV by varying the Sn content, thus making this alloy suitable for use in near-infrared and mid-infrared detectors. In this paper, the growth of the GeSn alloy is first reviewed. Subsequently, GeSn photode- tectors, light emitting diodes, and lasers are discussed. The GeSn alloy presents a promising pathway for the mono- lithic integration of Si photonic circuits by the complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) technology. 展开更多
关键词 GeSn material growth Si photonics optoelectronic integration
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基于AlN的体声波滤波器材料、器件与应用研究进展 被引量:4
3
作者 欧阳佩东 衣新燕 +2 位作者 罗添友 王文樑 李国强 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第9期1691-1702,共12页
在5G通信时代,体声波(BAW)滤波器件成为实现高性能射频(RF)滤波的有效解决方案。在当前BAW器件发展最成熟的薄膜体声波谐振器(FBAR)技术和专利被少数几家公司持有的大环境下,对压电薄膜生长、器件的制备工艺等方面进行突破,形成独有的BA... 在5G通信时代,体声波(BAW)滤波器件成为实现高性能射频(RF)滤波的有效解决方案。在当前BAW器件发展最成熟的薄膜体声波谐振器(FBAR)技术和专利被少数几家公司持有的大环境下,对压电薄膜生长、器件的制备工艺等方面进行突破,形成独有的BAW器件技术路线显得尤为重要。本文综述了AlN薄膜的生长、AlN材料在BAW滤波器件的发展、基于AlN的BAW器件的制备及其应用。在国内研究者的努力下,基于单晶AlN的体声波谐振器(SABAR)器件,通过在材料生长方法及制备工艺上的独立自主创新,不仅使BAW滤波器件的性能得到了进一步提升,也给受到国外掣肘的国内射频滤波行业带来了一条摆脱国外“卡脖子”问题的新路线。 展开更多
关键词 ALN薄膜 体声波滤波器 材料生长 设备制造 单晶AlN的体声波谐振器
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AlGaN材料的MOCVD生长研究 被引量:1
4
作者 赵德刚 杨辉 +2 位作者 梁骏吾 李向阳 龚海梅 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期873-876,共4页
文章研究了A lGaN材料的MOCVD生长机制。在位监控曲线表明,A lGaN材料生长过程是由三维生长逐渐过渡到二维生长,由于A l原子表面迁移率太小,随着TMA l流量的增加,需要更长的时间才能出现二维生长,材料质量也随着A l组分的增加而下降,A l... 文章研究了A lGaN材料的MOCVD生长机制。在位监控曲线表明,A lGaN材料生长过程是由三维生长逐渐过渡到二维生长,由于A l原子表面迁移率太小,随着TMA l流量的增加,需要更长的时间才能出现二维生长,材料质量也随着A l组分的增加而下降,A lGaN的表面形貌也变差。随着TMA l流量的增加,A lGaN材料的生长速率反而下降,这是由于A l原子阻止了Ga原子参与材料生长。实验还发现,由于TMA l与NH3之间存在强烈的寄生反应,A lGaN材料中的A l组分远小于气相中的A l组分。文中简单探讨了提高A lGaN材料质量的生长方法。 展开更多
关键词 ALGAN MOCVD 材料生长 寄生反应
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金刚石电子材料生长的研究进展 被引量:1
5
作者 袁明文 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第9期641-650,680,共11页
