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单晶SiC化学机械抛光液化学反应参数研究 被引量:6
1
作者 阎秋生 徐少平 +1 位作者 路家斌 宋涛 《机械设计与制造》 北大核心 2017年第9期98-100,104,共4页
选择影响化学机械抛光化学反应速率的参数:催化剂浓度、氧化剂浓度、抛光液的pH值、抛光液温度等进行了试验,研究了它们对基于芬顿反应的单晶SiC化学机械抛光效果的影响规律。发现只有当H_2O_2浓度高于20%、Fe_3O_4浓度高于1.25%时,增大... 选择影响化学机械抛光化学反应速率的参数:催化剂浓度、氧化剂浓度、抛光液的pH值、抛光液温度等进行了试验,研究了它们对基于芬顿反应的单晶SiC化学机械抛光效果的影响规律。发现只有当H_2O_2浓度高于20%、Fe_3O_4浓度高于1.25%时,增大H_2O_2、Fe_3O_4浓度,材料去除率才会显著越高,此时材料去除速率由化学液腐蚀速度与磨料机械去除速度共同决定;低于此范围时由磨料的机械作用决定。温度升高会加速H_2O_2分解,抑制羟基自由基·OH的生成,减缓化学腐蚀,降低材料去除率。当Fe_3O_4浓度、H_2O_2浓度、pH值、抛光液温度分别为1.25%、15%、7、41℃时,化学腐蚀与机械去除的协调性及磨料的分散性较好,表面粗糙度最低;当它们分别为5%、25%、9.3、15℃时,材料去除率最高。 展开更多
关键词 单晶碳化硅 化学机械抛光 芬顿反应 化学反应参数 材料去除率 表面粗糙度
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光纤连接器端面研磨与抛光的运动分析 被引量:1
2
作者 吕玉山 王军 +1 位作者 郑小姣 王志友 《沈阳建筑大学学报(自然科学版)》 EI CAS 2008年第2期315-318,323,共5页
目的为了获得光纤连接器端面研磨与化学机械抛光(CMP)过程中的运动状态对加工精度的影响规律.方法建立双驱动差动行星式抛光机的运动学方程,基于这个方程利用随机磨料点法对磨料切削轨迹和平均相对速度场等进行了计算机数值模拟,然后依... 目的为了获得光纤连接器端面研磨与化学机械抛光(CMP)过程中的运动状态对加工精度的影响规律.方法建立双驱动差动行星式抛光机的运动学方程,基于这个方程利用随机磨料点法对磨料切削轨迹和平均相对速度场等进行了计算机数值模拟,然后依据PRESTON方程讨论了在加工中运动参量对光纤连接器端面的平均速度分布的均匀性,以及对加工形状精度的影响.结果获得了磨料切削轨迹,平均相对速度分布等对形状精度的影响规律.结论增大系杆长度和齿环转速可以使轨迹与平均相对速度分布获得合理状态,而系杆的转速存在一个合理的参数区域. 展开更多
关键词 研磨与抛光 光纤连接器 材料的去除率 均匀性
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复杂流道构件组合放电加工技术研究 被引量:4
3
作者 宋国新 耿雪松 朱红敏 《电加工与模具》 2017年第1期56-59,68,共5页
复杂流道构件的高效、高精度加工是液体火箭发动机的核心制造技术之一,随着发动机涡轮泵功率及涡轮效率的不断提升,涡轮泵复杂流道构件的加工去除量大幅增加,同时对加工精度的要求也越来越严格。故提出了高速放电铣削粗加工与多轴联动... 复杂流道构件的高效、高精度加工是液体火箭发动机的核心制造技术之一,随着发动机涡轮泵功率及涡轮效率的不断提升,涡轮泵复杂流道构件的加工去除量大幅增加,同时对加工精度的要求也越来越严格。故提出了高速放电铣削粗加工与多轴联动电火花成形精密加工复合的加工工艺,通过对复杂流道构件的高速放电铣削加工电极损耗补偿和多轴联动电火花成形加工轨迹规划等技术的研究,实现了复杂流道构件的高效、高精度放电加工。 展开更多
关键词 复杂流道构件 放电铣削加工 电火花成形加工 大加工余量
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施振方向对超声辅助铣磨氧化锆陶瓷的影响 被引量:2
4
作者 李龙江 沈剑云 +2 位作者 陈宏堃 朱旭 徐西鹏 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2019年第22期44-51,共8页
为研究不同方向的超声振动冲击对铣磨加工氧化锆陶瓷的影响规律,基于压痕断裂力学模型,理论分析对工件施加平行和垂直于进给方向的振动时磨粒加工过程,开展不同参数下的磨削试验并对其加工后表面进行检测分析。结果表明:平行施振时工件... 为研究不同方向的超声振动冲击对铣磨加工氧化锆陶瓷的影响规律,基于压痕断裂力学模型,理论分析对工件施加平行和垂直于进给方向的振动时磨粒加工过程,开展不同参数下的磨削试验并对其加工后表面进行检测分析。结果表明:平行施振时工件受到的轴向力F z和材料去除率(MRR)较之于垂直施振大,但垂直施振方式下工件表面粗糙度Ra更小;在所研究的加工参数中,施振方向是影响工件表面粗糙度的最显著因素;另外,不同施振方式下材料主要去除方式有所差异。 展开更多
关键词 氧化锆陶瓷 超声辅助铣磨 施振方向 材料去除率(MRR) 去除材料方式
