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第三代半导体材料应用及制造工艺概况 被引量:7
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作者 柳滨 杨元元 +1 位作者 王东辉 詹阳 《电子工业专用设备》 2016年第1期1-9,14,共10页
对当前的第三代半导体材料的基本特性及应用领域进行研究,报告了Si C和Ga N材料的应用现状和发展趋势,并对其制造工艺进行了简要阐述。
关键词 半导体材料 碳化硅 氮化镓 制造工艺
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L_g=100 nm T-shaped gate AlGaN/GaN HEMTs on Si substrates with non-planar source/drain regrowth of highly-doped n^+-GaN layer by MOCVD 被引量:2
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作者 黄杰 黎明 +1 位作者 邓泽华 刘纪美 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第12期508-512,共5页
High-performance Al Ga N/Ga N high electron mobility transistors(HEMTs) grown on silicon substrates by metal–organic chemical-vapor deposition(MOCVD) with a selective non-planar n-type Ga N source/drain(S/D) re... High-performance Al Ga N/Ga N high electron mobility transistors(HEMTs) grown on silicon substrates by metal–organic chemical-vapor deposition(MOCVD) with a selective non-planar n-type Ga N source/drain(S/D) regrowth are reported. A device exhibited a non-alloyed Ohmic contact resistance of 0.209 Ω·mm and a comprehensive transconductance(gm) of 247 m S/mm. The current gain cutoff frequency f T and maximum oscillation frequency f MAX of 100-nm HEMT with S/D regrowth were measured to be 65 GHz and 69 GHz. Compared with those of the standard Ga N HEMT on silicon substrate, the fTand fMAXis 50% and 52% higher, respectively. 展开更多
关键词 ga n HEMTS S/D(S/D) regrowth MOCVD
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S波段GaN功率放大器MMIC 被引量:3
3
作者 王会智 吴洪江 +2 位作者 张力江 冯志红 崔玉兴 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期271-275,共5页
基于0.25μm Ga N HEMT工艺,研制了一款S波段Ga N功率放大器单片微波集成电路(MMIC)。该电路采用三级拓扑放大结构,提高了放大器的增益;采用电抗匹配方式,减小了电路输出级的损耗,提高了MMIC的功率和效率。输出级有源器件的布局优化,... 基于0.25μm Ga N HEMT工艺,研制了一款S波段Ga N功率放大器单片微波集成电路(MMIC)。该电路采用三级拓扑放大结构,提高了放大器的增益;采用电抗匹配方式,减小了电路输出级的损耗,提高了MMIC的功率和效率。输出级有源器件的布局优化,改善了放大器芯片的温度分布特性。测试结果表明,在2.8~3.6 GHz测试频带内,在脉冲偏压28 V(脉宽100μs,占空比10%)时,峰值输出功率大于60W,功率附加效率大于45%,小信号增益大于34 d B,增益平坦度在±0.3 d B以内,输入电压驻波比在1.7以下;在稳态偏压28 V时,连续波饱和输出功率大于40 W,功率附加效率38%以上。该MMIC尺寸为4.2 mm×4.0 mm。 展开更多
关键词 氮化镓 功率放大器 S波段 单片微波集成电路(MMIC) 连续波(CW) 脉冲
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Si(111)衬底切偏角对GaN基LED外延膜的影响 被引量:2
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作者 武芹 全知觉 +3 位作者 王立 刘文 张建立 江风益 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期466-471,共6页