简述了金刚石兼具物理的和化学的优良性质,尤其是金刚石的半导体电气性质,即宽带隙、高击穿电场、高载流子迁移率和高热导率,成为固态功率器件最有前途的半导体材料之一。介绍了金刚石基的电子器件及其材料生长的研究进展,分析了金刚石... 简述了金刚石兼具物理的和化学的优良性质,尤其是金刚石的半导体电气性质,即宽带隙、高击穿电场、高载流子迁移率和高热导率,成为固态功率器件最有前途的半导体材料之一。介绍了金刚石基的电子器件及其材料生长的研究进展,分析了金刚石膜的导电机理以及材料生长的新技术。重点介绍了采用包括微波等离子体化学汽相淀积(MPCVD)等方法制备金刚石膜、本征单晶生长、硼掺杂等技术。目前在直径为100~200 mm的硅衬底上,可以淀积均匀的超纳米结晶金刚石(UNCD)膜。此外,对金刚石电子学和光电子学的未来进行了展望。 展开更多
关键词 材料生长 金刚石膜 化学汽相沉积(CVD) 超纳米结晶金刚石(UNCD) 宽带隙 表征
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AlInGaN/GaN异质结构材料生长及特性研究
6
作者 贾德宇 《河南科技学院学报》 2009年第3期45-47,共3页
AlInGaN四元合金具有独立控制禁带宽度和晶格常数的特性,利用这一特性可以实现性能更为出色的异质结构材料.利用MOCVD技术生长获得了AlInGaN/GaN异质结构,通过汞探针C-V测量和Hall效应测量,发现其电学特性明显优于常规AlGaN/GaN异质结构... AlInGaN四元合金具有独立控制禁带宽度和晶格常数的特性,利用这一特性可以实现性能更为出色的异质结构材料.利用MOCVD技术生长获得了AlInGaN/GaN异质结构,通过汞探针C-V测量和Hall效应测量,发现其电学特性明显优于常规AlGaN/GaN异质结构,通过XDR和AFM分析,发现其势垒层结晶质量十分出色,但表面形貌与常规异质结构相比还存在一定差距. 展开更多
关键词 AlInGaN/GaN 异质结构 材料生长
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适于PMOSFET的局部双轴压应变Si_(0.8)Ge_(0.2)的生长
7
作者 卢盛辉 杨洪东 +2 位作者 李竞春 谭开州 张静 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第16期1-4,共4页
通过控制局部双轴压应变SiGe材料的缺陷、组分与厚度,设置了多晶Si侧壁与Si缓冲层的特别几何结构,采用固态源分子束外延MBE设备生长了适于PMOSFET器件的局部双轴压应变Si0.8Ge0.2材料。经SEM、AFM、XRD测试分析,该材料表面粗糙度达0.45n... 通过控制局部双轴压应变SiGe材料的缺陷、组分与厚度,设置了多晶Si侧壁与Si缓冲层的特别几何结构,采用固态源分子束外延MBE设备生长了适于PMOSFET器件的局部双轴压应变Si0.8Ge0.2材料。经SEM、AFM、XRD测试分析,该材料表面粗糙度达0.45nm;Si1-xGex薄膜中Ge组分x=0.188,厚度为37.8nm,与设计值较接近;穿透位错主要由侧壁界面产生,集中在窗口边缘,密度为(0.3~1.2)×103cm-2;在表面未发现十字交叉网格,且Si0.8Ge0.2衍射峰两侧干涉条纹清晰,说明Si0.8Ge0.2与Si缓冲层界面失配位错已被有效抑制。测试分析结果表明,生长的局部双轴压应变SiGe材料质量较高,可用于高性能SiGe PMOSFET的制备与工艺参考。 展开更多
关键词 局部双轴应变 应变锗硅 特别几何结构 材料生长
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复合型小麦种衣剂对小麦幼苗生长及某些生理特性的影响 被引量:4
8
作者 梁颖 李邦秀 王三根 《种子》 CSCD 北大核心 2002年第2期16-17,共2页
采用自制复合型小麦种衣剂对小麦种子进行包衣处理 ,并研究了其对小麦幼苗生长及某些生理特性的影响。结果表明 :该种衣剂不影响小麦的出苗 ,并能提高小麦种子的出苗率和α-淀粉酶活性 ,降低幼苗株高 ,增加干物重、根冠比及幼苗健壮度 ... 采用自制复合型小麦种衣剂对小麦种子进行包衣处理 ,并研究了其对小麦幼苗生长及某些生理特性的影响。结果表明 :该种衣剂不影响小麦的出苗 ,并能提高小麦种子的出苗率和α-淀粉酶活性 ,降低幼苗株高 ,增加干物重、根冠比及幼苗健壮度 ,提高幼苗叶绿素含量、光合速率、根糸活力和 SOD、CAT、POD的活性 ,对小麦种子萌发。 展开更多
关键词 幼苗 小麦 复合种衣剂 生长 生理特性
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可注射骨修复材料研究进展 被引量:3
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作者 李志宏 黄姝杰 +2 位作者 关静 武继民 张西正 《中国修复重建外科杂志》 CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1382-1387,共6页
