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氧化铝纳米线的制备及其形成机理 被引量:22
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作者 张璐 姚素薇 +1 位作者 张卫国 王宏智 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1254-1258,共5页
采用二次铝阳极氧化技术,制备高度有序的铝阳极氧化膜(AAO模板).经X射线衍射(XRD)分析,模板为无定形结构.将模板放入腐蚀液中,可获得大量无定形结构的氧化铝纳米线.模板在800℃下退火4h后,变为!-Al2O3结构,采用类似腐蚀液溶解模板,得到... 采用二次铝阳极氧化技术,制备高度有序的铝阳极氧化膜(AAO模板).经X射线衍射(XRD)分析,模板为无定形结构.将模板放入腐蚀液中,可获得大量无定形结构的氧化铝纳米线.模板在800℃下退火4h后,变为!-Al2O3结构,采用类似腐蚀液溶解模板,得到大量!-Al2O3纳米线.研究了腐蚀液种类、腐蚀时间和模板晶体结构等因素对生成氧化铝纳米线的影响,并利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和XRD对纳米线的形貌与结构进行了表征.结果表明,在多种腐蚀液中,均可获得氧化铝纳米线;随着腐蚀时间的增加,纳米线的长度增加,直径变小,长径比增大;氧化铝纳米线的晶体结构与所采用模板的晶体结构一致.此外,还采用原子力显微镜(AFM)和SEM对AAO膜的表面形貌及其结构特点进行了详细的观测,并以此为基础讨论了氧化铝纳米线的形成机理,认为AAO模板本身存在的花状微结构是形成纳米线的内因,花瓣间的凹陷部位首先被腐蚀断裂,形成氧化铝纳米线. 展开更多
关键词 多孔阳极氧化铝(AAO)膜 腐蚀法 氧化铝纳米线 形成机制
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光刻与等离子体刻蚀技术 被引量:8
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作者 刘之景 刘晨 《物理》 CAS 1999年第7期425-429,共5页
介绍了光刻与等离子体刻蚀技术的特点与进展。
关键词 光刻 等离子体刻蚀 物理机制
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刻蚀法制备超疏水金属表面的研究综述 被引量:10
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作者 刘晓燕 赵雨新 +3 位作者 赵海谦 董明 刘景雯 冯绍桐 《功能材料与器件学报》 CAS 2019年第4期221-228,共8页
超疏水金属表面具有耐腐蚀、防冰霜、自清洁、滑移减阻等优异性能。根据应用领域不同,涉及的金属基底主要有铜、锌、铝、不锈钢、合金等。相较于其他的超疏水金属表面制备方法,刻蚀法能够更加直接有效的构建表面粗糙结构,而被广泛应用... 超疏水金属表面具有耐腐蚀、防冰霜、自清洁、滑移减阻等优异性能。根据应用领域不同,涉及的金属基底主要有铜、锌、铝、不锈钢、合金等。相较于其他的超疏水金属表面制备方法,刻蚀法能够更加直接有效的构建表面粗糙结构,而被广泛应用。常用的刻蚀法包括激光刻蚀法、等离子刻蚀法和化学刻蚀法等。首先对这三种刻蚀方法的机理进行了简单的介绍,综述了近年来国内外学者运用刻蚀法在不同金属基底上制备超疏水表面的研究现状,并进行了总结与展望。最后针对目前存在的问题提出建议,期望为进一步的研究提供一定的参考基础。 展开更多
关键词 刻蚀机理 金属 表面 刻蚀法 超疏水
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氧化亚铜微米晶的制备及形成机制 被引量:9
4
作者 宁甲甲 肖宁如 林奥雷 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期809-813,共5页
采用水热法制备了六角星形的Cu2O微米晶,通过X射线衍射及透射电子显微镜等手段对产物进行了表征,结果表明,六角星形貌是通过侵蚀八面体的(111)面形成的.研究发现,反应物的浓度对产物的形貌有重要影响,即只有在反应物的浓度低于一定值时... 采用水热法制备了六角星形的Cu2O微米晶,通过X射线衍射及透射电子显微镜等手段对产物进行了表征,结果表明,六角星形貌是通过侵蚀八面体的(111)面形成的.研究发现,反应物的浓度对产物的形貌有重要影响,即只有在反应物的浓度低于一定值时才会形成八面体,增加浓度会使产物形貌由八面体逐渐转变成球形;氨水和柠檬酸对产物的形貌也有一定的影响,柠檬酸钠在反应中起还原剂的作用,同时作为表面活性剂还能起到控制形貌的作用. 展开更多
关键词 Cu2O微米晶 侵蚀 表面活性剂 机理
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铝箔交流扩面腐蚀中SO_4^(2-)缓蚀机理的研究 被引量:8
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作者 冯哲圣 肖占文 杨邦朝 《中国腐蚀与防护学报》 CAS CSCD 2003年第2期70-74,共5页
测试了高纯电子铝箔 (以下简称铝箔 )在 2mol/LHCl和 2mol/LHCl+0 5mol/LH2 SO4溶液中三角波动电位激励时的电流响应曲线 ,用Daubechies2小波对所测得的电流响应曲线进行了时频分解 ,研究了SO2 -4在铝箔交流扩面电蚀工程中的缓蚀机理 ... 测试了高纯电子铝箔 (以下简称铝箔 )在 2mol/LHCl和 2mol/LHCl+0 5mol/LH2 SO4溶液中三角波动电位激励时的电流响应曲线 ,用Daubechies2小波对所测得的电流响应曲线进行了时频分解 ,研究了SO2 -4在铝箔交流扩面电蚀工程中的缓蚀机理 .提出了铝箔在含Cl-溶液中点蚀时的氧空位侵蚀机理模型 ,该模型指出在一定的酸度条件下 ,在侵蚀膜表面形成的正电荷集中点是Cl-与SO2 -4发生特性吸附的原因 ;Cl-在侵蚀膜内的主要传输途径是存在于侵蚀膜内微晶晶界上的氧空位链 ;进入侵蚀膜内的SO2 -4在强场作用下发生离解 ,离解出的O2 -与侵蚀膜内的氧空位作用 ,致使氧空位湮灭 ,切断了Cl-在侵蚀膜内的传输途径 ,同时由于这种作用调整了Cl-在侵蚀膜内传输的网络结构 ,增加了蚀孔内新生蚀孔的萌生机率 。 展开更多
