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激光位移传感器在自由曲面测量中的应用 被引量:67
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作者 李兵 孙彬 +1 位作者 陈磊 魏翔 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期1939-1947,共9页
以点激光位移传感器(HL-C211BE)为对象,研究它在自由曲面测量中的应用。针对激光位移传感器因测点倾角代入的测量误差,提出了一个可以量化的倾角误差模型。基于直射式点激光三角法原理,分析了激光光路的几何关系,从会聚光斑光能质心发... 以点激光位移传感器(HL-C211BE)为对象,研究它在自由曲面测量中的应用。针对激光位移传感器因测点倾角代入的测量误差,提出了一个可以量化的倾角误差模型。基于直射式点激光三角法原理,分析了激光光路的几何关系,从会聚光斑光能质心发生的偏移推导出倾角误差模型。随后,用高精度激光干涉仪和正弦规对激光位移传感器进行校对实验,并用误差模型对测量结果进行补偿。结果显示,补偿后激光位移传感器的测量精度得到明显提高。对一非球面凸透镜进行了实验测量,得到了自由曲面测点倾角的计算方法,并用倾角误差模型修正了测量数据。实验结果表明,量化的倾角误差模型可以将激光位移传感器的测量误差控制到小于10μm,满足激光位移传感器在自由曲面测量中应用的要求。 展开更多
关键词 激光位移传感器 自由曲面测量 非接触测量 三角法测量 误差补偿
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激光路面平整度检测系统 被引量:33
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作者 马荣贵 宋宏勋 来旭光 《长安大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期38-41,共4页
为提高路面平整度检测水平,提出了基于基准传递原理的路面平整度检测方法,给出了采用5个激光位移传感器检测路面纵断面相对标高的计算公式,在不同等级路面上与精密水准仪测量方法进行了对比试验。结果表明,依据基准传递原理的路面平整... 为提高路面平整度检测水平,提出了基于基准传递原理的路面平整度检测方法,给出了采用5个激光位移传感器检测路面纵断面相对标高的计算公式,在不同等级路面上与精密水准仪测量方法进行了对比试验。结果表明,依据基准传递原理的路面平整度激光检测系统不受检测速度限制,可给出被测道路的纵断面曲线和国际平整度指数(IRI)。 展开更多
关键词 道路工程 路面 平整度 国际平整度指数(IRI) 纵断面 激光位移传感器
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基于激光位移检测技术的螺纹检测仪研制 被引量:24
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作者 王世峰 赵馨 +3 位作者 佟首峰 刘云清 刘鹏 范静涛 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期755-759,共5页
针对内、外螺纹外形检测的特点和难点,本文提出了一种基于激光位移检测技术、光栅位移检测技术、精密机械技术和计算机辅助数据处理技术的非接触检测方法。该系统具有2μm的检测灵敏度,±30μm位移检测精度,以及2kHz的检测带宽。实... 针对内、外螺纹外形检测的特点和难点,本文提出了一种基于激光位移检测技术、光栅位移检测技术、精密机械技术和计算机辅助数据处理技术的非接触检测方法。该系统具有2μm的检测灵敏度,±30μm位移检测精度,以及2kHz的检测带宽。实验证明,该方法能够快速、高精度地测量齿高、齿顶角、螺距、锥度等多项螺纹尺寸参数。文中详细论述了系统的组成、检测原理与方法、上位机软件的数据处理,分析了系统误差产生的原因和提高精度办法。 展开更多
关键词 螺纹检测 激光位移传感器 误差分析
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激光测距传感器光束矢向和零点位置标定方法 被引量:24
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作者 曹双倩 袁培江 +1 位作者 陈冬冬 史震云 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期1321-1327,共7页
