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MEMS型电容薄膜真空计研究进展被引量：12: 1; 作者李得天孙雯君 +3 位作者成永军袁征难曹生珠高青松《真空与低温》 2017年第2期63-67,共5页; 目前常用的电容薄膜真空计体积大、重量重,不能满足深空探测、临近空间探索、战略武器、战地医疗等特殊领域的真空测量需求。基于MEMS技术的电容薄膜真空计,能够使传感器、信号处理和控制电路等结构微型化,突破了传统电容薄膜真空计外... 展开更多; 关键词真空测量 MEMS 电容薄膜真空计; 下载PDF 职称材料

小型电容薄膜真空规的设计被引量：7: 2; 作者孙雯君冯焱 +3 位作者马奔习振华成永军赵澜《真空与低温》 2012年第4期232-234,243,共4页; 商用电容薄膜真空规存在体积大、重量重等问题,无法满足深空探测中真空测量需求,因此设计了一种小型电容薄膜真空规。设计中采用倒T型结构固定极板和防热变形结构,防止测量过程中温度变化导致的规管部件热变形;采用面积相同的双电极结构... 展开更多; 关键词真空计量真空测量仪器电容薄膜真空规结构设计; 下载PDF 职称材料

适应复杂环境的真空计被引量：4: 3; 作者李琦冯驹先 +4 位作者董中林施毅杨炼倪小洪干蜀毅《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1316-1319,共4页; 采用全陶瓷规管进行电荷屏蔽,实现了对薄膜真空计的改进,以满足在含有大量带电离子及饱和水蒸汽等特殊真空环境中低真空度的快速准确测量。介绍了提高传感精度且降低温度及水蒸气对电容薄膜真空计影响的方法、器件选择以及单片机控制系... 展开更多; 关键词电荷屏蔽饱和水蒸汽电容薄膜真空计单片机控制系统; 下载PDF 职称材料

电容薄膜真空规校准方法的研究: 4; 作者刘贝贝刘燚 +1 位作者蒋厚庸周宇仁《中国仪器仪表》 2023年第2期34-37,共4页; 本文利用电容薄膜真空计校准装置、高精度数字压力计、稳压电源和数字多用表,采用比较法完成了对(1~1000)Torr绝压电容薄膜真空规的量值溯源,扩展不确定度为U=(0.69%~0.02%)(k=2)。; 关键词电容薄膜真空规数字压力计数字多用表; 下载PDF 职称材料

电容薄膜真空计校准装置的研制被引量：1: 5; 作者刘贝贝张书令许红《中国仪器仪表》 2020年第9期77-80,共4页; 介绍电容薄膜真空计校准装置的研制过程,采用静态膨胀法原理,其测量范围为(1×10^(-1)~1×10~4)Pa,相对扩展不确定度为(0.22%~0.06%)(k=2)。装置体积比采用原位法进行测试,各体积比相对标准不确定度为0.02%。; 关键词静态膨胀法电容薄膜计体积比真空校准; 下载PDF 职称材料

火星探测小型电容薄膜真空计的性能研究被引量：5: 6; 作者孙雯君冯焱 +2 位作者马奔成永军赵澜《真空与低温》 2014年第1期16-18,33,共4页; 目前在用电容薄膜真空计存在体积大、重量重等问题,无法满足深空探测中真空测量需求,因此设计了一种具有外形尺寸小、重量轻、工作温度范围宽等特点的小型电容薄膜真空计。在已经建立的金属膨胀式真空标准装置上对小型电容薄膜真空计的... 展开更多; 关键词真空测量小型电容薄膜真空计计量性能火星探测; 下载PDF 职称材料

预加张力对电容薄膜真空计感压膜片变形的影响被引量：5: 7; 作者孟岳陈叔平 +5 位作者成永军孙雯君裴晓强贾春旺白彪坤金树峰《真空与低温》 2020年第1期31-36,共6页; 针对电容薄膜真空计感压膜片在预加张力情况下的均布载荷-挠度特性,选择冯·卡门方程和Beams方程作为感压膜片理论模型,并结合ANSYS Workbench软件中的静力学模块进行非线性有限元仿真分析。结果表明:预加张力对感压膜片挠度的影响... 展开更多; 关键词电容薄膜真空计感压膜片预加张力挠度特性; 下载PDF 职称材料

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