关键词 铝箔 交流扩面腐蚀 缓蚀机理 硫酸根离子
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蓝宝石衬底上化学气相沉积法生长石墨烯 被引量:8
6
作者 刘庆彬 蔚翠 +4 位作者 何泽召 王晶晶 李佳 芦伟立 冯志红 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2016年第3期787-792,共6页
化学气相沉积(CVD)法是制备大面积、高质量石墨烯材料的主要方法之一,但存在衬底转移和碳固溶等问题,本文选用蓝宝石衬底弥补了传统CVD法的不足。利用CVD法在蓝宝石衬底上生长石墨烯材料,研究生长温度对石墨烯表面形貌和晶体质量的影响... 化学气相沉积(CVD)法是制备大面积、高质量石墨烯材料的主要方法之一,但存在衬底转移和碳固溶等问题,本文选用蓝宝石衬底弥补了传统CVD法的不足。利用CVD法在蓝宝石衬底上生长石墨烯材料,研究生长温度对石墨烯表面形貌和晶体质量的影响。原子力显微镜(AFM)、光学显微镜(OM)、拉曼光谱和霍尔测试表明,低温生长有利于保持材料表面的平整度,高温生长有利于提高材料的晶体质量。研究氢气和碳源对蓝宝石衬底表面刻蚀作用机理,发现氢气对蓝宝石衬底有刻蚀作用,而单纯的碳源不能对衬底产生刻蚀效果。在1200℃下,直径为50 mm的晶圆级衬底上获得平整度和质量相对较好的石墨烯材料,室温下载流子迁移超过1000 cm^2?V^(-1)?s^(-1)。 展开更多
关键词 石墨烯 蓝宝石 化学气相沉积法 生长温度 刻蚀机理
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氧化铁刻蚀金刚石表面形貌的表征及形成机理 被引量:7
7
作者 肖长江 窦志强 朱振东 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第14期14045-14050,共6页
为了系统研究不同温度下氧化铁刻蚀金刚石表面的形貌及形成机理,以人造金刚石为刻蚀材料,以氧化铁作为刻蚀剂,先将金刚石洗净,然后将金刚石与氧化铁以质量比为1∶5混合均匀、压实,用氮气作为保护气氛,在650~850℃下用氧化铁刻蚀金刚石... 为了系统研究不同温度下氧化铁刻蚀金刚石表面的形貌及形成机理,以人造金刚石为刻蚀材料,以氧化铁作为刻蚀剂,先将金刚石洗净,然后将金刚石与氧化铁以质量比为1∶5混合均匀、压实,用氮气作为保护气氛,在650~850℃下用氧化铁刻蚀金刚石单晶表面。再用扫描电子显微镜及其3D重建技术、热重分析、X射线衍射和拉曼光谱等方法对刻蚀后金刚石单晶不同晶面的表面形貌、表面粗糙度、物相组成和刻蚀机理进行了表征与分析。首次用3D重建技术对刻蚀后金刚石不同晶面的形貌进行了立体观测,用铜基结合剂金刚石试样的抗弯强度来评估刻蚀对金刚石与结合剂间结合力的影响。结果表明:氧化铁在不同温度下均能有效刻蚀金刚石单晶,且对不同晶面的刻蚀程度和形貌是各向异性的;当刻蚀温度为650℃时,氧化铁对金刚石单晶已有一定的刻蚀;随温度的升高,刻蚀加剧;在相同条件下,金刚石单晶的{100}面刻蚀程度比{111}面严重,{100}面表面粗糙度S a从0.84μm升至3.73μm,{111}面表面粗糙度S a从0.77μm升高至2.01μm。刻蚀后,金刚石单晶的不同晶面形貌由金刚石本身的原子排列决定,随着刻蚀温度从650℃升至850℃,金刚石{100}面刻蚀坑从四边形变为八边形,{111}面由轻微的点状变为三棱锥形凸起。氧化铁对金刚石单晶的刻蚀机理是金刚石的氧化过程。刻蚀后,铜基结合剂金刚石试样的抗弯强度有较大的提高。 展开更多
关键词 金刚石单晶 氧化铁 温度 各向异性刻蚀 表面粗糙度 机理
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Recent Advances and Perspectives of Lewis Acidic Etching Route:An Emerging Preparation Strategy for MXenes 被引量:2
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作者 Pengfei Huang Wei-Qiang Han 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第5期187-235,共49页
Since the discovery in 2011,MXenes have become the rising star in the field of two-dimensional materials.Benefiting from the metallic-level conductivity,large and adjustable gallery spacing,low ion diffusion barrier,r... Since the discovery in 2011,MXenes have become the rising star in the field of two-dimensional materials.Benefiting from the metallic-level conductivity,large and adjustable gallery spacing,low ion diffusion barrier,rich surface chemistry,superior mechanical strength,MXenes exhibit great application prospects in energy storage and