激光测距传感器常用于飞机壁板法向检测。为了解决激光测距传感器加工和安装误差导致的法向检测精度下降问题,提出和实施了一种利用几何数学模型和最小二乘法进行激光测距传感器光束矢向和零点位置标定的方法。首先,利用角度标定理论获... 激光测距传感器常用于飞机壁板法向检测。为了解决激光测距传感器加工和安装误差导致的法向检测精度下降问题,提出和实施了一种利用几何数学模型和最小二乘法进行激光测距传感器光束矢向和零点位置标定的方法。首先,利用角度标定理论获取激光束与主轴进给方向的夹角。然后,借助激光跟踪仪建立坐标系,根据激光测距传感器射在与电主轴进给方向成不同夹角的平面上的测量值,利用几何数学模型计算出各激光点之间的相对坐标,运用最小二乘法拟合出激光束的空间方程,进而得到光束矢向和零点位置。最后,在航空制孔机器人平台上进行标定实验,并且根据标定结果进行了实验验证。实验结果证明:该方法能够较为准确地标定出激光测距传感器的光束矢向和零点位置,可使法向检测精度在0.18°内。 展开更多
关键词 激光测距传感器 光束空间位置标定 最小二乘法 自动化制孔 法向检测 机器人
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基于激光位移传感器的面角度测量技术研究 被引量:24
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作者 彭希锋 陈爽 +1 位作者 李海星 熊朝晖 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期2735-2743,共9页
针对面角度现场测试需求,利用激光位移传感器的漫反射测量特性,搭建了面角度非接触测量装置,提出了一种结合三坐标测量机和位置敏感探测器对激光位移传感器进行空间坐标化标定的方法,从而构建出精确的面角度测量模型;采用蒙特卡洛法对... 针对面角度现场测试需求,利用激光位移传感器的漫反射测量特性,搭建了面角度非接触测量装置,提出了一种结合三坐标测量机和位置敏感探测器对激光位移传感器进行空间坐标化标定的方法,从而构建出精确的面角度测量模型;采用蒙特卡洛法对面角度非接触测量装置的不确定度进行评定,在±25°测量范围内其结果为U=0.044°~0.046°(k=2);通过性能验证试验、重复性试验和稳定性试验对装置的性能指标进行考核,在±25°测量范围内其绝对测量示值误差不超过0.036°,重复性不超过0.004°,稳定性不超过0.021°;实验结果表明该基于激光位移传感器的面角度非接触测量装置准确可靠,具备开展面角度现场测试应用的前景。 展开更多
关键词 面角度 激光位移传感器 非接触测量
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基于激光三角法对透明平板厚度测量光线补偿的研究及应用 被引量:22
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作者 杨桂栓 陈涛 张志峰 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期211-218,共8页
提出了一种基于激光三角法光线折射补偿对透明平板厚度测量的方法,设计了基于单激光位移传感器的透明平板厚度测量装置,并应用于准分子激光投影光刻加工透明材料时的像面校准。首先构建了激光三角法测量情形下偏折光线和透明平板位置之... 提出了一种基于激光三角法光线折射补偿对透明平板厚度测量的方法,设计了基于单激光位移传感器的透明平板厚度测量装置,并应用于准分子激光投影光刻加工透明材料时的像面校准。首先构建了激光三角法测量情形下偏折光线和透明平板位置之间的关系,分析了散射光斑因折射发生的位置偏移量与平板厚度之间的关系,以及透明平板与散射基面的间距和散射基面位置的变化对测量结果产生的影响。然后设计了基于单激光位移传感器的透明平板厚度测量装置,实验验证了散射光斑偏移量和平板厚度之间的对应关系,测得了聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)厚度测量的补偿系数为0.441。综合理论分析和实验验证,结果表明散射光斑偏移量与透明平板的厚度呈线性变化关系,透明平板与散射基面间距的大小对测量结果无影响,散射基面偏移量与传感器探头示数变化量相等。PMMA平板厚度测量的平均绝对误差小于0.01 mm,平均相对误差为0.6%,能够满足准分子激光(Kr F,248 nm)加工PMMA基生物芯片的精度要求。 展开更多
关键词 测量 光线补偿测量 激光三角法 激光位移传感器 透明平板厚度测量 准分子激光微加工
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基于球形目标的激光位移传感器光束方向标定 被引量:18
