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以L-B法制造超薄耐热聚合物薄膜的新发展
1
作者
刘承俊
《高分子通报》
CAS
CSCD
1992年第1期46-51,共6页
近年来随着微电子工业的发展,要求发展超薄耐热聚合物薄膜,尤其是聚酰亚胺(PI)超薄薄膜.L-B法能制造超薄PI薄膜.本文叙述了L-B法的发展,并介超了PI耐热聚合物的制法.
关键词
超薄薄膜
耐热聚合物
L-B法
下载PDF
职称材料
题名
以L-B法制造超薄耐热聚合物薄膜的新发展
1
作者
刘承俊
机构
上海市合成树脂研究所
出处
《高分子通报》
CAS
CSCD
1992年第1期46-51,共6页
文摘
近年来随着微电子工业的发展,要求发展超薄耐热聚合物薄膜,尤其是聚酰亚胺(PI)超薄薄膜.L-B法能制造超薄PI薄膜.本文叙述了L-B法的发展,并介超了PI耐热聚合物的制法.
关键词
超薄薄膜
耐热聚合物
L-B法
Keywords
L-B
method
Superthin
film
heat
tesistant
polymer
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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作者
出处
发文年
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1
以L-B法制造超薄耐热聚合物薄膜的新发展
刘承俊
《高分子通报》
CAS
CSCD
1992
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