conversion,sensors,optoelectronics,electromagnetic interference shielding and biomedicine.Nevertheless,two issues seriously deteriorate the further development of MXenes.One is the high experimental risk of common preparation methods such as HF etching,and the other is the difficulty in obtaining MXenes with controllable surface groups.Recently,Lewis acidic etching,as a brand-new preparation strategy for MXenes,has attracted intensive attention due to its high safety and the ability to endow MXenes with uniform terminations.However,a comprehensive review of Lewis acidic etching method has not been reported yet.Herein,we first introduce the Lewis acidic etching from the following four aspects:etching mechanism,terminations regulation,in-situ formed metals and delamination of multi-layered MXenes.Further,the applications of MXenes and MXene-based hybrids obtained by Lewis acidic etching route in energy storage and conversion,sensors and microwave absorption are carefully summarized.Finally,some challenges and opportunities of Lewis acidic etching strategy are also presented. 展开更多
关键词 Lewis acidic etching MXenes etching mechanism Termination regulation In-situ formed metals DELAMINATION Application
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基于银纳米三角片蚀刻机制区分不同产地浓香型白酒
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作者 贾俊杰 张宿义 +4 位作者 许涛 马龙 黄张君 王松涛 佘远斌 《食品工业科技》 CAS 北大核心 2024年第10期254-262,共9页
区分不同产地白酒对于产品质量控制和原产地保护具有重要意义。本研究以四种不同形貌大小的银纳米三角片(Ag nanoprism,AgNPRs)作为传感材料,两种金属离子和一种氧化阴离子作为氧化蚀刻剂,基于AgNPRs蚀刻机制构建了一种4×3传感阵列... 区分不同产地白酒对于产品质量控制和原产地保护具有重要意义。本研究以四种不同形貌大小的银纳米三角片(Ag nanoprism,AgNPRs)作为传感材料,两种金属离子和一种氧化阴离子作为氧化蚀刻剂,基于AgNPRs蚀刻机制构建了一种4×3传感阵列,将该阵列对四川、江淮和北方三大产地共41款代表性浓香型白酒样品进行比色响应,所获得的比色信号值通过线性判别分析(linear discriminant analysis,LDA)进行判别分析,并进一步选取了部分未知样品对判别模型进行了外部验证。比色响应机制研究结果表明,白酒样品对AgNPRs的蚀刻效应起促进作用,这可能与白酒中含有不同的有机酸有关。对不同产地样品的区分结果显示,单一阵列对不同产地样品的区分效果相对较低,三种阵列组合后的区分效果明显提高,对41个样品的产地判别率可达99%,对15个未知浓香型酒样的产地判别率可达98%。采用组合阵列对四川产地5种品牌21个样品和江淮产地3种品牌13个样品判别率分别可达99%和100%,采用单一阵列对四川各厂家不同等级产品的判别率均可达100%。本研究采用的纳米比色传感方法简便快速,不仅可用于产品鉴别和防伪,也可辅助用于生产过程质量监控,为白酒质量智能化监控奠定研究基础。 展开更多
关键词 浓香型白酒 银纳米三角片 蚀刻机制 比色传感阵列 模式识别
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Construct a 3D microsphere of HMX/B/Al/PTFE to obtain the high energy and combustion reactivity
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作者 Jian Wang Jie Chen +4 位作者 Yaofeng Mao Yongjun Deng Wei Cao Fude Nie Jun Wang 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第2期45-54,共10页