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作者 毕超 房建国 +2 位作者 刘京亮 刘勇 李成玮 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期678-685,共8页
搭建了非接触式的三坐标测量系统以便精密测量三维型面。将激光位移传感器通过具有两个回转轴的回转体安装在测量机的Z轴上,从而可根据待测表面的形状来调整传感器的方位。为了使传感器在各个方位上实现测量功能,提出了基于球形目标的... 搭建了非接触式的三坐标测量系统以便精密测量三维型面。将激光位移传感器通过具有两个回转轴的回转体安装在测量机的Z轴上,从而可根据待测表面的形状来调整传感器的方位。为了使传感器在各个方位上实现测量功能,提出了基于球形目标的光束方向标定方法,并详细阐述了其数学原理。标定时,驱动测量机使传感器分别沿测量机的X,Y和Z轴做等间距步进,根据步长和激光束长度的变化建立方程组求解出激光束所在直线的单位方向向量。最后,多次测量尺寸参数已知的六面体标准块规,检验了该测量系统的重复性。结果显示,该系统的测量不确定度为0.048mm;测量另一直径已知的被测球时,传感器在各个方位上的误差小于0.05mm,表明所提出的标定方法使测量系统达到了逆向工程的使用要求。得到的数据表明,本文所提出的方法有较高的标定精度和较好的重复性,为实现三维型面的快速扫描测量奠定了基础。 展开更多
关键词 激光位移传感器 光束方向 非接触测量 三维型面测量 三坐标测量机 标定
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三角法激光位移传感器的参数优化设计与分析 被引量:17
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作者 严索 李顶根 于召亮 《电子测量技术》 2012年第10期21-24,共4页
根据激光三角位移传感器的工作原理,分析了入射激光与光轴夹角θ,CCD与光轴夹角φ,物方截距磊,焦距厂等光学参数之间的约束关系,进而由粒子群优化算法(PSO)研究约束下的激光位移传感器光学部分的测量精度问题,得出光学参数对光... 根据激光三角位移传感器的工作原理,分析了入射激光与光轴夹角θ,CCD与光轴夹角φ,物方截距磊,焦距厂等光学参数之间的约束关系,进而由粒子群优化算法(PSO)研究约束下的激光位移传感器光学部分的测量精度问题,得出光学参数对光学部分分辨率的影响规律。结果表明:在光学透镜和工作范围确定后,θ和φ越小,测量精度越高。其中,θ和φ合适的取值范围分别为30—60和30~50,磊则由PSO计算得到。依据该优化方法以及分析,对测量范围为±3.5mm的实验系统进行参数优化,结果提高了实验系统光学部分的分辨率,同时改善了测量的线性度。 展开更多
关键词 三角法 激光位移传感器 粒子群优化
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采用激光传感器的同轴度检测技术研究 被引量:16
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作者 颜敏炜 张英杰 +1 位作者 代愽超 李云龙 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期27-32,共6页
针对车桥减速器桥壳轴承孔的同轴度检测问题,设计了一种基于二维激光位移传感器的同轴度检测装置。该装置通过二维激光位移传感器在孔内旋转一周进行测量数据采集,并利用编码器实现了采集过程的闭环控制,采用该装置可提高数据采集效率... 针对车桥减速器桥壳轴承孔的同轴度检测问题,设计了一种基于二维激光位移传感器的同轴度检测装置。该装置通过二维激光位移传感器在孔内旋转一周进行测量数据采集,并利用编码器实现了采集过程的闭环控制,采用该装置可提高数据采集效率。为了进行同轴度计算,提出一种针对三维点云数据的最小二乘迭代法。首先,将采集到的角度、径向距离转换成三维坐标的点云数据形式。接着,以残差最小为优化目标,利用高斯-牛顿迭代方法确定出最优轴线。该方法利用了整个圆柱孔测量数据,并通过基于残差最小的优化方法计算得到两端孔的轴线和它们的公共轴线,然后,以公共轴线为基准计算出同轴度误差。与传统的通过计算多个横截面中心来确定轴线的方法相比,该方法提高了计算精度。同时,针对影响同轴度测量精度的一些因素,如测量装置的安装精度、转轴的径向跳动等进行了分析,并给出误差补偿方案。最后,将该装置的测量结果与三坐标测量结果进行对比,验证了该方法的正确性。 展开更多
关键词 同轴度 激光位移传感器 最小二乘迭代法 误差补偿
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基于激光位移传感器的城市轨道交通车辆轮对尺寸在线检测系统 被引量:16