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新型光纤连接器端面研磨抛光机的运动分析 被引量:1
5
作者 王志友 吕玉山 《机械工程师》 2007年第8期38-40,共3页
设计一种新型的光纤连接器端面研磨抛光装置,建立该机构的运动学方程。从机构的运动角度出发,借助MATLAB语言,对该机构的运动轨迹进行仿真研究,找出影响此种机构的重要参数,总结出主要参数的变化对研磨盘运动的影响。研究结果证明此种... 设计一种新型的光纤连接器端面研磨抛光装置,建立该机构的运动学方程。从机构的运动角度出发,借助MATLAB语言,对该机构的运动轨迹进行仿真研究,找出影响此种机构的重要参数,总结出主要参数的变化对研磨盘运动的影响。研究结果证明此种研磨机构理论上能够较好地完成光纤连接器端面的研磨。 展开更多
关键词 光纤微透镜 研磨 运动仿真
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脆性光学材料的超声磨削实验研究 被引量:23
6
作者 杨鑫宏 韩杰才 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期65-67,共3页
分别采用超声磨削和普通磨削加工方法加工了几种脆性光学材料,研究了几种主要工艺参数对工件加工表面粗糙度的影响。结果表明,超声频率和振幅、金刚石磨料粒度、切深、工具的横向进给速度和旋转速度等工艺参数对表面粗糙度的影响较大。... 分别采用超声磨削和普通磨削加工方法加工了几种脆性光学材料,研究了几种主要工艺参数对工件加工表面粗糙度的影响。结果表明,超声频率和振幅、金刚石磨料粒度、切深、工具的横向进给速度和旋转速度等工艺参数对表面粗糙度的影响较大。通过比较发现,超声磨削方法比普通磨削方法具有更好的加工表面粗糙度,更高的材料去除率,以及更低的工具磨损量。 展开更多
关键词 脆性光学材料 超声磨削 表面粗糙度 材料去除率 磨损量
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基于正交试验的慢走丝电火花线切割加工的参数优化 被引量:22
7
作者 边留进 林子超 +1 位作者 孙方宏 郭松寿 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2013年第10期1-5,93,共6页
慢走丝电火花线切割作为一种重要的加工方式,广泛应用于高精度硬质合金模具的加工领域。材料去除率与表面粗糙度是电火花线切割加工中最重要的两项指标。通过正交试验法,研究了加工硬质合金模具时,慢走丝电火花线切割的加工参数(电流峰... 慢走丝电火花线切割作为一种重要的加工方式,广泛应用于高精度硬质合金模具的加工领域。材料去除率与表面粗糙度是电火花线切割加工中最重要的两项指标。通过正交试验法,研究了加工硬质合金模具时,慢走丝电火花线切割的加工参数(电流峰值、放电脉宽时间、脉间时间、主电源电压、伺服电压和电解质水压力)对上述两项性能指标的影响,分析了影响性能指标的主次因素,并得到了最佳的参数配置。最后,在慢走丝电火花线切割机床上验证了所得到的优化参数是可行的。 展开更多
关键词 慢走丝电火花线切割 正交试验 材料去除率 表面粗糙度 参数优化
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抛光介质对固结磨料化学机械抛光水晶的影响 被引量:22
8
作者 居志兰 朱永伟 +2 位作者 王建彬 樊吉龙 李军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期955-962,共8页
在固结磨料化学机械抛光中,工件表面与抛光介质易发生水解反应,产生软化层,而软化层厚度直接影响材料去除速率及表面质量。本文采用显微硬度计测量了不同介质条件下水晶表面的变质层厚度,并基于CP-4研磨抛光平台研究了不同抛光介质及温... 在固结磨料化学机械抛光中,工件表面与抛光介质易发生水解反应,产生软化层,而软化层厚度直接影响材料去除速率及表面质量。本文采用显微硬度计测量了不同介质条件下水晶表面的变质层厚度,并基于CP-4研磨抛光平台研究了不同抛光介质及温度对材料去除速率的影响,进而在线测量了抛光过程中声发射信号及抛光垫与工件之间摩擦系数的变化。结果表明:六偏磷酸钠的加入可促进水晶玻璃表层网络结构断裂,软化表层,软化层厚度随着浸泡时间、温度升高而增加,进而提高了水晶玻璃的去除率;而且随着温度升高,水解作用更加明显。实验显示,声发射信号及摩擦系数实时测量对抛光工艺参数的优化具有指导意义。 展开更多
关键词 抛光介质 固结磨料 化学机械抛光 软化层 显微硬度 材料去除速率
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ULSI制造中硅片化学机械抛光的运动机理 被引量:14
9
作者 苏建修 郭东明 +2 位作者 康仁科 金洙吉 李秀娟 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期606-612,共7页