Metal(aluminum and boron)based energetic materials have been wildly applied in various fields including aerospace,explosives and micro-devices due to their high energy density.Unfortunately,the low combustion efficien... Metal(aluminum and boron)based energetic materials have been wildly applied in various fields including aerospace,explosives and micro-devices due to their high energy density.Unfortunately,the low combustion efficiency and reactivity of metal fuels,especially boron(B),severely limit their practical applications.Herein,multi-component 3D microspheres of HMX/B/Al/PTFE(HBA)have been designed and successfully prepared by emulsion and solvent evaporation method to achieve superior energy and combustion reactivity.The reactivity and energy output of HBA are systematically measured by ignitionburning test,constant-volume explosion vessel system and bomb calorimetry.Due to the increased interfacial contact and reaction area,HBA shows higher flame propagation rate,faster pressurization rate and larger combustion heat of 29.95 cm/s,1077 kPa/s,and 6164.43 J/g,which is 1.5 times,3.5 times,and 1.03 times of the physical mixed counterpart(HBA-P).Meanwhile,HBA also shows enhanced energy output and reactivity than 3D microspheres of HMX/B/PTFE(HB)resulting from the high reactivity of Al.The reaction mechanism of 3D microspheres is comprehensively investigated through combustion emission spectral and thermal analysis(TG-DSC-MS).The superior reactivity and energy of HBA originate from the surface etching of fluorine to the inert shell(Al_(2)O_(3) and B_(2)O_(3))and the initiation effect of Al to B.This work offers a promising approach to design and prepare high-performance energetic materials for the practical applications. 展开更多
关键词 HMX/B/Al/PTFE 3D microspheres Surface etching Reaction mechanism
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KOH热湿腐蚀法准确估算GaN的位错密度(英文) 被引量:2
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作者 高志远 郝跃 +2 位作者 张进城 张金凤 倪金玉 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期742-750,共9页
实验目的在于解决GaN外延层中六方形腐蚀坑起源问题存在的分歧,并利用腐蚀法准确地估计GaN的位错密度。大量对熔融KOH腐蚀GaN过程中表面形貌的演化以及温度和时间对腐蚀结果影响的实验结果表明,位错类型与腐蚀坑三维形状相对应,而与腐... 实验目的在于解决GaN外延层中六方形腐蚀坑起源问题存在的分歧,并利用腐蚀法准确地估计GaN的位错密度。大量对熔融KOH腐蚀GaN过程中表面形貌的演化以及温度和时间对腐蚀结果影响的实验结果表明,位错类型与腐蚀坑三维形状相对应,而与腐蚀坑大小无关,极性是GaN不同种类位错的腐蚀坑具有不同形状的决定性因素。使所有缺陷都显示出来所需的腐蚀温度和时间呈反比关系。腐蚀法估算GaN位错密度的准确性取决于优化的腐蚀条件和合理的微观观测方法。 展开更多
关键词 位错密度 GAN 腐蚀坑密度 腐蚀机制
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Etching Mechanism of Ti_(3)C_(2)Cl_(2) MXene Phases by CuCl_(2)-Lewis Molten Salt Method
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作者 严明 ZHU Yu +5 位作者 HUANG Jiangtao CHEN Haoyu DENG Yuxiao CHEN Yanlin 王娟 Jan-Michael Albina 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第4期863-868,共6页