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作者 李海玉 程晓卿 +3 位作者 苏钊颐 邢宗义 王晓浩 王贵 《城市轨道交通研究》 北大核心 2016年第9期10-14,共5页
车轮磨损是城市轨道交通日常运营的一大安全隐患。提出了一种基于2D激光位移传感器的列车轮对尺寸在线测量的新方法,阐明了该测量方法的系统构成及在线测量原理。系统由两组激光位移传感器和两组激光对射开关组成,通过激光位移传感器测... 车轮磨损是城市轨道交通日常运营的一大安全隐患。提出了一种基于2D激光位移传感器的列车轮对尺寸在线测量的新方法,阐明了该测量方法的系统构成及在线测量原理。系统由两组激光位移传感器和两组激光对射开关组成,通过激光位移传感器测量轮对外形轮廓线,然后根据踏面几何关系得到轮缘高、轮缘厚尺寸值;提取同一车轮通过该在线测量系统时传感器输出的各时刻轮缘顶点坐标,经时空还原将轮缘顶点变换到同一时刻的轮缘顶点圆上;通过最小二乘拟合圆得到车轮直径。现场试验结果表明,该轮对尺寸在线测量系统能满足轮对尺寸的现场实际测量要求,为轮对尺寸在线非接触式测量提供了一种新的解决方案。 展开更多
关键词 城市轨道交通车辆 轮对尺寸 激光位移传感器 在线测量
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基于激光位移传感器的地铁隧道结构变形监测系统设计 被引量:15
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作者 熊志金 《应用激光》 CSCD 北大核心 2019年第4期678-683,共6页
针对辽宁某铁轨交通实际工程区域展开全面的分析研究,并使用激光位移传感器等手段在设计地铁隧道结构变形检测系统当中充分发挥三维激光扫描技术功能。最终得出如下结论,在隧道变形监测工程当中使用三维激光扫描点云数据隧道断面提取技... 针对辽宁某铁轨交通实际工程区域展开全面的分析研究,并使用激光位移传感器等手段在设计地铁隧道结构变形检测系统当中充分发挥三维激光扫描技术功能。最终得出如下结论,在隧道变形监测工程当中使用三维激光扫描点云数据隧道断面提取技术。采集周期为10期,时间跨度为55天,分析监测辽宁某地铁隧道的特征断面,在第三期到第六期当中发现隧道的荷载和沉降值将会随着超高层的连续施工作业而产生巨大的变化,其中逐渐处于平稳状态的为后者。结合实际工程资料展开分析能够确定,观测周期当中的沉降值数值在3.35 mm时最大,使用三维激光扫描仪和传统水准沉降检测得出的结果,最终发现可以得到大致相同的隧道沉降变化趋势和变化量,这表明本文提出的方法能够更全面、更直观分析隧道横断面变形。 展开更多
关键词 变形监测 隧道 激光位移传感器 沉降 云数据
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基于激光位移传感器的角焊缝位姿检测 被引量:14
12
作者 洪波 尹力 +1 位作者 李毅 李湘文 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第24期3013-3016,3023,共5页
针对工字梁、箱梁等焊接结构自动化生产中工件偏移和偏转问题,提出了一种基于激光位移传感器的角焊缝位姿检测方法。建立了角焊缝位姿的弧长模型,分析了角焊缝位姿对弧长的影响规律;基于傅里叶分析,提出了角焊缝位姿解耦算法,实现了对... 针对工字梁、箱梁等焊接结构自动化生产中工件偏移和偏转问题,提出了一种基于激光位移传感器的角焊缝位姿检测方法。建立了角焊缝位姿的弧长模型,分析了角焊缝位姿对弧长的影响规律;基于傅里叶分析,提出了角焊缝位姿解耦算法,实现了对角焊缝横向偏差、纵向偏差、坡口角度和工件偏转角度的检测;通过对存在坡口间隙和定位焊缝的角焊缝进行位姿检测试验。结果表明,所提出方法具有检测误差小、抗干扰能力强等优点,在焊接自动化生产中具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 激光位移传感器 角焊缝 位姿检测 坡口间隙 定位焊缝
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基于平面模板的机器人TCF标定 被引量:14
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作者 吴聊 杨向东 +1 位作者 蓝善清 陈恳 《机器人》 EI CSCD 北大核心 2012年第1期98-103,共6页
