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利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数 被引量:14
1
作者 袁方园 陆文琪 林国强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期509-512,共4页
本文利用朗缪尔双探针对电弧离子镀等离子体进行了诊断。双探针具有收集电流小的优点(小于离子饱和电流),可以避免探针在高密度电弧离子镀等离子体中被烧坏。利用离散傅里叶变换(DFT)对测量曲线进行平滑,有效地克服了电弧离子镀等离子... 本文利用朗缪尔双探针对电弧离子镀等离子体进行了诊断。双探针具有收集电流小的优点(小于离子饱和电流),可以避免探针在高密度电弧离子镀等离子体中被烧坏。利用离散傅里叶变换(DFT)对测量曲线进行平滑,有效地克服了电弧离子镀等离子体放电所固有的强烈波动。探针端部设计能够避免由薄膜沉积造成的探针与支撑杆短路问题。实验结果表明,等离子体密度随着弧电流和气压的增加而增加,而电子温度随着弧电流和气压变化不明显。另外,使用双靶放电等离子体密度和电子温度高于单靶放电。这些结果提供了电弧离子镀等离子体的基本参数,对于材料涂层工艺研究具有积极意义。 展开更多
关键词 朗缪尔双探针 电弧离子镀 等离子体
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螺旋波等离子体的实验研究 被引量:10
2
作者 江南 王珏 凌一鸣 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第3期207-209,共3页
螺旋波等离子体是一种高密度的低温低气压等离子体。利用一种环绕于玻璃管或石英管外壁的射频天线与磁化等离子体中的右旋极化波的共振 ,可以非常有效地通过朗道吸收加热电子 ,产生高密度等离子体。本文介绍了一种玻璃系统的螺旋波等离... 螺旋波等离子体是一种高密度的低温低气压等离子体。利用一种环绕于玻璃管或石英管外壁的射频天线与磁化等离子体中的右旋极化波的共振 ,可以非常有效地通过朗道吸收加热电子 ,产生高密度等离子体。本文介绍了一种玻璃系统的螺旋波等离子体的发生装置 ,这在国内尚属首次。利用朗廖尔双探针法初步研究了该螺旋波等离子体的特性。估计该等离子体中心区等离子体密度可超过 1× 1 0 12 cm-3 。 展开更多
关键词 螺旋波等离子体 高密度等离子体 朗廖尔双探针
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13.56 MHz/2 MHz柱状感性耦合等离子体参数的对比研究 被引量:6
3
作者 张改玲 滑跃 +1 位作者 郝泽宇 任春生 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期186-195,共10页
通过Langmuir双探针和发射光谱诊断方法,对比研究了驱动频率为13.56 MHz和2 MHz柱状感性耦合等离子体中电子密度和电子温度的径向分布规律.结果表明:在高频和低频放电中,输入功率的增加对等离子体参数产生了不同的影响,高频放电中主要... 通过Langmuir双探针和发射光谱诊断方法,对比研究了驱动频率为13.56 MHz和2 MHz柱状感性耦合等离子体中电子密度和电子温度的径向分布规律.结果表明:在高频和低频放电中,输入功率的增加对等离子体参数产生了不同的影响,高频放电中主要提升了电子密度,低频放电中则主要提升了电子温度.固定气压为10 Pa,分别由高频和低频驱动时,电子密度的径向分布均为"凸型".而电子温度的分布差异比较明显,高频驱动时,电子温度在腔室中心较为平坦,在边缘略有上升;低频驱动时,电子温度随径向距离的增加而逐渐下降.为了进一步分析造成这种差异的原因,在相同放电条件下采集了氩等离子体的发射光谱图,利用分支比法计算了亚稳态粒子的数密度,发现电子温度的径向分布始终与亚稳态粒子的径向分布相反.继续升高气压到100 Pa,发现不论高频还是低频放电,电子密度的径向分布均从"凸型"转变为"马鞍形",较低气压时电子密度的均匀性有了一定的提升,但低频的均匀性更好. 展开更多
关键词 感性耦合等离子体 langmuir双探针 发射光谱 等离子体参数
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射频感应耦合等离子体朗缪双探针诊断分析 被引量:4
4
作者 张昀 王波 王荷军 《真空》 CAS 2016年第3期56-61,共6页
采用朗缪探针法对射频感应耦合等离子体进行了诊断分析,得到了圆柱形ICP放电装置的电子密度和电子温度。通过朗缪双探针研究了不同放电气压、不同射频功率、不同放电位置、不同气体组分对等离子体参数的影响。一定功率下,电子密度在30Pa... 采用朗缪探针法对射频感应耦合等离子体进行了诊断分析,得到了圆柱形ICP放电装置的电子密度和电子温度。通过朗缪双探针研究了不同放电气压、不同射频功率、不同放电位置、不同气体组分对等离子体参数的影响。一定功率下,电子密度在30Pa-100Pa之间随气压的增加而增大,在100Pa-160Pa之间随气压的增加而减小,电子温度在30Pa-160Pa之间随气压的增加而减小;一定气压下,电子密度在50W-1900W之间随功率的增加逐渐增大,电子温度在50W-900W之间随功率的增加而减小,在900W-1900W之间随功率的增加而增大。等离子体辉光区域不同位置的电子密度和电子温度各不相同,电子密度大的位置具有较低的电子温度。氩氮混合气体的电子密度随着气压的增加而减小,氮气在混合气体中的比例越高混合气体的电子密度越小;氩氮混合气体相比纯氩有着更高的电子温度,且氮气含量越高混合气体的电子温度也越高。 展开更多