利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法在具有偏角(0°~0.9°)的Si(111)衬底上生长了Ga N薄膜。采用高分辨X射线衍射(HRXRD)对Si衬底的偏角进行了精确的测量,利用HRXRD、原子力显微镜(AFM)以及光致发光(PL)对外延薄膜的晶体质量... 利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法在具有偏角(0°~0.9°)的Si(111)衬底上生长了Ga N薄膜。采用高分辨X射线衍射(HRXRD)对Si衬底的偏角进行了精确的测量,利用HRXRD、原子力显微镜(AFM)以及光致发光(PL)对外延薄膜的晶体质量、量子阱中In组分、表面形貌及光学特性进行了研究。结果表明,Si(111)衬底偏角对量子阱中的In组分、Ga N外延膜的表面形貌、晶体质量以及光学性能具有重大影响。为了获得高质量的Ga N外延薄膜,衬底偏角必须控制在小于0.5°的范围内。超出该范围,Ga N薄膜的晶体质量、表面形貌及光学性能都明显下降。 展开更多
关键词 SI衬底 偏角 gan MOCVD
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基于氮化镓的数字D类功放电路设计与实现 被引量:1
5
作者 杨通元 《电子测试》 2022年第24期21-24,共4页
本文介绍一种基于氮化镓芯片设计的数字D类功放电路。通过使用开关速度快、寄生参数小、电气性能优越的氮化镓作为功率器件,设计一个数字D类功放电路,放大信号功率,用于检测轨道上是否有列车占用的信息。实验结果表明,高频载波通过功放... 本文介绍一种基于氮化镓芯片设计的数字D类功放电路。通过使用开关速度快、寄生参数小、电气性能优越的氮化镓作为功率器件,设计一个数字D类功放电路,放大信号功率,用于检测轨道上是否有列车占用的信息。实验结果表明,高频载波通过功放器将信号功率放大,再通过LC低通滤波,输出低频解调信号,实测解调信号失真度小于-60d B,验证了该数字D类功放电路设计的可行性。 展开更多
关键词 氮化镓 数字D类功放 驱动电路 开关频率 低通滤波
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Concerning the maximum frequency limits of Gunn operators
6
作者 R F Macpherson G M Dunn +1 位作者 Ata Khalid D R S Cumming 《太赫兹科学与电子信息学报》 2015年第3期389-395,共7页
The length of the transit region of a Gunn diode determines the natural frequency at which it operates in fundamental mode-the shorter the device,the higher the frequency of operation.The long-held view on Gunn diode ... The length of the transit region of a Gunn diode determines the natural frequency at which it operates in fundamental mode-the shorter the device,the higher the frequency of operation.The long-held view on Gunn diode design is that for a functioning device the minimum length of the transit region is about 1.5μm,limiting the devices to fundamental mode operation at frequencies of roughly 60 GHz.The authors posit that this theoretical restriction is a consequence of limits of the hydrodynamic models by which it was determined.Study of these devices by more advanced Monte Carlo techniques,which simulate the ballistic transport and electron-phonon interactions that govern device behaviour,offers a new lower bound of 0.5μm,which is already being approached by the experimental evidence shown in planar and vertical devices exhibiting Gunn operation at 0.6μm and 0.7μm.It is shown that the limits for Gunn domain operation are determined by the device length required for the transferred electron effect to occur(approximately 0.15μm,which as demonstrated is largely field independent)and the fundamental size of the domain(approximately 0.3μm).At this new length,operation in fundamental mode at much higher frequencies becomes possible-the Monte Carlo model used predicts power output at frequencies over 300 GHz. 展开更多