针对末端夹持激光位移传感器的机器人TCF(tool/terminal control frame)标定,提出一种基于平面模扳的标定方法,机器人操作末端执行器使激光位移传感器在不同位形下对平面模板进行测量,再通过非线性最小.乘拟合求解标定参数.为了减小问... 针对末端夹持激光位移传感器的机器人TCF(tool/terminal control frame)标定,提出一种基于平面模扳的标定方法,机器人操作末端执行器使激光位移传感器在不同位形下对平面模板进行测量,再通过非线性最小.乘拟合求解标定参数.为了减小问题的奇异性,对标定时应该采取的参数控制策略进行了定性分析.该标定方法只需要一块表面精度较高的平面模板,而无需其它测量仪器,标定过程简单、易操作,且易于实现自动己.仿真和实验结果表明本文提出的标定方法具有较高的精度. 展开更多
关键词 激光位移传感器 TCF标定 手眼标定 平面模板
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激光位移传感器设计与标定测试 被引量:14
14
作者 周宇 李粤 +3 位作者 李维平 杜勉珂 邓然 邵文挺 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第11期92-95,共4页
为了降低激光位移传感器试制成本,并且更加方便地进行线性度测试,研发了一种激光位移传感器。使用ZEMAX软件对光学系统进行优化设计,得到合适的收光镜头,再选取光电元件,成功研制了一种工作距离为100 mm,量程为±25 mm,线性度为... 为了降低激光位移传感器试制成本,并且更加方便地进行线性度测试,研发了一种激光位移传感器。使用ZEMAX软件对光学系统进行优化设计,得到合适的收光镜头,再选取光电元件,成功研制了一种工作距离为100 mm,量程为±25 mm,线性度为±0. 28%,分辨率为20μm的激光位移传感器。该传感器具有测量范围宽,线性度好,分辨率高的特点,满足了在工业场景中对精密测量的使用要求。 展开更多
关键词 激光位移传感器 线性度 光学系统
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一种改进型高精度激光三角位移传感器的结构设计研究 被引量:13
15
作者 曹红超 陈磊 +1 位作者 王波 朱万彬 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期14-15,共2页
在对传统激光三角位移传感结构分析的基础上,提出了一种新的结构设计方案,推导出了相应的测距方程表达式。并对其进行了理论分析,表明此结构设计方案是可行的,并且在探测器尺寸一定的情况下利用此结构可以大大地提高测量范围。
关键词 激光三角位移传感器 测距方程 探测器 测量范围
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提高激光传感器用于现场校准装置精度的研究 被引量:13
16
作者 解菁 高宏堂 +2 位作者 叶孝佑 李东升 陈自章 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期398-402,共5页
阐述了激光传感器在位移传感器现场校准装置中的应用,对激光传感器的测量原理及校准方法进行了分析。结合现场校准的特殊性,分析现场校准过程中的误差来源,提高现场校准的精度。应用2m比长仪对激光传感器进行溯源,研究激光传感器在大长... 阐述了激光传感器在位移传感器现场校准装置中的应用,对激光传感器的测量原理及校准方法进行了分析。结合现场校准的特殊性,分析现场校准过程中的误差来源,提高现场校准的精度。应用2m比长仪对激光传感器进行溯源,研究激光传感器在大长度测量应用中提高精度的方法,采用曲线拟合的方法对测量结果进行补偿。最后应用空气弹簧隔振平台的高度监控系统对溯源后的激光传感器进行验证。实验结果表明,应用激光传感器的位移传感器现场校准装置,其精度可以达到0.1%。 展开更多
关键词 现场校准 激光传感器 曲线拟合
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基于激光位移传感器的3维位置测量算法研究 被引量:13
17
作者 龙龙 李宗峰 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期531-536,共6页
为了实现空间高微重力主动隔振系统反馈控制回路设计,采用6个激光位移传感器对隔振平台上3个正交的定位面的位移进行测量,实现对其3维位置和姿态的解算,并给出了推导过程,通过数值仿真,实验验证了有效性,同时对于解算过程中的误差来源... 为了实现空间高微重力主动隔振系统反馈控制回路设计,采用6个激光位移传感器对隔振平台上3个正交的定位面的位移进行测量,实现对其3维位置和姿态的解算,并给出了推导过程,通过数值仿真,实验验证了有效性,同时对于解算过程中的误差来源与其对解算结果的影响进行了分析,给出了误差影响因素与解算误差之间的关系。结果表明,此3维位置和姿态的解算算法能够准确地解算出隔振平台的3维位置和姿态,且理论解算误差在30μm以内。此研究对基于位移测量的反馈控制回路设计有一定的实用价值和发展前景。 展开更多