目的对可注射骨修复材料的基础研究及临床应用现状和前景进行综述。方法查阅近年国内外各种可注射骨修复材料的基础研究和临床应用相关文献,并进行回顾及综合分析。结果可注射骨修复材料通过非侵害和微创方式修复骨缺损,具有组织损伤小... 目的对可注射骨修复材料的基础研究及临床应用现状和前景进行综述。方法查阅近年国内外各种可注射骨修复材料的基础研究和临床应用相关文献,并进行回顾及综合分析。结果可注射骨修复材料通过非侵害和微创方式修复骨缺损,具有组织损伤小、操作简便、手术并发症少等优点,有良好的应用前景,受到医学界和材料学界的高度重视,但也存在一些缺陷和不足。结论可注射骨修复材料是一种具有潜力的治疗骨缺损的方法。 展开更多
关键词 可注射骨修复材料 生长因子 骨缺损 修复
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印制板内层定位控制和PerfecTest软件
10
作者 欧家忠 《印制电路信息》 2003年第2期33-36,共4页
本文探讨了影响多层印制电路板中90%以上的定位问题的五个工艺变量,介绍如何使用PerfecTest软件计算位 置的极坐标,作材料膨胀方面的修正等。
关键词 印制电路板 定位控制 PerfecTest软件 材料膨胀 工艺变量
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蚕体和蛹粉代料培养基上的蛹虫草生长状况与品质检测 被引量:12
11
作者 申鸿 张龙 +2 位作者 王兵 徐汉福 郭涛 《蚕业科学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期130-134,共5页
在实验室条件下以优选的蛹虫草菌株YCC-XD-2在家蚕蛹、蛾培养基和蛹粉代料培养基上培育蛹虫草,比较不同培养基上的蛹虫草的生长状况和虫草素含量,探究高产优质蛹虫草的培养方式。蛹虫草菌种在蚕体和蛹粉代料培养基上均生长良好,其中:蚕... 在实验室条件下以优选的蛹虫草菌株YCC-XD-2在家蚕蛹、蛾培养基和蛹粉代料培养基上培育蛹虫草,比较不同培养基上的蛹虫草的生长状况和虫草素含量,探究高产优质蛹虫草的培养方式。蛹虫草菌种在蚕体和蛹粉代料培养基上均生长良好,其中:蚕体培养基以蚕蛾培养基上的蛹虫草生长较好;蛹粉代料培养基以糯米+蛹粉培养基上的蛹虫草生长较好。蚕体培养基培育蛹虫草子实体中的虫草素含量显著高于蛹粉代料培养基培育的蛹虫草,其中,蚕蛾培养基培育蛹虫草子实体中的虫草素质量比高达21.97 mg/g。在相同培养条件下,蛹虫草子实体中的虫草素含量高于菌丝体和培养基质。试验结果表明,利用家蚕蛹、蛾培养基可以生产出高品质蛹虫草。 展开更多
关键词 蛹虫草 培养基 家蚕 代料 生长 虫草素
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不同覆盖材料对苍蝇生长发育的影响 被引量:4
12
作者 王克虹 陈石 +1 位作者 孙立明 黄凯兴 《医学动物防制》 2001年第4期177-180,共4页
比较用不同覆盖材料覆盖垃圾与裸露垃圾体的苍蝇生长发育情况,发现不同的覆盖材料 对苍蝇的生长繁殖有不同的影响,塑料布覆盖对苍蝇的生长发育有明显的抑制作用。
关键词 覆盖材料 塑料布 苍蝇生长发育
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超薄层材料生长技术
13
作者 孙再吉 《半导体情报》 1998年第1期13-31,共19页
半导体超薄层材料的研究,依赖于先进的外延生长技术。本文着重该领域的MBE。MOCVD,CBE和ALE的发展现状及关键技术作一综述。
关键词 超薄层材料 外延生长 生长机理 半导体
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基于CA算法-热力学函数耦合的纳米铸造材料晶粒长大仿真分析 被引量:1
14
作者 唐妍霞 《铸造技术》 CAS 北大核心 2013年第8期961-964,共4页
以纳米材料晶粒为研究对象,在纳米晶热力学函数中引入了CA算法构建了耦合模型,利用计算机仿真系统对新型铸造材料金属Co纳米晶粒的长大过程进行模拟,确定了纳米晶组织热力学性质对材料动力学特征的影响。对新型纳米铸造材料的微观晶粒... 以纳米材料晶粒为研究对象,在纳米晶热力学函数中引入了CA算法构建了耦合模型,利用计算机仿真系统对新型铸造材料金属Co纳米晶粒的长大过程进行模拟,确定了纳米晶组织热力学性质对材料动力学特征的影响。对新型纳米铸造材料的微观晶粒长大控制研究提供了科学参考。 展开更多