关键词 GUnn DIODE MOnTE Carlo THEORETICAL limits ga n
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玻璃衬底上制备GaN薄膜的研究进展 被引量:1
7
作者 汪金 张卿 +2 位作者 杨国锋 高淑梅 李果华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第11期801-809,834,共10页
近年来,Ga N基发光二极管(LED)的发展异常迅速,以玻璃为衬底的LED具有成本低、可大面积化生产等优点而引起了国内外许多科研机构的广泛研究兴趣。但由于普通玻璃较低的软化温度(500~600℃)以及与Ga N之间存在较大的晶格失配问题,一... 近年来,Ga N基发光二极管(LED)的发展异常迅速,以玻璃为衬底的LED具有成本低、可大面积化生产等优点而引起了国内外许多科研机构的广泛研究兴趣。但由于普通玻璃较低的软化温度(500~600℃)以及与Ga N之间存在较大的晶格失配问题,一直阻碍其发展。重点综述了玻璃衬底上生长Ga N薄膜的方法以及改善外延层晶体质量的技术。分别介绍了两种在普通玻璃上生长Ga N的方法,即低温生长和局部加热生长,同时详述了采用缓冲层和横向外延过生长(ELO)技术对外延Ga N晶体质量的影响。对局部加热、ELO等技术在玻璃衬底LED方面的应用进行了分析和预测,认为以玻璃为衬底的LED终会取得快速地发展。 展开更多
关键词 薄膜 氮化镓 玻璃衬底 发光二极管(LED) 横向外延过生长(ELO)
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First-principles exploration of defect-pairs in GaN 被引量:1
8
作者 He Li Menglin Huang Shiyou Chen 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2020年第3期23-31,共9页
Using first-principles calculations,we explored all the 21 defect-pairs in GaN and considered 6 configurations with different defect-defect distances for each defect-pair.15 defect-pairs with short defect–defect dist... Using first-principles calculations,we explored all the 21 defect-pairs in GaN and considered 6 configurations with different defect-defect distances for each defect-pair.15 defect-pairs with short defect–defect distances are found to be stable during structural relaxation,so they can exist in the GaN lattice once formed during the irradiation of high-energy particles.9 defect-pairs have formation energies lower than 10 eV in the neutral state.The vacancy-pair VN–VN is found to have very low formation energies,as low as 0 eV in p-type and Ga-rich GaN,and act as efficient donors producing two deep donor levels,which can limit the p-type doping and minority carrier lifetime in GaN.VN–VN has been overlooked in the previous study of defects in GaN.Most of these defect-pairs act as donors and produce a large number of defect levels in the band gap.Their formation energies and concentrations are sensitive to the chemical potentials of Ga and N,so their influences on the electrical and optical properties of Ga-rich and N-rich GaN after irradiation should differ significantly.These results about the defect-pairs provide fundamental data for understanding the radiation damage mechanism in GaN and simulating the defect formation and diffusion behavior under irradiation. 展开更多