关键词 测量与计量 3维位置测量 激光位移传感器 误差分析
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激光测量机器人数据同步采集系统设计 被引量:12
18
作者 郝卫东 苗国强 +1 位作者 魏尧 黄用华 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2018年第7期122-125,130,共5页
为了满足激光测量机器人对各关节臂转角数据和激光位移传感器所测高度数据采集的同步性,文章设计了一种激光测量机器人数据同步采集系统。该系统采用PROFIBUS总线和高速AD转换芯片来达到数据同步采集的目的。采用STM32F103RCT6作为整个... 为了满足激光测量机器人对各关节臂转角数据和激光位移传感器所测高度数据采集的同步性,文章设计了一种激光测量机器人数据同步采集系统。该系统采用PROFIBUS总线和高速AD转换芯片来达到数据同步采集的目的。采用STM32F103RCT6作为整个系统的主控芯片,控制整个系统完成同步数据采集;由VPC3+C芯片实现PROFIBUS-DP协议,通过PROFIBUS总线完成对机器人各关节臂转角数据的传输;由16位高速A/D转换芯片AD4001完成对激光位移传感器的采样。系统的分析结果显示,文中所设计的同步数据采集系统具备硬件成本低、测量精度高、同步性好的特点,能够满足激光测量机器人对数据采集的同步性和高精度的要求。 展开更多
关键词 激光测量机器人 激光位移传感器 A/D转换
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集成激光位移传感器和编码器的曲面仿形测头研究 被引量:12
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作者 袁江 邱自学 邵建新 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期2488-2493,共6页
为实现对大量程自由曲面的高精度仿形测量,提出了一种利用闭环运动控制技术集成激光位移器和线性编码器的新方法。采用线性编码器和精密线性机构以及运动控制卡组成Z向位移量伺服随动系统,步进电机自动调整激光位移传感器位置使其工作... 为实现对大量程自由曲面的高精度仿形测量,提出了一种利用闭环运动控制技术集成激光位移器和线性编码器的新方法。采用线性编码器和精密线性机构以及运动控制卡组成Z向位移量伺服随动系统,步进电机自动调整激光位移传感器位置使其工作在中心范围(95~105mm)内,线性机构位移量可由线性编码器测量得到,自由曲面的起伏变化可通过激光位移传感器和线性编码器的输出而得到。与激光位移传感器进行了线性度、示值误差以及重复性等精度参数对比实验,结果表明系统在扩大测量范围的同时具备较高的测量精度。 展开更多
关键词 自由曲面 激光位移传感器 线性编码器 测量精度
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基于激光位移传感器圆径测量的角度安装误差研究 被引量:11
20
作者 马金钰 陈欣 +1 位作者 丁国清 陈继刚 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2021年第5期186-192,共7页
基于激光位移传感器的工件圆径和圆度测量被广泛应用于工业现场的产品质量检测过程中。文中研究了激光位移传感器的角度安装误差对工件圆径测量结果的影响,并提出校准方法。首先,将定量分析位移传感器的角度安装误差与计算得到的圆径结... 基于激光位移传感器的工件圆径和圆度测量被广泛应用于工业现场的产品质量检测过程中。文中研究了激光位移传感器的角度安装误差对工件圆径测量结果的影响,并提出校准方法。首先,将定量分析位移传感器的角度安装误差与计算得到的圆径结果的误差之间的关系。其次,提出了一种位移传感器角度安装误差校准方法,该方法可在标准圆圆径未知的情况下,根据不同位置下的3个位移传感器的测量值,精确计算出传感器的角度安装误差。详细说明了该校准方法的建模过程,通过仿真确认角度安装误差校准方法的有效性。最后,利用三坐标测量仪对角度安装误差进行校准。实验结果表明,校准后的圆径测量误差从20μm提高到1.5μm。 展开更多
关键词 角度安装误差 圆径测量 激光位移传感器 最小二乘法
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