We described a method for obtaining fluorine-free Ti_(3)C_(2)Cl_(2)MXene phases by melting copper in CuCl_(2)instead of aluminum in Ti_(3)AlC_(2).XRD results show that when molten salt CuCl_(2)etches Ti_(3)AlC_(2),it ... We described a method for obtaining fluorine-free Ti_(3)C_(2)Cl_(2)MXene phases by melting copper in CuCl_(2)instead of aluminum in Ti_(3)AlC_(2).XRD results show that when molten salt CuCl_(2)etches Ti_(3)AlC_(2),it forms an intermediate product Ti_(3)CuC_(2),and then reacts with Ti_(3)CuC_(2)to obtain Ti_(3)C_(2)Cl_(2).The reaction of Ti_(3)AlC_(2)and CuCl_(2)at a temperature of 800℃for 2 h to obtain Ti_(3)C_(2)Cl_(2)with an optimal lamellar structure is shown in SEM results.The pseudopotential plane-wave(PP-PW)method is used to calculate on the electronic structure.The etching mechanism is investigated by the total energies of each substance.The chemical reaction of Ti_(3)AlC_(2)and CuCl_(2)will first become Ti_(3)CuC_(2)and Cu,and then become Ti_(3)C_(2)Cl_(2)during the Lewis acid etching process,which are consistent with the experimental results. 展开更多
关键词 molten salt method CuCl_(2) MXene first-principles calculations etching mechanism
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蓝宝石晶体湿法刻蚀各向异性研究与机理分析
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作者 张辉 钱珺 洪莉莉 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第6期1128-1135,共8页
当前蓝宝石各向异性刻蚀规律还没有获得完整揭示,其刻蚀微结构演化过程和形貌结构很难实现准确预测和控制,给蓝宝石衬底图案化结构加工成型和质量控制带来很大的挑战。本研究基于蓝宝石全晶面刻蚀速率实验数据,详细分析了其微结构刻蚀... 当前蓝宝石各向异性刻蚀规律还没有获得完整揭示,其刻蚀微结构演化过程和形貌结构很难实现准确预测和控制,给蓝宝石衬底图案化结构加工成型和质量控制带来很大的挑战。本研究基于蓝宝石全晶面刻蚀速率实验数据,详细分析了其微结构刻蚀成型过程和刻蚀机理,并对比分析了刻蚀条件对蓝宝石刻蚀微结构和表面形貌的影响规律,实验结果表明:适当提高刻蚀温度可以提高刻蚀效率,但会引起表面质量的下降;以磷酸为代表的弱电解质类作为刻蚀缓冲剂能够有效提高刻蚀结构面质量;(275±10)℃,98%H_(2)SO_(4)∶85%H_(3)PO_(4)(体积配比)=3∶1刻蚀溶液可以获得最优的刻蚀速率和表面质量。 展开更多
关键词 蓝宝石 湿法刻蚀 各向异性 刻蚀条件 刻蚀机理 表面形貌
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Visually monitoring the etching process of gold nanoparticles by KI/12 at single-nanoparticle level using scattered-light dark-field microscopic imaging 被引量:4
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作者 Shanshan Sun Mingxuan Gao +3 位作者 Gang Lei Hongyan Zou Jun Ma Chengzhi Huang 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第4期1125-1134,共10页
Real-time monitoring of reaction processes is helpful for understanding the reaction mechanisms. In this study we investigated the etching mechanism of gold nanopartides (AuNPs) by iodine on a single-nanopartide lev... Real-time monitoring of reaction processes is helpful for understanding the reaction mechanisms. In this study we investigated the etching mechanism of gold nanopartides (AuNPs) by iodine on a single-nanopartide level because AuNPs have become important nanoprobes with applications in sensing and bioimaging fields