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微机电系统测试技术及方法 被引量：14
1
作者 李智 王向军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第1期37-44,共8页
微机电系统 (MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一 ,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参数与性能的测试技术及方法进行了讨论。重点介绍了光学及光... 微机电系统 (MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一 ,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参数与性能的测试技术及方法进行了讨论。重点介绍了光学及光电检测技术在微机电系统检测中的应用 ,对计算机微视觉检测技术在微机电系统检测中的应用进行了探讨。 展开更多
关键词 微机电系统 MEMS检测技术 光电检测 计算机视觉检测
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计算机微视觉在微运动测量中的应用 被引量：4
2
作者 卢清华 范彦斌 张宪民 《机电工程技术》 2007年第12期93-96,共4页
计算机微视觉方法在微运动测量中得到了广泛的应用。本文对计算机微视觉测量的基本原理、特点及采用计算机微视觉测量微运动的精度影响因素进行了分析。此外,以精密微动平台为测量对象,将计算机微视觉与运动估计算法相结合,测量了微动... 计算机微视觉方法在微运动测量中得到了广泛的应用。本文对计算机微视觉测量的基本原理、特点及采用计算机微视觉测量微运动的精度影响因素进行了分析。此外,以精密微动平台为测量对象,将计算机微视觉与运动估计算法相结合,测量了微动平台的微运动。测量结果表明,这种将计算机微视觉与运动估计算法相结合的方法能够实现高精度的微运动测量。 展开更多
关键词 计算机微视觉 微运动测量 微动平台
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计算机微视觉微运动测量系统图像噪声分析
3
作者 卢清华 张宪民 范彦斌 《机械设计与制造》 北大核心 2008年第4期90-92,共3页
对计算机微视觉微运动测量系统采集的图像噪声及处理方法进行了研究。分析了各种在微运动测量时引起测量误差的图像噪声。在此基础上,通过对一幅典型的由计算机微视觉微运动测量系统采集的MEMS图像进行分析,给出了减少这些噪声的常用方... 对计算机微视觉微运动测量系统采集的图像噪声及处理方法进行了研究。分析了各种在微运动测量时引起测量误差的图像噪声。在此基础上,通过对一幅典型的由计算机微视觉微运动测量系统采集的MEMS图像进行分析,给出了减少这些噪声的常用方法。分析表明了对于这种微结构图像以下噪声处理方法的有效性:首先采用中值滤波器减少散粒噪声以及采用一个低通滤波器减少高频噪声,然后采用两点修正法可以减少固定图像噪声;此外,在采集图像时适当增加曝光时间可以减少机械噪声的影响。 展开更多
关键词 图像噪声 计算机微视觉 微运动测量
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计算机微视觉采集的微结构图像功率谱分析 被引量：1
4
作者 卢清华 张宪民 范彦斌 《机械设计与制造》 北大核心 2010年第6期229-231,共3页
计算机微视觉方法是精密工程领域中一种常用的研究微结构物理过程的方法。首先分析了计算机微视觉的基本原理。然后,采用Blackman-Tukey方法计算了两幅由计算机微视觉系统采集的典型微结构图像的功率谱密度。通过分析微结构图像的功率... 计算机微视觉方法是精密工程领域中一种常用的研究微结构物理过程的方法。首先分析了计算机微视觉的基本原理。然后,采用Blackman-Tukey方法计算了两幅由计算机微视觉系统采集的典型微结构图像的功率谱密度。通过分析微结构图像的功率谱密度,给出了其功率谱和空间频率之间的关系,即对于大多数由微视觉系统采集的微结构图像,图像信号的能量主要集中在空间频率0～2的范围内,其中π为尼奎斯特频率。这种图像信号能量和空间频率的关系能够指导研究者们在精密工程领域中更好地研究微结构的物理过程。 展开更多
关键词 功率谱 计算机微视觉 微结构
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基于计算机微视觉的鲁棒多尺度平面微运动测量 被引量：10
5
作者 卢清华 张宪民 范彦斌 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期164-169,177,共7页
提出一种将计算机微视觉与鲁棒多尺度运动估计算法相结合的测量微运动的方法。设计一种用于微运动测量的鲁棒多尺度运动估计算法。在该算法中,根据滤波器的不同特性,在多尺度金字塔的不同尺度层采用不同的滤波器估计运动。这种分层估计... 提出一种将计算机微视觉与鲁棒多尺度运动估计算法相结合的测量微运动的方法。设计一种用于微运动测量的鲁棒多尺度运动估计算法。在该算法中,根据滤波器的不同特性,在多尺度金字塔的不同尺度层采用不同的滤波器估计运动。这种分层估计的方法不但可以提高测量精度,而且可以加快测量速度。分析计算机微视觉测量系统的组成,并对设计的微视觉测量系统进行标定。以精密定位平台为测量对象,采用计算机微视觉与鲁棒多尺度运动估计算法相结合的方法测量了精密定位平台的平面微运动。该方法用于测量2000nm左右的微运动时,最大测量偏差达到了12.5nm。试验结果表明,这种将计算机微视觉与鲁棒多尺度运动估计算法相结合的方法能够实现高精度的平面微运动测量。 展开更多
关键词 微运动测量 计算机微视觉 鲁棒 多尺度 精密定位平台
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基于计算机显微视觉的微米/亚微米结构的测量 被引量：4
6
作者 林彬 陈忠 《机床与液压》 北大核心 2008年第8期212-215,共4页
针对微纳制造中光刻掩模板检查对线宽、线间距等几何量测量的技术需求,开发了一个基于计算机显微视觉的微小结构几何量的测量系统。该系统采用光学分辨率为606nm的光学成像设备,采用LabVIEW的Vision工具编写的图像测量软件具有多方向轮... 针对微纳制造中光刻掩模板检查对线宽、线间距等几何量测量的技术需求,开发了一个基于计算机显微视觉的微小结构几何量的测量系统。该系统采用光学分辨率为606nm的光学成像设备,采用LabVIEW的Vision工具编写的图像测量软件具有多方向轮廓点自动拾取模块、宏微测量策略、自动对焦功能等关键功能。实验与分析结果表明该系统可以实现对微米/亚微米结构的测量。 展开更多
关键词 计算机显微视觉 图像测量 几何量测量
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