关键词 CA算法 纳米铸造材料 晶粒长大
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Growth and spectral characteristics of a new promising stoichiometric laser crystal: Ca_9Yb(VO_4)_7
15
作者 吴辉 苑菲菲 +4 位作者 孙士家 黄溢声 张莉珍 林州斌 王国富 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第3期239-243,共5页
A Ca9Yb(VO4)7 crystal with dimensions of Φ23 mm×35 mm was grown successfully by Czochralski method. Its thermal conductivity was 1.06 W/(m?K) at room temperature. The absorption cross-sections at 980 nm wer... A Ca9Yb(VO4)7 crystal with dimensions of Φ23 mm×35 mm was grown successfully by Czochralski method. Its thermal conductivity was 1.06 W/(m?K) at room temperature. The absorption cross-sections at 980 nm were 1.80×10–20 cm2 and 1.28×10–20 cm2 for π- and σ- polarizations, respectively, with a full-width at half-maximum of 34 nm. The crystal had a broad emission at around 1025 nm with a full-width at half-maximum of 67 nm for π- polarization and 70 nm for σ- polarization. The emission cross-sections of the crystal were calculated by using reciprocity method and Füchtbauer-Ladenburg formula. The emission cross-sections at 1025 nm were 3.57×10–20 cm–2 and 1.91×10–20 cm–2 for π- and σ- polarization, respectively. The fluorescence lifetime was 332 μs. The results indicated that the crystal is a promising femtosecond and tunable laser material. 展开更多
关键词 laser material crystal growth spectral characteristics Ca9Yb(VO4)7 crystal rare earths
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原料纯度对KRS-5晶体红外性质的影响
16
作者 陈福泉 翟励强 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1991年第2期145-150,共6页
本文研究KRS-5晶体中各类杂质的来源及其对晶体红外性能的影响。用萃取光谱法测定晶体及其原料中的阳离子杂质,用浊度分析法测定SO_4^(2-)阴离子杂质。实验表明:KRS-5晶体中的杂质主要来自于原料,ppm级的阳、阴离子杂质对晶片的红外透... 本文研究KRS-5晶体中各类杂质的来源及其对晶体红外性能的影响。用萃取光谱法测定晶体及其原料中的阳离子杂质,用浊度分析法测定SO_4^(2-)阴离子杂质。实验表明:KRS-5晶体中的杂质主要来自于原料,ppm级的阳、阴离子杂质对晶片的红外透光性能无太明显的影响;而晶体中20ppm的SO_4^(2-)杂质产生明显的杂质吸收。晶体中Br^-/I^-的化学分析和红外性能测定表明:晶头的Br^-/I^-略低于晶尾,而红外透过率却略高于晶尾。 展开更多
关键词 KRS-5 晶体 原料 光学晶体
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液相色谱–同位素稀释质谱法测定人体生长激素