owing to their specific localized surface plasmon resonance (LSPR) properties. By using a scattered-light dark-field microscopic imaging (iDFM) technique, the in situ KI/I2-treated etching processes of various shapes of AuNPs, including nanospheres (AuNSs), nanorods (AuNRs), and nanotrigonal prisms (AuNTs), were monitored in real time. It was found that the scattered light of the different shapes of AuNPs exhibited noticeable color changes upon exposure to the etching solution. The scattering spectra during the etching process showed obvious blue-shifts with decreasing scattered intensity owing to the oxidation of Au atoms into [AuI2]-. Both finite-difference time-domain (FDTD) simulations and monitoring of morphological variations proved that the etching was a thermodynamic-dependent process through a chamfering mechanism coupled with layer-by-layer peeling, resulting in isotropic spheres with decreased particle sizes. 展开更多
关键词 gold nanopartides dark-field imaging etching mechanism scattered light
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硝酸根离子对铝箔直流电蚀电极反应过程的影响 被引量:5
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作者 李毅 廖霞 +1 位作者 肖仁贵 王建中 《轻合金加工技术》 CAS 北大核心 2016年第8期66-71,共6页
通过在硫酸-盐酸混合电解质体系中加入硝酸/硝酸钠,利用金相显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)研究了硝酸根离子在直流电蚀铝箔的发孔过程中对电极反应的影响。结果表明,根据热力学原理和电极反应原理,硝酸根离子的强氧化性促进了阴极得电子的... 通过在硫酸-盐酸混合电解质体系中加入硝酸/硝酸钠,利用金相显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)研究了硝酸根离子在直流电蚀铝箔的发孔过程中对电极反应的影响。结果表明,根据热力学原理和电极反应原理,硝酸根离子的强氧化性促进了阴极得电子的反应,硝酸根还原生成的NO_2在电极表面区域中有着传递电子的作用,加快了电子的转移,加快了阳极铝箔的电化学反应,从而促进了隧道孔的生长。同时对比硝酸及硝酸钠对铝箔直流电蚀反应过程影响及电蚀效果进行研究,表明硝酸钠能更有效降低表面腐蚀,改善隧道孔的形貌与结构。 展开更多
关键词 铝箔 电化学腐蚀 隧道孔 硝酸根离子 机制
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超疏水结构对AZ91D镁合金微摩擦磨损性能的影响 被引量:5
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作者 张倩倩 漆雪莲 张会臣 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期102-108,共7页
目的研究微/纳米复合超疏水结构的摩擦磨损机制,提高镁合金微摩擦磨损性能。方法首先采用激光刻蚀获得微米结构,然后表面涂覆SiO_2纳米颗粒,获得微/纳米复合结构,最后涂覆低表面能物质获得超疏水表面。用接触角测量仪测量超疏水表面的... 目的研究微/纳米复合超疏水结构的摩擦磨损机制,提高镁合金微摩擦磨损性能。方法首先采用激光刻蚀获得微米结构,然后表面涂覆SiO_2纳米颗粒,获得微/纳米复合结构,最后涂覆低表面能物质获得超疏水表面。用接触角测量仪测量超疏水表面的静态接触角,使用微摩擦磨损实验机分析超疏水表面的摩擦磨损性能,使用扫描电子显微镜观察表面磨痕形貌。结果当载荷为1 N时,超疏水表面的摩擦系数约为0.04,基体表面约为0.06。随着载荷的增加,超疏水表面的摩擦系数逐渐与基体相近,并逐渐超过基体。随着时间的增加,超疏水表面的摩擦系数呈增加趋势,由0.04逐渐增加到0.08,基体试样没有明显的上升趋势。相同条件下,超疏水表面的磨痕宽度大于基体表面,但磨痕宽度的增大趋势小于基体表面。结论微/纳米复合结构超疏水表面的摩擦磨损过程不同于光滑基体。超疏水表面的磨损首先发生于微/纳米凸起结构,之后发生于被微/纳米凸起填平的微米凹坑区,然后发生于激光加工热影响区表面,最后发生于镁合金基体。在所受载荷低于1~3 N时,超疏水表面微凸起结构能延缓超疏水表面摩擦磨损的发生,改善耐磨性能。 展开更多
关键词 镁合金 超疏水 微/纳米复合结构 激光刻蚀 耐磨性 磨损机制
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H_2-O_2混合气氛刻蚀制备金刚石纳米晶薄膜 被引量:3
