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氨化温度对氨化Ga_2O_3/Al膜制备GaN纳米结构材料的影响 被引量:2
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作者 庄惠照 胡丽君 +1 位作者 薛成山 薛守斌 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期331-333,共3页
采用磁控溅射的方法在Si(111)衬底上溅射沉积了Ga2O3/Al膜,并通过氨化的方法在Si(111)衬底上获得了GaN纳米结构材料,研究了不同的氨化温度对生成GaN纳米结构材料的影响。对样品进行了傅立叶红外吸收(FTIR)、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(S... 采用磁控溅射的方法在Si(111)衬底上溅射沉积了Ga2O3/Al膜,并通过氨化的方法在Si(111)衬底上获得了GaN纳米结构材料,研究了不同的氨化温度对生成GaN纳米结构材料的影响。对样品进行了傅立叶红外吸收(FTIR)、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)以及高分辨电镜(HR-TEM)测试,分析了不同温度对GaN样品的结构、组分和形貌等特性的影响。结果表明,用该方法在950℃的氨化温度下得到了大量的六方GaN纳米棒。 展开更多
关键词 Ga2O3/Al膜 gan纳米棒 氨化 磁控溅射
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Synthesis of GaN nanorods on Si substrates with assistance of the vola-tilization of ZnO middle layers
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作者 ZHUANGHuizhao GAOHaiyong XUEChengshan WANGShuyun DONGZhihua HEJianting 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第2期110-114,共5页
GaN nanorods have successfully been synthesized on Si(111) substrates via ammoniating ZnO/Ga2O3 films at 950 degrees C. Ga2O3 thin films and ZnO middle layers were deposited in turn on Si(111) substrates by r.f. magne... GaN nanorods have successfully been synthesized on Si(111) substrates via ammoniating ZnO/Ga2O3 films at 950 degrees C. Ga2O3 thin films and ZnO middle layers were deposited in turn on Si(111) substrates by r.f. magnetron sputtering system. ZnO volatilized at 950 degrees C in the ammonia ambience and Ga2O3 reacted to NH3 to fabricate GaN nanorods in the later ammoniating process. The volatilization of ZnO layers played an important role in the fabrication. The structure and composition of the GaN nanorods were studied by X-ray diffraction (XRD) and Fourier transform infrared spectrophotometer (FTIR). The morphology of GaN nanorods was investigated using scanning electron microscopy (SEM) and transmission electronic microscope (TEM). The analyses of measured results revealed that GaN nanorods with hexagonal wurtzite structure were prepared by this method. 展开更多
关键词 semiconductor materials gan nanorods r.f. magnetron sputtering ZnO/Ga2O3 films
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Synthesis of one-dimensional GaN nanorods by Tb intermediate layer with different thicknesses
3
作者 Jin-Hua Chen Ping Shi +3 位作者 Yu-Lan Li Xue-Lei Sun Cheng-Shan Xue Ji-Yuan Guo 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第12期937-939,共3页
GaN nanorods were synthesized by magnetron sputtering and ammonification system, and the thickness of Tb intermediate layer was changed to study the effect on GaN nanorods. The resultant was tested by scanning electro... GaN nanorods were synthesized by magnetron sputtering and ammonification system, and the thickness of Tb intermediate layer was changed to study the effect on GaN nanorods. The resultant was tested by scanning electron microscopy (SEM), X-ray diffraction (XRD), transmission electron microscopy (TEM), high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM), and