从运动学角度出发,根据硅片与抛光垫的运动关系,通过分析磨粒在硅片表面的运动轨迹,揭示了抛光垫和硅片的转速和转向以及抛光头摆动参数对硅片表面材料去除率和非均匀性的影响.分析结果表明:硅片与抛光垫转速相等转向相同时可获得最佳... 从运动学角度出发,根据硅片与抛光垫的运动关系,通过分析磨粒在硅片表面的运动轨迹,揭示了抛光垫和硅片的转速和转向以及抛光头摆动参数对硅片表面材料去除率和非均匀性的影响.分析结果表明:硅片与抛光垫转速相等转向相同时可获得最佳的材料去除非均匀性及材料去除率.研究结果为设计 CMP机床,选择 CMP的运动参数和进一步理解CMP的材料去除机理提供了理论依据. 展开更多
关键词 化学机械抛光 材料去除机理 材料去除率 非均匀性 磨粒
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超声波铣削加工材料去除率的理论模型 被引量:19
10
作者 冯冬菊 赵福令 +1 位作者 徐占国 郭东明 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第13期1399-1403,共5页
超声波铣削加工适于硬脆材料复杂型腔的加工,加工中影响材料去除率的因素很多,为了优化加工参数以及更好地控制加工过程,研究了各种加工参数对材料去除率的影响规律。分析了工具的高频振动、旋转以及机床进给三种运动综合作用下超声波... 超声波铣削加工适于硬脆材料复杂型腔的加工,加工中影响材料去除率的因素很多,为了优化加工参数以及更好地控制加工过程,研究了各种加工参数对材料去除率的影响规律。分析了工具的高频振动、旋转以及机床进给三种运动综合作用下超声波铣削加工的材料去除机理,在传统超声波加工机理以及材料去除率模型的基础上,基于压痕断裂理论,建立了超声波铣削加工材料去除率理论模型。该模型可用于仿真实验研究及预测超声波铣削加工中的材料去除率。 展开更多
关键词 超声波加工 超声波铣削加工 材料去除率 理论模型
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磁流变抛光液的研制 被引量:7
11
作者 张峰 潘守甫 +4 位作者 张学军 张忠玉 郑立功 程灏波 牛海燕 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期490-491,494,共3页
磁流变抛光是近十年来新兴的一种先进光学制造技术。首先简要介绍了磁流变抛光的抛光机理。然后对在磁流变抛光中起重要作用的磁流变抛光液的组成、流变性和稳定性进行了研究。在外加磁场强度高于 3 18kA m时 ,磁流变抛光液的剪切应力大... 磁流变抛光是近十年来新兴的一种先进光学制造技术。首先简要介绍了磁流变抛光的抛光机理。然后对在磁流变抛光中起重要作用的磁流变抛光液的组成、流变性和稳定性进行了研究。在外加磁场强度高于 3 18kA m时 ,磁流变抛光液的剪切应力大于 2 0kPa ,该应力足以完成磁流变抛光。最后给出一个磁流变抛光的实例 ,证明了磁流变抛光液的实用性。实验中磁流变抛光的最大材料去除率约为 0 .2 μm s。 展开更多
关键词 磁流变抛光 磁流变抛光液 剪切应力 抛光区 材料去除率
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硅片CMP抛光工艺技术研究 被引量:17
12
作者 刘玉岭 《电子工艺技术》 2010年第5期299-302,共4页
介绍了硅片机械-化学抛光技术,重点分析了10.16 cm硅片抛光加工过程中抛光液的pH值、抛光压力和抛光垫等因素对硅片抛光去除速率及表面质量的影响。通过试验确定了硅片抛光过程中合适的工艺参数,同时对抛光过程中出现的各种缺陷进行了... 介绍了硅片机械-化学抛光技术,重点分析了10.16 cm硅片抛光加工过程中抛光液的pH值、抛光压力和抛光垫等因素对硅片抛光去除速率及表面质量的影响。通过试验确定了硅片抛光过程中合适的工艺参数,同时对抛光过程中出现的各种缺陷进行了分析总结,并提出了相应的解决方案。 展开更多
关键词 硅片 化学机械抛光 去除速率 缺陷
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液中喷气电火花加工试验研究 被引量:16
13
作者 汤传建 康小明 赵万生 《电加工与模具》 2008年第3期16-20,共5页
提出了液中喷气电火花加工方法。使用从管状电极中喷出的高速气流作为电介质,气体周围的水基工作液有助于冷却和排屑。以45钢作工件、紫铜作电极的初步工艺试验结果表明,相对于干式电火花加工,液中喷气电火花加工能获得更高的材料去除... 提出了液中喷气电火花加工方法。使用从管状电极中喷出的高速气流作为电介质,气体周围的水基工作液有助于冷却和排屑。以45钢作工件、紫铜作电极的初步工艺试验结果表明,相对于干式电火花加工,液中喷气电火花加工能获得更高的材料去除率和更好的表面质量,是一种有潜力的新型加工方法,值得进一步深入研究。 展开更多
关键词 电火花加工 液中喷气 材料去除率
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大理石的超声波加工试验研究 被引量:11