关键词 射频感应耦合等离子体 朗缪双探针 电子密度 电子温度
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Monopole Antenna Probe for Density Measurements in Cold Plasmas
5
作者 王慧慧 李弘 +5 位作者 王雨后 李斌 尤玮 陈志鹏 谢锦林 刘万东 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第2期197-200,共4页
A simple diagnostic tool for density measurements in plasma with a certain spatial resolution is proposed in this paper. It uses the emission characteristics of monopole antenna to determine the dielectic property of ... A simple diagnostic tool for density measurements in plasma with a certain spatial resolution is proposed in this paper. It uses the emission characteristics of monopole antenna to determine the dielectic property of plasma c = 1 - fp^2/f^2, with the fp electron plasma frequency related to plasma density. We immersed a inonopole antenna probe into plasma and introduced a microwave signal via a network analyzer. When the emitted power is maximized, the reflected power is minimized and there occurs a resonance. Since can be derived from the resonant frequency, this is actually a method to measure the absolute electron density. Validated by a comparison with the amended Langmuir double-probe method, the monopole antenna probe is valuable. In addition, it is free from the difficulties, such as fluctuation in plasma potential. 展开更多
关键词 electron density monopole antenna probe langmuir double probe relativepermittivity resonance frequency
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放电参量对射频容性耦合等离子体电子密度的影响 被引量:2
6
作者 王荷军 王波 +2 位作者 刘云辉 王权 张昀 《真空》 CAS 2017年第4期26-30,共5页
为了提高射频容性耦合等离子体电子密度,研究放电参量对其的影响。通过采用朗缪双探针法诊断分析了放电气压、气体组分、射频功率以及掺Hg等放电参量对圆柱形射频容性耦合等离子体放电装置的电子密度的影响。结果表明:随放电气压的增加... 为了提高射频容性耦合等离子体电子密度,研究放电参量对其的影响。通过采用朗缪双探针法诊断分析了放电气压、气体组分、射频功率以及掺Hg等放电参量对圆柱形射频容性耦合等离子体放电装置的电子密度的影响。结果表明:随放电气压的增加,电子密度呈现出先增大后减小的变化,在30Pa-550Pa下,电子密度随气压的增大而增加,在550Pa-650Pa下,电子密度随气压的增大而减小;往Ar中通入一定体积分数的He,有增加等离子体电子密度的影响,且当He的体积分数为15%时,电子密度最大;等离子体电子密度随射频功率的增大而增加;向Ar中掺少量的Hg,有明显增加等离子体电子密度的效果。 展开更多
关键词 射频容性耦合等离子体 朗缪双探针 电子密度
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离子源辅助法制备TiN及等离子体特性研究 被引量:1