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作者 熊瑛 杨保和 +3 位作者 吴小国 孙大智 李明 洪松 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期794-797,共4页
提供了在镜面抛光Si衬底上沉积平滑的纳米金刚石(NCD)薄膜的方法。采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)系统,利用H2、CH4和O2为前驱气体,在镜面抛光的Si基片上制备了直径为5 cm的NCD薄膜,用扫描电镜(SME)和共焦显微拉曼光谱分析其表面形... 提供了在镜面抛光Si衬底上沉积平滑的纳米金刚石(NCD)薄膜的方法。采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)系统,利用H2、CH4和O2为前驱气体,在镜面抛光的Si基片上制备了直径为5 cm的NCD薄膜,用扫描电镜(SME)和共焦显微拉曼光谱分析其表面形貌和结构特点。分析表明,利用这种方法可以制备出高sp3含量的NCD薄膜。通过与沉积时间加长而沉积条件相同情况下合成的金刚石微晶薄膜形貌相对比,分析了H2-O2混合气氛刻蚀制备NCD薄膜的机理。分析表明,基底的平滑度对O2的刻蚀作用起到重要的影响;在平滑的基底上,含量较少的O2的刻蚀作用也很明显;随着基底的平滑度下降,混合气氛中O2的刻蚀作用逐渐减弱。 展开更多
关键词 纳米金刚石(NCD)薄膜 微波等离子体化学气相沉积(CVD) O2 刻蚀机理
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激光刻蚀聚酰亚胺基底铝薄膜的温度场模拟 被引量:5
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作者 刘孝丽 熊玉卿 +3 位作者 杨建平 王瑞 吴敢 任妮 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期112-116,共5页
为了研究1064 nm激光刻蚀聚酰亚胺基底镀铝薄膜的作用机理,采用有限元分析软件ANSYS模拟了激光对聚酰亚胺基底上铝薄膜的刻蚀过程,分析了激光脉冲作用于铝薄膜表面时的能量传输及转化过程,获得了铝薄膜及聚酰亚胺基底中的温度场分布,进... 为了研究1064 nm激光刻蚀聚酰亚胺基底镀铝薄膜的作用机理,采用有限元分析软件ANSYS模拟了激光对聚酰亚胺基底上铝薄膜的刻蚀过程,分析了激光脉冲作用于铝薄膜表面时的能量传输及转化过程,获得了铝薄膜及聚酰亚胺基底中的温度场分布,进一步验证了在脉冲激光作用下由于基底材料易分解而产生的薄膜/基底界面分离机制。 展开更多
关键词 薄膜 激光刻蚀 铝薄膜 聚酰亚胺 温度场 分离机制
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Etching characteristics and surface modification of InGaSnO thin films under Cl_(2)/Ar plasma
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作者 Young-Hee JOO Jae-Won CHOI +3 位作者 Bo HOU Hyuck-In KWON Doo-Seung UM Chang-Il KIM 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第10期91-96,共6页
Indium gallium tin oxide(IGTO)thin films have the potential for high mobility and lowtemperature processing,which makes them suitable for applications such as display backplanes and high-voltage switching devices.Howe... Indium gallium tin oxide(IGTO)thin films have the potential for high mobility and lowtemperature processing,which makes them suitable for applications such as display backplanes and high-voltage switching devices.However,very few studies have investigated the plasmaetching characteristics of IGTO and changes in its properties after etching.In this study,the etching characteristics of IGTO were investigated using Cl_(2)/Ar plasma,and changes in surface properties were analyzed.Results showed that the etch rate increased with an increase in the proportion of Cl_(2),with the highest etch rate observed at 69 nm min^(-1)in pure Cl_(2)plasma with a gas flow rate of 100 sccm.Furthermore,increased radio-frequency power caused a rise in the etch rate,while a process pressure of 15 m Torr was optimal.The primary etching mechanism for IGTO thin films under Cl_(2)plasma was a chemical reaction,and an increased work