14
作者 秦勇 王霖 +2 位作者 吴春丽 张勤俭 张建华 《新技术新工艺》 北大核心 2001年第2期17-19,共3页
本文采用超声波加工技术对大理石的孔加工进行了试验研究 ,并与陶瓷材料进行了对比试验 ,研究了各种加工参数对材料去除率和加工精度的影响。试验结果表明 :材料去除率与其力学性能有关 ,在同样的加工条件下 ,材料的强度和断裂韧性越高 ... 本文采用超声波加工技术对大理石的孔加工进行了试验研究 ,并与陶瓷材料进行了对比试验 ,研究了各种加工参数对材料去除率和加工精度的影响。试验结果表明 :材料去除率与其力学性能有关 ,在同样的加工条件下 ,材料的强度和断裂韧性越高 ,其材料去除率越低 ,加工精度越高。 展开更多
关键词 超声波加工 材料去除率 大理石 石材加工 试验研究
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旋转超声波加工的试验研究 被引量:11
15
作者 轧刚 秦华伟 +1 位作者 许永娃 张裕生 《航空制造技术》 2000年第6期56-59,共4页
对旋转超声波加工硬脆材料进行了研究 ,分析了材料去除机理 ,建立了旋转超声波加工的材料去除率数学模型。
关键词 旋转超声波加工 RUM 陶瓷加工 材料去除率
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游离和固结金刚石磨料抛光手机面板玻璃的试验研究 被引量:15
16
作者 王军 李军 +2 位作者 朱永伟 林魁 李茂 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2009年第2期13-17,共5页
选取不同粒径的金刚石微粉,采用游离磨料和固结磨料两种抛光方法加工手机面板玻璃,比较其材料去除率和抛光后工件表面粗糙度。结果表明:在相同的抛光工艺参数下,磨粒粒径在游离磨料抛光中对材料去除率和抛光后表面质量作用显著,而在固... 选取不同粒径的金刚石微粉,采用游离磨料和固结磨料两种抛光方法加工手机面板玻璃,比较其材料去除率和抛光后工件表面粗糙度。结果表明:在相同的抛光工艺参数下,磨粒粒径在游离磨料抛光中对材料去除率和抛光后表面质量作用显著,而在固结磨料抛光中作用不显著;采用金刚石固结磨料抛光垫抛光能获得表面粗糙度约为Ra1.5 nm的良好表面质量,并在抛光过程中较好地实现了自修整功能。 展开更多
关键词 手机面板玻璃 固结磨料抛光 材料去除率 表面粗糙度
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影响激光抛光效果的因素分析 被引量:13
17
作者 黄加福 魏昕 +1 位作者 谢小柱 何广涛 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2008年第12期20-24,共5页
激光抛光是一种非接触式抛光方法。分析了影响激光抛光效率和抛光表面质量的因素及其影响规律,并提出激光抛光工艺参数的选择原则。激光抛光过程中,激光能量密度、激光波长、激光脉宽、激光光束入射角、激光光束扫描速度、扫描方式、工... 激光抛光是一种非接触式抛光方法。分析了影响激光抛光效率和抛光表面质量的因素及其影响规律,并提出激光抛光工艺参数的选择原则。激光抛光过程中,激光能量密度、激光波长、激光脉宽、激光光束入射角、激光光束扫描速度、扫描方式、工件材料性质和结构等因素对激光抛光效果有着重要影响。激光波长决定着材料的去除方式,从而对抛光表面质量有着较大影响;激光的能量密度与辐照时间对激光抛光效果的影响最大,而激光脉宽、激光光束扫描速度和扫描方式三个因素决定着激光的辐照时间,激光扫描速度和光束扫描方式还影响着激光辐照光斑重叠情况,从而影响激光抛光效果。 展开更多
关键词 激光加工 激光抛光 工艺参数 表面粗糙度 材料去除率
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超声振动磨削陶瓷材料高效去除机理研究 被引量:12
18
作者 吴雁 孙爱国 +1 位作者 赵波 朱训生 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2006年第4期59-62,共4页
基于压痕断裂力学,在工件横向施振超声振动平面磨削单颗磨粒受力分析基础上。建立了材料去除率综合数学模型;并就超声振动和普通磨削进行了对比试验研究。研究结果表明:超声振动磨削陶瓷材料去除率与被加工材料的种类、磨削深度、砂... 基于压痕断裂力学,在工件横向施振超声振动平面磨削单颗磨粒受力分析基础上。建立了材料去除率综合数学模型;并就超声振动和普通磨削进行了对比试验研究。研究结果表明:超声振动磨削陶瓷材料去除率与被加工材料的种类、磨削深度、砂轮磨粒粒度、超声振动的振幅以及磨削条件有着密切关系。同样磨削条件下,超声振动磨削陶瓷材料去除率是普通磨削的1.7~3.2倍,与理论模型相符合。试验结果表明:超声振动磨削可以获得良好的加工表面,工件横向施振超声振动磨削是一种精密、高效加工新工艺。 展开更多
关键词 超声 振动磨削 复相陶瓷 材料去除率 表面粗糙度 表面微观形貌