7
作者 张茂平 陈俊芳 +3 位作者 蒙高庆 向鹏飞 史磊 赖秀琼 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2006年第3期59-64,共6页
采用TCP等离子体辅助电子束蒸发沉积技术,在室温条件下的玻璃基片上制备了纳米结构的氮化钛薄膜.运用X衍射技术对该薄膜进行表征.利用朗缪尔静电双探针诊断了蒸发镀膜装置反应室内等离子体密度及分析其分布规律,并分析了气压和功率对等... 采用TCP等离子体辅助电子束蒸发沉积技术,在室温条件下的玻璃基片上制备了纳米结构的氮化钛薄膜.运用X衍射技术对该薄膜进行表征.利用朗缪尔静电双探针诊断了蒸发镀膜装置反应室内等离子体密度及分析其分布规律,并分析了气压和功率对等离子体分布的影响.结果表明:离子源源口等离子体密度较大且分布不均匀;反应室内等离子体迅速扩散,密度变小且分布趋于均匀. 展开更多
关键词 氮化钛 顶部感应耦合等离子体源 朗缪尔双探针 电子束蒸发镀膜
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介质管等离子体物理特性自动测量系统设计 被引量:1
8
作者 徐灵飞 李晓芳 李健 《测控技术》 CSCD 北大核心 2011年第9期8-12,共5页
根据朗缪尔双探针诊断方法,设计了一个等离子体特性自动测量系统,给出了系统设计的原理和实现过程。系统由电源电路、ARM控制器、FPGA、FIFO、高速ADC及USB控制器构成,可以提供等离子体测量所需的特定工作电压、实现对等离子体I-V特性... 根据朗缪尔双探针诊断方法,设计了一个等离子体特性自动测量系统,给出了系统设计的原理和实现过程。系统由电源电路、ARM控制器、FPGA、FIFO、高速ADC及USB控制器构成,可以提供等离子体测量所需的特定工作电压、实现对等离子体I-V特性数据的同步测量,并可以对测量数据进行准确的高速传输。分析系统所采集数据得到了准确的等离子体I-V特性、等离子体电子温度和离子密度。 展开更多
关键词 等离子体 朗缪尔双探针 数据采集
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高真空磁场条件下辉光放电特性的实验研究 被引量:1
9
作者 苏小雪 张爱东 杨坤 《水电与新能源》 2018年第2期33-36,62,共5页
利用朗缪尔双探针对磁场条件下辉光放电等离子体特性进行的实验研究,获得了在磁场作用下直流辉光放电区探针的伏安特性曲线,其变化特性和没有磁场条件下的大致相同;经对探针伏安特性曲线进行分析和处理,可得到在磁场条件下直流辉光等离... 利用朗缪尔双探针对磁场条件下辉光放电等离子体特性进行的实验研究,获得了在磁场作用下直流辉光放电区探针的伏安特性曲线,其变化特性和没有磁场条件下的大致相同;经对探针伏安特性曲线进行分析和处理,可得到在磁场条件下直流辉光等离子体的电子密度;通过在不同的气压和辉光电流下的实验,得到了磁场条件的伏安特性曲线随气压和辉光电流的变化趋势。 展开更多
关键词 磁场 辉光放电 等离子体 朗缪尔双探针
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40.68MHz激发的N_2容性耦合等离子体径向不均匀性研究
10
作者 张杰 徐海朋 +1 位作者 陆文琪 辛煜 《苏州大学学报(自然科学版)》 CAS 2011年第3期54-60,共7页
通过使用扫描发射光谱仪和朗缪尔双探针的测量方法研究了40.68MHz的射频驱动的N2容性耦合等离子体的不均匀性。发现在高气压和高输入功率的条件下,容性放电中的中心峰值是由驻波效应造成的,而在靠近径向边缘的峰值是由感应电场造成的,... 通过使用扫描发射光谱仪和朗缪尔双探针的测量方法研究了40.68MHz的射频驱动的N2容性耦合等离子体的不均匀性。发现在高气压和高输入功率的条件下,容性放电中的中心峰值是由驻波效应造成的,而在靠近径向边缘的峰值是由感应电场造成的,这些引起了发射光谱在电极表面超过20%的不均匀性。然而,N2容性放电的振-转动温度展示了低于10%的不均匀性,这可能是由有较大的径向弛豫时间的和高密度的亚稳态粒子的主导碰撞造成的. 展开更多
关键词 不均匀性 N2容性耦合等离子体 射频 扫描发射光谱仪 朗缪尔双探针 振-转动温度
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极板类型及极性对容性耦合等离子体均匀性的影响
11
作者 詹泽红 郭颖 赵建钢 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期898-905,共8页
使用朗缪尔双探针诊断方法,研究了圆孔刻槽极板和极性电极(相位差Δφ=00和Δφ=1800)在不同条件下对13.56 MHz容性耦合等离子体均匀性的影响。同时提到了点亮问题对等离子体分布的影响。实验结果表明:圆孔刻槽极板和极性电极均可避免... 使用朗缪尔双探针诊断方法,研究了圆孔刻槽极板和极性电极(相位差Δφ=00和Δφ=1800)在不同条件下对13.56 MHz容性耦合等离子体均匀性的影响。同时提到了点亮问题对等离子体分布的影响。实验结果表明:圆孔刻槽极板和极性电极均可避免点亮问题,提高等离子的均匀性。圆孔刻槽极板将电子密度的均匀性由85.6%提高到93.7%(功率为50W),由63.6%提高到84.6%(功率为300 W);反相位极性电极的电子密度的均匀性可达到90%以上(功率为50 W)和80%以上(功率为300 W)。 展开更多