function indicated the occurrence of defects on the surface.In addition,the etching process reduced the surface roughness of Cl_(2)-containing plasma,whereas the etching process in pure Ar plasma increased surface roughness.This study contributes to a better understanding of the plasmaetching characteristics of IGTO and changes in its properties after etching,providing valuable insights for IGTO-based applications. 展开更多
关键词 InGaSnO Cl2-based plasma etching mechanism surface modification plasma etching
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Patterning two-dimensional semiconductors with thermal etching
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作者 Miaomiao Liu Ziwei Huang +11 位作者 Yukun Guo Zhengwei Zhang Liqiang Zhang Hongmei Zhang Jiang Zhong Shanhao Li Wei Deng Di Wang Wei Li Ying Huangfu Xiangdong Yang Xidong Duan 《InfoMat》 SCIE CSCD 2023年第11期64-77,共14页
The controllable synthesis of complicated nanostructures in advanced two-dimensional(2D)semiconductors,such as periodic regular hole arrays,is essential and remains immature.Here,we report a green,facile,highly contro... The controllable synthesis of complicated nanostructures in advanced two-dimensional(2D)semiconductors,such as periodic regular hole arrays,is essential and remains immature.Here,we report a green,facile,highly controlled synthetic method to efficiently pattern 2D semiconductors,such as periodic regular hexagonal-shaped hole arrays(HHA),in 2D-TMDs.Combining the production of artificial defect arrays through laser irradiation with anisotropic annealing etching,we created HHA with different arrangements,controlled hole sizes,and densities in bilayer WS_(2).Atomic force microscopy(AFM),Raman,photoluminescence(PL),and scanning transmission electron microscopy(STEM)characterization show that the 2D semiconductors have high quality with atomical clean and sharp edges as well as undamaged crystals in the unetched region.Furthermore,other nanostructures,such as nanoribbons and periodic regular triangular-shaped 2D-TMD arrays,can be fabricated.This kind of 2D semiconductors fabrication strategy is general and can be extended to a series of 2D materials.Density functional theory(DFT)calculations show that one WS_(2)molecule from the edges of the laser-irradiated holed region exhibits a robust etching activation,making selective etching at the artificial defects and the fabrication of regular 2D semiconductors possible. 展开更多
关键词 2D transition-metal dichalcogenide materials atomically zigzag edges controlled size defect-induced thermal etching etching mechanism hexagonal-shaped hole array
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