photo- luminescence (PL) spectra. The results show that the thickness of Tb layer has an evident effect on the modality, quality, and luminescence properties of GaN nanorods. PL spectra at room temperature show a very strong emission peak at 368 nm and a weak emission peak at 387 nm, and the intensities of the peak for the produced samples reach the maximum when Tb layer is 20 nm. Finally, the optimal thickness of 20 nm of Tb intermediate layer for synthe- sizing GaN nanostructures is achieved. 展开更多
关键词 gan nanorods Tb intermediate layer Single crystal PHOTOLUMINESCENCE
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sol-gel法制备GaN纳米棒的研究 被引量:1
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作者 吴玉新 薛成山 +6 位作者 庄惠照 田德恒 刘亦安 张晓凯 艾玉杰 孙莉莉 王福学 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期13-15,共3页
采用简单、有效的sol-gel法在1 000℃时通过氧化镓凝胶和氨气反应成功合成了GaN纳米棒。XRD和SAED的测试结果表明,GaN纳米棒为六方纤锌矿结构。用TEM观察发现,大部分GaN纳米棒平直而光滑,直径为200 nm^1.8μm,最长的纳米棒达几十微米。... 采用简单、有效的sol-gel法在1 000℃时通过氧化镓凝胶和氨气反应成功合成了GaN纳米棒。XRD和SAED的测试结果表明,GaN纳米棒为六方纤锌矿结构。用TEM观察发现,大部分GaN纳米棒平直而光滑,直径为200 nm^1.8μm,最长的纳米棒达几十微米。室温下光致发光谱的测试发现了较强的355.6 nm处的紫外发光峰和445.9 nm处的蓝色发光峰。 展开更多
关键词 半导体技术 gan纳米棒 SOL-GEL法 光致发光
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GaN纳米柱的量子效率研究
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作者 李扬扬 陈鹏 +10 位作者 蒋府龙 杨国锋 刘斌 谢自立 修向前 韩平 赵红 华雪梅 施毅 张荣 郑有炓 《南京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期320-324,共5页
主要通过低温和室温变功率光致发光(PL)谱的实验手段,研究了GaN纳米柱和对应薄膜(作为参考)的量子效率表现.实验中发现在室温,激发光功率为0.5mW时,GaN纳米柱的积分PL强度是薄膜的12.2倍,这表明GaN纳米柱具有比薄膜更高的内量子效率和... 主要通过低温和室温变功率光致发光(PL)谱的实验手段,研究了GaN纳米柱和对应薄膜(作为参考)的量子效率表现.实验中发现在室温,激发光功率为0.5mW时,GaN纳米柱的积分PL强度是薄膜的12.2倍,这表明GaN纳米柱具有比薄膜更高的内量子效率和光引出效率.另外,依据高低温积分PL强度比的方法计算得到激发光功率0.5mW时,GaN纳米柱的内量子效率低于薄膜,该计算结果违背由实验现象得到的结果,这表明该内量子效率的计算方法是不合适的,因而建立了一种新模型,得到GaN纳米柱和薄膜的内量子效率比随激发光功率的变化规律,结果表明GaN纳米柱的内量子效率表现显著优于薄膜. 展开更多
关键词 gan纳米柱 光致发光(PL) 量子效率
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氨化磁控溅射Ga_2O_3/BN薄膜制备GaN纳米棒
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作者 吴玉新 薛成山 +5 位作者 庄惠照 田德恒 刘亦安 孙莉莉 王福学 艾玉杰 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第A02期129-132,共4页
利用射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上制备Ga2O3/BN薄膜,在氨气中退火合成了大量的一维GaN纳米棒。用X射线衍射(XRD)、选区电子衍射(SAED)、傅立叶红外透射谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和光致发光谱(PL)对样品... 利用射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上制备Ga2O3/BN薄膜,在氨气中退火合成了大量的一维GaN纳米棒。用X射线衍射(XRD)、选区电子衍射(SAED)、傅立叶红外透射谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和光致发光谱(PL)对样品的晶体结构、元素成分、形貌特征和光学特性进行了分析。结果表明:GaN纳米棒为六方纤锌矿结构的单晶相,其直径在150 nm~400 nm左右,长度可达几十微米。室温下光致发光谱的测试发现了较强的372nm处的强紫外发光峰和420nm处的蓝色发光峰。 展开更多
关键词 磁控溅射 氨化 氮化镓纳米棒 光致发光
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惰性盐辅助法合成氮化镓纳米棒及其场发射性能研究(英文)
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作者 吕英英 王云华 +1 位作者 谢鑫 余乐书 《上饶师范学院学报》 2012年第3期56-61,共6页
以惰性盐为分散剂,通过直接氮化金属镓与氟化钙的混合物,在较低温度下(650℃)大量合成出角面截面型氮化镓纳米棒,大大低于以往文献报道的氮化温度(900℃以上)。通过X射线衍射和电子显微镜等设备表征,可知所制得的产物为六方相氮化镓纳米... 以惰性盐为分散剂,通过直接氮化金属镓与氟化钙的混合物,在较低温度下(650℃)大量合成出角面截面型氮化镓纳米棒,大大低于以往文献报道的氮化温度(900℃以上)。通过X射线衍射和电子显微镜等设备表征,可知所制得的产物为六方相氮化镓纳米棒,且纳米线沿着c轴择优生长;每根氮化镓纳米棒都具有菱形或三角形截面。由于本方法的制备温度低,导致了氮化镓纳米棒与硅基片的良好接触。场发射实验表明,该复合系统具有很低的开启电压(5.4V/μm)和阈场(8.4V/μm)。 展开更多