关键词 朗缪尔双探针 圆孔刻槽极板 极性电极 等离子体均匀性 点亮问题
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低温氮等离子体朗缪尔双探针诊断
12
作者 李青 李茹 +1 位作者 梁煜 桑田 《当代化工》 CAS 2020年第4期514-517,共4页
采用朗缪尔双探针法对低温氮等离子体进行了诊断分析,得到了氮等离子体的电子密度和电子温度。通过朗缪尔双探针研究了不同射频功率、放电压强、轴向距离对等离子体参数的影响。研究表明,放电压强和轴向距离一定时,电子温度在20~160 W... 采用朗缪尔双探针法对低温氮等离子体进行了诊断分析,得到了氮等离子体的电子密度和电子温度。通过朗缪尔双探针研究了不同射频功率、放电压强、轴向距离对等离子体参数的影响。研究表明,放电压强和轴向距离一定时,电子温度在20~160 W之间随射频功率的增加而减小;射频功率和轴向距离一定时,电子温度在10~45 Pa之间随放电压强的增大而增大;射频功率和放电压强一定时,电子温度在轴向距离0~20 cm之间随轴向距离的增大而增大,在20~50cm之间随轴向距离的增大而增大。电子密度则是正好与之相反,随射频功率的增大而增大,随放电压强的增大而减小,随轴向距离的增大而减小。 展开更多
关键词 低温氮等离子体 朗缪尔双探针 电子温度 电子密度
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Langmuir双探针测量Hall推力器羽流特性 被引量:2
13
作者 白耀忠 王平阳 +2 位作者 康小录 于水淋 乔彩霞 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期368-371,共4页
应用Langmuir双探针测量了距离Hall推力器出口30~100cm的羽流特性。实验中真空舱压力保持在5×10^-4~2×10^-3Pa之间。实验证明,电子温度和数密度随着角度和轴向距离的变化而变化,但羽流中远场的电子温度变化幅度很小,基... 应用Langmuir双探针测量了距离Hall推力器出口30~100cm的羽流特性。实验中真空舱压力保持在5×10^-4~2×10^-3Pa之间。实验证明,电子温度和数密度随着角度和轴向距离的变化而变化,但羽流中远场的电子温度变化幅度很小,基本稳定在0.455eV左右;电子数密度随着与轴向距离和中心轴夹角的增加而减小。实验结果可为高性能的Hall推力器设计提供参考依据,并为等离子体羽流的数值模拟提供输入条件和验证依据。 展开更多
关键词 Hall推力器^+ langmuir双探针^+ 等离子体羽流^+
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Langmuir双探针诊断Ne辉光放电管电子密度 被引量:8
14
作者 俞哲 张芝涛 赵建森 《物理实验》 北大核心 2010年第1期1-5,共5页
应用Langmuir双探针诊断理论,对充有氖气的石英放电管中的辉光放电等离子体进行了诊断,通过实验测得伏安特性曲线,计算得出电子温度和电子密度,讨论了等离子体的宏观参量与电子温度和电子密度的关系.采用直径为0.1 mm的探针对等离子体... 应用Langmuir双探针诊断理论,对充有氖气的石英放电管中的辉光放电等离子体进行了诊断,通过实验测得伏安特性曲线,计算得出电子温度和电子密度,讨论了等离子体的宏观参量与电子温度和电子密度的关系.采用直径为0.1 mm的探针对等离子体进行诊断,不仅减小了对所测等离子体区域的扰动,而且减小了读取伏安特性曲线所带来的误差. 展开更多
关键词 langmuir双探针 等离子体诊断 电子密度 辉光放电
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利用静电双探针对辉光放电等离子体诊断分析 被引量:2
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作者 葛萌 张莉莉 +2 位作者 蔡惠华 孙德冲 贾丰锴 《宇航计测技术》 CSCD 2017年第2期68-72,共5页
阐述了利用Langmuir双探针诊断等离子体参数的基本原理,对圆柱腔中的空气辉光放电等离子体进行了双探针诊断,通过实验测得伏安特性曲线,计算得出等离子体密度和电子温度。分析了密度参数变化与放电电流大小之间的关系。最后将诊断结果... 阐述了利用Langmuir双探针诊断等离子体参数的基本原理,对圆柱腔中的空气辉光放电等离子体进行了双探针诊断,通过实验测得伏安特性曲线,计算得出等离子体密度和电子温度。分析了密度参数变化与放电电流大小之间的关系。最后将诊断结果与准光腔系统进行比较,二者虽略有差别,但差别不大,且变化趋势一致。验证了采用本双探针系统诊断辉光放电等离子体密度的可靠性。 展开更多
关键词 langmuir双探针 辉光放电 等离子体 电子密度 伏安特性 曲线 诊断
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