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AFM探针针尖与试件表面接触力计算方法研究 被引量:2
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作者 程国东 杨晓京 《电子显微学报》 CAS CSCD 2015年第3期234-239,共6页
原子力显微镜是利用接近试样表面的探针针尖上的作用力而工作的。针尖与试件表面纳米接触力的变化对表面检测有重要的影响。在分析原子力显微镜工作原理和纳米接触力计算模型基础上,根据Hamaker假设,利用连续介质方法,建立了针尖同试样... 原子力显微镜是利用接近试样表面的探针针尖上的作用力而工作的。针尖与试件表面纳米接触力的变化对表面检测有重要的影响。在分析原子力显微镜工作原理和纳米接触力计算模型基础上,根据Hamaker假设,利用连续介质方法,建立了针尖同试样表面在接近过程中的纳米接触力计算模型;根据Hertzian接触理论,建立了针尖同试样表面在接触压入过程中的接触力的计算模型。通过叠加计算,获得了耦合接近过程和接触压入过程中的接触力计算方法。根据计算模型,利用Matlab编程计算获得了针尖与试样表面纳米接触作用力的变化规律。为提高原子力显微镜的表面检测精度和进行误差分析提供基础。 展开更多
关键词 afm afm探针 接触力 Hamaker假设 Hertzian接触理论
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微机电系统谐振器原子力显微镜探针设计与检测(英文) 被引量:3
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作者 熊壮 Bernard Legrand 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期107-111,共5页
为克服既有原子力显微镜(AFM)悬臂式探针的谐振频率难以超过3.5 MHz,Q值低、成像速度低及在液体中成像效果欠佳等缺点,设计并制作了一种基于微机电系统(MEMS)谐振器的I2形探针,并成功实现了成像实验。为更进一步提高I2形探针的力灵敏度... 为克服既有原子力显微镜(AFM)悬臂式探针的谐振频率难以超过3.5 MHz,Q值低、成像速度低及在液体中成像效果欠佳等缺点,设计并制作了一种基于微机电系统(MEMS)谐振器的I2形探针,并成功实现了成像实验。为更进一步提高I2形探针的力灵敏度,从结构设计和检测方法入手,对原有探针进行改进。设计了简单有效的电阻差分检测方法,成功去处了输入端与输出端的耦合现象;采用局部离子注入的方法,提高了压阻敏感的传输效率。实验结果显示,在输入信号相同的条件下,改进后探针的输出信号与原有探针相比,输出信号得到了明显提高。计算结果表明,采用新方法制作的探针可使力灵敏度提高10倍以上。 展开更多
关键词 微机电系统谐振器 热执行 压阻敏感 原子力显微镜探针
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含添加剂的各向异性腐蚀液中实现小掩膜下高硅尖的腐蚀 被引量:1
3
作者 卢少勇 韩建强 +2 位作者 李青 王疆英 陈志强 《电子器件》 CAS 2008年第5期1550-1552,1558,共4页
各向异性KOH溶液腐蚀硅尖具有简单、易于实现、成本低廉、(100)晶面腐蚀速率均匀等优点。然而在40%KOH溶液中削角速率和(100)晶面的腐蚀速率之比约为1.6~1.9,并且该比值随着KOH浓度的减小而增大。如此高的削角速率会给AFM探针的制作带... 各向异性KOH溶液腐蚀硅尖具有简单、易于实现、成本低廉、(100)晶面腐蚀速率均匀等优点。然而在40%KOH溶液中削角速率和(100)晶面的腐蚀速率之比约为1.6~1.9,并且该比值随着KOH浓度的减小而增大。如此高的削角速率会给AFM探针的制作带来技术上的困难。而对腐蚀场发射器件和隧道式传感器的硅尖阵列来说,高的削角速率会减少单位面积内的硅尖数量。本文通过在氢氧化钾(KOH)或者四甲基氢氧化胺(TMAH)溶液中添加适当的添加剂(如异丙醇(IPA)、1,5戊二醇或碘)降低了削角速率,在较小直径的掩膜下腐蚀出高硅尖。实验结果还表明:在TMAH基腐蚀液中每个硅尖的八个快腐蚀面的削角速率几乎相等,硅尖直径偏差较KOH溶液中腐蚀的硅尖直径偏差更小,因此成品率得到了提高。 展开更多
关键词 afm探针 削角 硅尖 无掩膜腐蚀
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纳米加工技术在机械制造领域的研究现状
4
作者 郭佑彪 董雯侠 +2 位作者 李满华 丁为甫 刘国平 《安徽化工》 CAS 2005年第3期5-8,共4页
纳米技术是当代科技发展的一个新兴领域。简要介绍了与机械制造有关的纳米加工技术,讨论了纳米加工技术的物理实质,介绍了与之相关的关键技术及其元器件等。
关键词 纳米加工技术 研究现状 制造领域 科技发展 纳米技术 机械制造 物理实质 关键技术 元器件
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碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究
5
作者 韩建强 卢少勇 +1 位作者 李青 王疆英 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期92-94,97,共4页
氢氧化钾溶液腐蚀硅尖具有易于实现、设备简单、优异的纵向腐蚀均匀性等优点,但腐蚀均匀性差、纵向和横向腐蚀速率之比低、针形为不对称的八棱锥。通过在KOH溶液中添加过饱和的碘单质(I2),显著减小了快腐蚀面的削角速率,在较小的掩膜下... 氢氧化钾溶液腐蚀硅尖具有易于实现、设备简单、优异的纵向腐蚀均匀性等优点,但腐蚀均匀性差、纵向和横向腐蚀速率之比低、针形为不对称的八棱锥。通过在KOH溶液中添加过饱和的碘单质(I2),显著减小了快腐蚀面的削角速率,在较小的掩膜下腐蚀出高的硅尖。更为重要的是该腐蚀液腐蚀的硅尖异于常规的不对称八棱锥,而是一种半锥角很小的"火箭尖"形状,因此可望获得更好的扫描特性和隧道效应。 展开更多
关键词 afm探针 削角 硅尖 各向异性腐蚀 微电子机械系统
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近场光镊与AFM探针复合的光阱力分析 被引量:1
6
作者 刘炳辉 杨立军 +1 位作者 王扬 袁巨龙 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期1-8,共8页