关键词 gan first-principles calculations radiation damage defect-pairs point defects
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高压LED阵列电学特性的优化方法的研究
9
作者 王红航 杜志娟 +5 位作者 刘飞飞 于宁 朱彦旭 王岳华 宋会会 曹伟伟 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第8期81-83,91,共4页
高压LED制备工艺中,优化电极参数是获得均匀分布电流,改善电流输运特性,提高器件出光效率的主要方法之一。改进不同隔离层制备工艺参数与电极参数,抽样检测样品,对结果分析发现,Cr/Au电极厚度分别达到500 nm/300 nm后,总体提高了高压LE... 高压LED制备工艺中,优化电极参数是获得均匀分布电流,改善电流输运特性,提高器件出光效率的主要方法之一。改进不同隔离层制备工艺参数与电极参数,抽样检测样品,对结果分析发现,Cr/Au电极厚度分别达到500 nm/300 nm后,总体提高了高压LED的电流输运特性,减少了高压LED漏电现象,增强了高压LED的电学稳定性,改善了金属电极厚度对高压LED的影响。通过二步法制备隔离层,改变LED工艺参数及隔离层倾角,制备出正向电压约12 V的串联高压LED。 展开更多
关键词 氮化镓 电极参数 高压LED 电流输运特性 光输出功率 电学特性
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I层对PIN型InGaN太阳电池性能影响的研究
10
作者 黄保瑞 张富春 《河南科学》 2015年第11期1946-1948,共3页
利用wx AMPS软件研究了I层对PIN型In Ga N太阳电池性能的影响及物理机制.通过模拟计算发现,在同质结的PIN型In Ga N太阳电池中,随着I层厚度的增加,In Ga N电池的开路电压几乎恒定,而短路电流增加,因此太阳能转换效率增加.在异质结的PIN... 利用wx AMPS软件研究了I层对PIN型In Ga N太阳电池性能的影响及物理机制.通过模拟计算发现,在同质结的PIN型In Ga N太阳电池中,随着I层厚度的增加,In Ga N电池的开路电压几乎恒定,而短路电流增加,因此太阳能转换效率增加.在异质结的PIN型In Ga N太阳电池中,I层与P层和N层的In组分之差变大,会使异质结带阶变大,降低了太阳电池的能量转换效率.研究结果表明,适当选择I层厚度和In组分可以实现太阳电池转换效率提升和成本控制. 展开更多
关键词 太阳电池 Ingan 转换效率
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Au-AlGaN/GaN HFET研制与器件特性 被引量:14
11
作者 张锦文 闫桂珍 +3 位作者 张太平 王玮 宁宝俊 武国英 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期424-427,共4页
报道了栅长为 1.5 μm Au- Al Ga N/ Ga N HFET器件的研制和器件的室温特性测试结果 .同时 ,研究了器件经30 0℃、30 min热处理对器件性能的影响 ,并对比了热处理前后器件的室温特性 .实验证明 :室温下 ,器件具有良好的输出特性和肖特... 报道了栅长为 1.5 μm Au- Al Ga N/ Ga N HFET器件的研制和器件的室温特性测试结果 .同时 ,研究了器件经30 0℃、30 min热处理对器件性能的影响 ,并对比了热处理前后器件的室温特性 .实验证明 :室温下 ,器件具有良好的输出特性和肖特基结伏安特性 ,反向漏电流较小 ,最大跨导可达 47m S/ mm;经过 30 0℃、30 m in热处理后器件的室温输出特性有显著改善 ,而且器件饱和压降明显降低 ,说明 30 展开更多
关键词 ALgan/gan HFET 输出特性 器件特性
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基于氮化镓器件和矩阵变压器的高频LLC直流变压器 被引量:18
12
作者 任仁 刘硕 张方华 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第13期3373-3380,共8页