17
作者 金有训 石莲花 +1 位作者 武利庆 王晶 《化学分析计量》 CAS 2017年第5期12-15,共4页
建立了准确、快速测定痕量人体生长激素的同位素稀释质谱法。选取同位素标记脯氨酸、缬氨酸和苯丙氨酸为内标物,将内标物以重量法与待测样品准确混合,利用Kinetex C18色谱柱分离,以电喷雾三重串联四级杆质谱多反应监测模式测定,建立了... 建立了准确、快速测定痕量人体生长激素的同位素稀释质谱法。选取同位素标记脯氨酸、缬氨酸和苯丙氨酸为内标物,将内标物以重量法与待测样品准确混合,利用Kinetex C18色谱柱分离,以电喷雾三重串联四级杆质谱多反应监测模式测定,建立了人体生长激素的液相色谱–同位素稀释质谱联用定量方法。人体生长激素溶液标准物质的含量测定结果为(1.82±0.04)mg/g,相对标准偏差为0.43%(n=6)。该方法简易、实用、准确、可靠,可作为人体生长激素溶液标准物质的定值方法,并为人体生长激素的日常检测提供参考。 展开更多
关键词 人体生长激素溶液标准物质 液相色谱法 同位素稀释质谱法 定量
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晶体生长对原料纯度的要求 被引量:3
18
作者 陈福泉 潘伟健 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1990年第1期84-90,共7页
本文分析高纯材料的纯度标志的随意性缺点,提出了生产厂家必须标明生产方法和按不同的级别标出已测定的阳、阴离子杂质和基体组成。同时,根据杂质对晶体生长的影响,提出各类晶体原料应当测试分析的阳、阴离子杂质,以及某些原料基体偏离... 本文分析高纯材料的纯度标志的随意性缺点,提出了生产厂家必须标明生产方法和按不同的级别标出已测定的阳、阴离子杂质和基体组成。同时,根据杂质对晶体生长的影响,提出各类晶体原料应当测试分析的阳、阴离子杂质,以及某些原料基体偏离化学计量比组成。从而使晶体生长时能够选择恰当纯度的原料,既限制“有害杂质”浓度,又可适当放宽“无害杂质”浓度,达到降低成本,提高质量的目的。 展开更多
关键词 晶体生长 原料 纯度
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温度和不同生长调节物质对水稻种胚发芽的影响 被引量:1
19
作者 丁得亮 郭志义 +1 位作者 刘惠芬 米红霞 《天津农学院学报》 CAS 2001年第3期37-39,共3页
试验选用水稻品种中花 1 5种子 ,在不同温度处理进行发芽试验 ,并用 GA3 赤霉素 、6-BA、NAA 萘乙酸 处理水稻种子 ,研究温度和不同生长调节物质对中花 1 5发芽的影响 .正交试验结果表明 :经 1 0 mg/ L GA3浸泡处理 3 5 h后于 2 6~ ... 试验选用水稻品种中花 1 5种子 ,在不同温度处理进行发芽试验 ,并用 GA3 赤霉素 、6-BA、NAA 萘乙酸 处理水稻种子 ,研究温度和不同生长调节物质对中花 1 5发芽的影响 .正交试验结果表明 :经 1 0 mg/ L GA3浸泡处理 3 5 h后于 2 6~ 2 8℃恒温处理 5 d,对其种子发芽效果显著 ,6-BA、NAA效果次之 . 展开更多
关键词 水稻中花15 温度 生长调节物质 正交试验 发芽
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纳米稀土金属Gd的磁性及分形特征 被引量:2
20
作者 邵元智 张介立 +1 位作者 司徒祖恩 余伟坚 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 1996年第3期119-122,共4页
采用惰性气体保护蒸发凝聚技术制备出粒径为4~15nm的稀土金属Gd微粉(nmGd)。经振动样品磁强计测试,表明nmGd微粉在某一特征粒径dc时磁化率χ取得最小值。利用小角X射线散射方法分析了nmGd微粉的三维生... 采用惰性气体保护蒸发凝聚技术制备出粒径为4~15nm的稀土金属Gd微粉(nmGd)。经振动样品磁强计测试,表明nmGd微粉在某一特征粒径dc时磁化率χ取得最小值。利用小角X射线散射方法分析了nmGd微粉的三维生长分形特征,表明nmGd微粒聚集体系呈质量分形,制备气压越小则分维系数Df越小。微粒生长模型是扩散限制聚集(DLA)与扩散限制团聚聚集(DLCA)模型共存,相应这两个模型阶段的分维系数Df存在一特征粒径df。根据纳米微粒理论对nmGd微粉体系的量子尺寸效应的特征尺寸dq进行了估算,并就三种特征粒径dc。 展开更多
关键词 稀土金属 纳米材料 磁性 分形
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