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蓝宝石基片的磁流变化学抛光试验研究 被引量:15
19
作者 尹韶辉 王永强 +3 位作者 李叶鹏 康仁科 陈逢军 胡天 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期80-87,共8页
分析了磁流变化学抛光的加工机理,对蓝宝石基片的磁流变化学抛光进行了试验研究。结果表明:磁流变化学抛光可将蓝宝石基片加工到亚纳米级粗糙度的超光滑镜面,材料去除率受化学反应速率和剪切去除作用共同影响,化学反应速率越快,剪切去... 分析了磁流变化学抛光的加工机理,对蓝宝石基片的磁流变化学抛光进行了试验研究。结果表明:磁流变化学抛光可将蓝宝石基片加工到亚纳米级粗糙度的超光滑镜面,材料去除率受化学反应速率和剪切去除作用共同影响,化学反应速率越快,剪切去除作用越强,材料去除率越高;混有硅胶溶液与α-Al2O3磨料的磁流变化学抛光液去除率最高;材料去除率随工作间隙,励磁间隙以及加工时间的增大而减少,随铁粉浓度减少而减少;利用磁流变化学抛光方法加工蓝宝石基片可获得Ra 0.3 nm的超光滑表面。 展开更多
关键词 蓝宝石基片 磁流变化学抛光 材料去除率 超光滑镜面
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Simulation and experimental investigation of inner-jet electrochemical grinding of GH4169 alloy 被引量:13
20
作者 Hansong LI Shuxing FU +2 位作者 Qingliang ZHANG Shen NIU Ningsong QU 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第3期608-616,共9页
GH4169 alloy is one of the most commonly used materials in aero engine turbine blades,but its machinability is poor because of its excellent strength at high temperatures. Electrochemical machining(ECM) has become a... GH4169 alloy is one of the most commonly used materials in aero engine turbine blades,but its machinability is poor because of its excellent strength at high temperatures. Electrochemical machining(ECM) has become a common method for machining this alloy and other difficult-tomachine materials. Electrochemical grinding(ECG) is a hybrid process combining ECM and conventional grinding. In this paper, investigations conducted on inner-jet ECG of GH4169 alloy are described. Two types of inner-jet ECG grinding wheels were used to machine a flat bottom surface.The machining process was simulated using COMSOL software, and machining gaps under different machining parameters were obtained. In addition, maximum feed rates and maximum material removal rates under different machining parameters were studied experimentally. The maximum sizes and the uniformity of the distributions of the gaps machined by the two grinding wheels were compared. The effects of different applied voltages on the machining results were also investigated. 展开更多
关键词 Electrochemical grinding GH4169 alloy Inner-jet material removal rate Maximum feed rate
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