随着中转母线变换器(intermediate bus converter,IBC)的发展,其对输出功率和高开关频率的需求不断提高,而氮化镓器件的出现使得变换器的功率密度有了进一步提高的可能。该文分析了氮化镓器件的高频特性和高频工作下的优势,针对现有氮... 随着中转母线变换器(intermediate bus converter,IBC)的发展,其对输出功率和高开关频率的需求不断提高,而氮化镓器件的出现使得变换器的功率密度有了进一步提高的可能。该文分析了氮化镓器件的高频特性和高频工作下的优势,针对现有氮化镓器件驱动设计困难和载流能力差的问题,设计了驱动电路关键参数和驱动回路布局,提出了基于效率优化的LLC直流变压器死区时间和分流支路数的最优解,并优化设计了变压器的结构以减小涡流损耗和漏感感值。最后制作了基于氮化镓器件的300 W、1 MHz的LLC-DCT样机,验证了设计手段的合理性和正确性。 展开更多
关键词 LLC直流变压器 氮化镓器件 矩阵变压器 死区时间效率最优解
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GaN器件的LLC谐振变换器的优化设计 被引量:18
13
作者 马焕 王康平 +1 位作者 杨旭 甘永梅 《电源学报》 CSCD 2015年第1期21-27,共7页
首先介绍了LLC谐振变换器的工作原理,详细分析了基于增强型氮化镓(e Ga N)场效应晶体管的LLC谐振变换器的开关过程。分析结果表明,通过调节死区时间可以避免Ga N晶体管的反向导通,从而减小损耗;通过减小高频功率回路电感可以减小功率回... 首先介绍了LLC谐振变换器的工作原理,详细分析了基于增强型氮化镓(e Ga N)场效应晶体管的LLC谐振变换器的开关过程。分析结果表明,通过调节死区时间可以避免Ga N晶体管的反向导通,从而减小损耗;通过减小高频功率回路电感可以减小功率回路的振荡。再对死区时间和功率回路布线分别进行了优化,由于Ga N晶体管栅源电压安全裕量很小,为确保器件安全,对驱动回路布线进行优化;最后设计了1台输入电压为48 V、输出电压为12 V、输出功率为100 W、开关频率为1 MHz的LLC实验样机,并进行了实验验证。实验结果表明,高频功率回路电感从5.6 n H降为0.4 n H时,下管关断时的漏源电压超调由15%下降到6.7%,另外驱动功率回路采用单层布线带屏蔽层的布线方式后,开关管的驱动电压几乎没有振荡。 展开更多
关键词 LLC 氮化镓器件 死区时间 寄生电感 布线
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用热反射测温技术测量GaNHEMT的瞬态温度 被引量:13
14
作者 翟玉卫 梁法国 +2 位作者 郑世棋 刘岩 李盈慧 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期76-80,共5页
利用具备亚微米量级空间分辨率和纳秒级时间分辨率的热反射测温技术对工作在脉冲偏置条件下的CGH4006P型Ga N HEMT进行了瞬态温度检测。测量了Ga N器件表面栅极、漏极和源极金属各部位在20μs内的瞬态温度幅度、分布及变化速度等数据。... 利用具备亚微米量级空间分辨率和纳秒级时间分辨率的热反射测温技术对工作在脉冲偏置条件下的CGH4006P型Ga N HEMT进行了瞬态温度检测。测量了Ga N器件表面栅极、漏极和源极金属各部位在20μs内的瞬态温度幅度、分布及变化速度等数据。栅极、漏极和源极的温度幅度有着非常明显的差距,器件表面以栅为中心呈现较大的温度分布梯度。器件表面栅金属温度变化幅度最高、变化速度最快,其主要温度变化发生在5μs之内。经过仔细分析,器件各部位温度差异的主要原因是器件的传热方向、不同区域与发热点的距离。 展开更多
关键词 热反射测温 氮化镓(gan) 高电子迁移率晶体管(HEMT) 瞬态温度 脉冲条件
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逆F类高效氮化镓Doherty射频功率放大器设计 被引量:10
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作者 王洋 刘太君 +1 位作者 叶焱 孙超 《微波学报》 CSCD 北大核心 2014年第6期64-68,共5页
逆F类功放在接近饱和区工作时效率很高,将其与Doherty功放结构相结合,可以实现一种在大功率回退的情况下仍然具有很高效率的射频功率放大器。本文设计了一款基于Ga N HEMT晶体管的高效率的逆F类Doherty功率放大器,工作频带为910MHz^950... 逆F类功放在接近饱和区工作时效率很高,将其与Doherty功放结构相结合,可以实现一种在大功率回退的情况下仍然具有很高效率的射频功率放大器。本文设计了一款基于Ga N HEMT晶体管的高效率的逆F类Doherty功率放大器,工作频带为910MHz^950MHz。单音信号测试结果显示,在930MHz处,功放回退7.5d B后漏极效率仍高达64.2%。使用3载波WCDMA信号作为测试信号,利用数字预失真技术进行线性化后,功放输出信号的上下边带邻信道功率比(ACPR)分别为-35.39d Bc和-35.9d Bc。 展开更多
关键词 DOHERTY功率放大器 氮化镓 逆F类 高效率
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GaN高频开关电力电子学的新进展 被引量:8
16
作者 赵正平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期1-9,共9页