关键词 氮化镓纳米棒 低温合成 CVD 场发射
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RF磁控溅射和氨化法制备GaN纳米棒和纳米颗粒
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作者 胡丽君 庄惠照 +3 位作者 高海永 何建廷 薛守斌 薛成山 《微纳电子技术》 CAS 2005年第9期411-414,419,共5页
利用射频磁控溅射法分别溅射ZnO中间层和Ga2O3薄膜到Si(111)衬底上,然后ZnO/Ga2O3薄膜在管式石英炉中常压下通氨气进行氨化,高温下ZnO在氨气气氛中被还原生成Zn而升华,而在不同的氨化时间下Ga2O3和氨气反应合成出GaN纳米棒和纳米颗粒。... 利用射频磁控溅射法分别溅射ZnO中间层和Ga2O3薄膜到Si(111)衬底上,然后ZnO/Ga2O3薄膜在管式石英炉中常压下通氨气进行氨化,高温下ZnO在氨气气氛中被还原生成Zn而升华,而在不同的氨化时间下Ga2O3和氨气反应合成出GaN纳米棒和纳米颗粒。X射线衍射(XRD)测量结果表明,利用该方法制备GaN纳米棒和颗粒具有沿c轴择优取向生长的六方纤锌矿结构。利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、傅里叶红外透射谱(FTIR)及选区电子衍射(SAED)观测和分析了样品的形貌、成分和晶格结构。研究分析了此种方法合成GaN纳米结构的反应机制。 展开更多
关键词 gan纳米棒和纳米颗粒 ZnO/Ga2O3薄膜 射频磁控溅射 氨化
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退火温度对Tb催化GaN纳米棒的影响
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作者 陈金华 石鑫 薛成山 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第11期660-663,共4页
用稀土金属铽(Tb)作催化剂,通过磁控溅射和退火氨化法成功制备出大量单晶GaN纳米棒,并研究退火温度对GaN纳米棒表面形貌、晶体质量和发光特性的影响。扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)测试结果显示,随着退火温度的... 用稀土金属铽(Tb)作催化剂,通过磁控溅射和退火氨化法成功制备出大量单晶GaN纳米棒,并研究退火温度对GaN纳米棒表面形貌、晶体质量和发光特性的影响。扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)测试结果显示,随着退火温度的升高,纳米棒的直径和长度增大,结晶质量先变好后变差,PL测试发现了位于369nm处的强发光峰和387nm处的弱发光峰,其发光强度随退火温度的升高先增强后减弱,发光峰的位置并不改变,进而得出了制备GaN纳米棒的最佳退火温度为950℃。利用高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对950℃下制备的样品进行检测,结果显示样品为六方纤锌矿结构的单晶GaN纳米棒。 展开更多
关键词 氮化镓 纳米棒 退火温度 催化剂 晶体生长
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Strain relaxation and optical properties of etched In_(0.19)Ga_(0.81) N nanorod arrays on the GaN template
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作者 张东炎 郑新和 +4 位作者 李雪飞 吴渊渊 王辉 王建峰 杨辉 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第8期511-516,共6页
InGaN/GaN epilayers, which are grown on sapphire substrates by the metal-organic chemical-vapour deposition (MOCVD) method, are formed into nanorod arrays using inductively coupled plasma etching via self-assembled ... InGaN/GaN epilayers, which are grown on sapphire substrates by the metal-organic chemical-vapour deposition (MOCVD) method, are formed into nanorod arrays using inductively coupled plasma etching via self-assembled Ni nanomasks. The formation of nanorod arrays eliminates the tilt of the InGaN (0002) crystallographic plane with respect to its GaN bulk layer. Photoluminescence results show an apparent S-shaped dependence on temperature. The light extraction efficiency and intensity of photoluminescence emission at low temperature of less than 30 K for the nanorod arrays are enhanced by the large surface area, which increases the quenching effect because of the high density of surface states for the temperature above 30 K. Additionally, a red-shift for the InGaN/GaN nanorod arrays is observed due to the strain relaxation, which is confirmed by reciprocal space mapping measurements. 展开更多
关键词 Ingan/gan nanorod arrays PHOTOLUMINESCENCE strain relaxation recombination
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