宽禁带半导体的发展给电力电子领域带来新一代功率开关器件,随着Si C功率器件的发展,Ga N功率高电子迁移率晶体管(HEMT)在微波毫米波领域发展成熟的同时,又在电力电子的高频开关方面进入应用创新的发展阶段。综述了近几年Ga N功率HEMT... 宽禁带半导体的发展给电力电子领域带来新一代功率开关器件,随着Si C功率器件的发展,Ga N功率高电子迁移率晶体管(HEMT)在微波毫米波领域发展成熟的同时,又在电力电子的高频开关方面进入应用创新的发展阶段。综述了近几年Ga N功率HEMT在高频开关方面的最新进展:高频高效率开关应用;高功率密度;栅极驱动电路设计;大功率集成;热设计和可靠性研究等。重点介绍了基于Ga N功率HEMT在高频开关中应用的特点,在电路拓扑结构设计、寄生参量的抑制、栅极驱动电路设计、功率集成、散热设计与工艺和失效机理等创新。Ga N高频开关电力电子学在应用创新方面已取得重要进展。 展开更多
关键词 电力电子学 gan功率高电子迁移率晶体管(HEMT) 开关频率 高效率 高功率密度 栅极驱动电路 功率集成 热管理
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C波段大功率GaN HEMT内匹配器件 被引量:5
17
作者 娄辰 张蓓蓓 +2 位作者 银军 刘桢 张志国 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期201-204,共4页
基于Ga N微波功率器件工艺制作了大栅宽Ga N高电子迁移率晶体管(HEMT)管芯,通过负载牵引及建模技术提取了管芯的输入阻抗、输出阻抗。采用二项式多节阻抗匹配变换器实现了宽带功率分配器及合成器电路的制作,通过采用LC网络提升了管芯... 基于Ga N微波功率器件工艺制作了大栅宽Ga N高电子迁移率晶体管(HEMT)管芯,通过负载牵引及建模技术提取了管芯的输入阻抗、输出阻抗。采用二项式多节阻抗匹配变换器实现了宽带功率分配器及合成器电路的制作,通过采用LC网络提升了管芯输入阻抗、输出阻抗,加入了稳定网络,实现了50Ω阻抗匹配。采用高热导率金属陶瓷外壳,提高了器件散热能力。最终研制成功大功率Ga N HEMT内匹配器件,器件采用四胞管芯功率合成技术,总栅宽为40 mm。测试结果表明,频率为4.5~4.8 GHz,脉宽300μs,占空比10%,工作电压VDS为28V,器件的输出功率大于120 W,功率附加效率大于50%,功率增益大于11 d B。 展开更多
关键词 氮化镓高电子迁移率晶体管(ga n HEMT) 内匹配 功率合成 大功率 阻抗
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一种S波段300W功放模块设计 被引量:3
18
作者 邓友富 郑焘 《微波学报》 CSCD 北大核心 2016年第S2期331-333,共3页
本文介绍一种S波段300W功率放大器模块设计,功放模块由功放单元与分配合成单元组成。展开讨论了功放单元的功率管选择、匹配电路设计以及分配合成器的仿真设计,并以此组成功放模块进行实物测试,得到了300W输出功率和40%效率的特性。
关键词 功放模块 ga n功率管 阻抗匹配 分配合成 ADS仿真
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高分辨X射线衍射表征氮化镓外延层缺陷密度 被引量:4
19
作者 崔潆心 徐明升 +1 位作者 徐现刚 胡小波 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期1094-1098,共5页
利用高分辨X射线衍射方法,分析了在4H-Si C(0001)面上采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)生长的Ga N薄膜的位错。采用对称面衍射和斜对称面衍射等方法研究了晶面倾转角、面内扭转角、晶粒尺寸和晶面弯曲半径等参数,通过排除仪器、晶粒... 利用高分辨X射线衍射方法,分析了在4H-Si C(0001)面上采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)生长的Ga N薄膜的位错。采用对称面衍射和斜对称面衍射等方法研究了晶面倾转角、面内扭转角、晶粒尺寸和晶面弯曲半径等参数,通过排除仪器、晶粒尺寸及晶面弯曲对摇摆曲线半高宽的影响,从而获得Ga N薄膜的螺位错密度和刃位错密度分别为4.62×107 cm-2和5.20×109 cm-2,总位错密度为5.25×109 cm-2。 展开更多
关键词 氮化镓薄膜 高分辨X射线衍射 位错密度
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低复杂度的带限记忆多项式预失真器的设计 被引量:4
20
作者 张祺 刘友江 +2 位作者 曹韬 周劼 陈文华 《微波学报》 CSCD 北大核心 2015年第5期77-81,共5页
提出一种低复杂度的带限记忆多项式模型,通过对由低阶带限滤波器构成的带限记忆多项式模型的建模误差进行前向弥补,可以有效地降低模型所需的滤波器阶数和提高模型的建模精度,从而降低模型的复杂度。实验中,采用一款功率为35W的AB类Ga ... 提出一种低复杂度的带限记忆多项式模型,通过对由低阶带限滤波器构成的带限记忆多项式模型的建模误差进行前向弥补,可以有效地降低模型所需的滤波器阶数和提高模型的建模精度,从而降低模型的复杂度。实验中,采用一款功率为35W的AB类Ga N功放和带宽为60MHz的OFDM信号证明这种方法的优越性,实验结果表明,提出的方法与传统的带限记忆多项式模型相比,复杂度更低且精度更高。 展开更多
关键词 AB类氮化镓功放 带限记忆多项式 带限滤波器 数字预失真 正交频分复用(OFDM)
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