本文针对纳米材料的纳米操作,提出了一种复合激光近场光镊与AFM探针进行纳米操作的方法,并基于动量守恒原理,采用三维时域有限差分方法建立了该方案中激光近场对纳米微粒的作用力模型,分析了各轴向光阱力的分布情况,讨论了两探针间距离... 本文针对纳米材料的纳米操作,提出了一种复合激光近场光镊与AFM探针进行纳米操作的方法,并基于动量守恒原理,采用三维时域有限差分方法建立了该方案中激光近场对纳米微粒的作用力模型,分析了各轴向光阱力的分布情况,讨论了两探针间距离、针尖材料的电导率、入射平面光场的偏振方向、入射角和波长等参数对近场光阱力的影响。结果表明:位于耦合光场中特定位置的微粒可被捕获至固定位置,所需的捕获功率大大低于传统光镊所需的捕获功率;为实现稳定的纳米操作,光纤探针与AFM探针的距离应保持在孔径范围内,两探针的相互位置应保持成垂直关系,同时应选用短波长的捕获激光,并保持激光偏振方向与AFM探针轴线的匹配。本文设计的近场光镊与AFM探针相复合的纳米操作系统,能大大扩宽近场光镊和AFM系统在纳米操作上的应用范围。 展开更多
关键词 三维时域有限差分法 光阱力 近场光镊 afm探针
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基于AFM探针的电晕放电研究
7
作者 赵贵 孔德义 +3 位作者 Juergen Brugger 陈池来 程玉鹏 李庄 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第11期28-30,34,共4页
针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100μm加1 kV高压时的AFM探针周围场强在0.32~62.4 V/μ... 针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100μm加1 kV高压时的AFM探针周围场强在0.32~62.4 V/μm间,验证了利用其产生电晕放电的可行性;通过实验观察了电晕放电现象及其规律,测得了AFM探针加高压时的伏安特性曲线,为下一步利用AFM探针产生电晕放电进行非触式采样奠定了良好的基础。 展开更多
关键词 原子力显微镜探针 电晕放电 微机电系统 ANSYS 非接触式采样
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扫描探针显微镜的研究 被引量:1
8
作者 赵政 丁建宁 许路宁 《机械制造》 2005年第2期34-37,共4页
介绍了扫描探针显微镜的起源及其发展过程,同时对扫描探针显微镜中最常用的两种:STM、AFM作了原理和结构介绍,最后介绍了SPM探针的形状及其性能数据。
关键词 SPM STM afm 探针
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Simulation of Electrical Discharge Initiated by a Nanometer-Sized Probe in Atmospheric Conditions
9
作者 陈然 陈池来 +5 位作者 刘友江 王焕钦 马源 Michael CADA Jrgen BRUGGER 孔德义 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第9期845-851,共7页
In this paper, a two-dimensional nanometer scale tip-plate discharge model has been employed to study nanoscale electrical discharge in atmospheric conditions. The field strength dis- tributions in a nanometer scale t... In this paper, a two-dimensional nanometer scale tip-plate discharge model has been employed to study nanoscale electrical discharge in atmospheric conditions. The field strength dis- tributions in a nanometer scale tip-to-plate electrode arrangement were calculated using the finite element analysis (FEA) method, and the influences of applied voltage amplitude and frequency as well as gas gap distance on the variation of effective discharge range (EDR) on the plate were also investigated and discussed. The simulation results show that the probe with a wide tip will cause a larger effective discharge range on the plate; the field strength in the gap is notably higher than that induced by the sharp tip probe; the effective discharge range will increase linearly with the rise of excitation voltage, and decrease nonlinearly with the rise of gap length. In addition, probe dimension, especially the width/height ratio, affects the effective discharge range in different manners. With the width/height ratio rising from 1 : 1 to 1 : 10, the effective discharge range will maintain stable when the excitation voltage is around 50 V. This will increase when the excitation voltage gets higher and decrease as the excitation voltage gets lower. Fhrthermore, when the gap length is 5 nm and the excitation voltage is below 20 V, the diameter of EDR in our simulation is about 150 nm, which is consistent with the experiment results reported by other research groups. Our work provides a preliminary understanding of nanometer scale discharges and establishes a predictive structure-behavior relationship. 展开更多
关键词 nanodischarge nanoscale afm probe Peek's formula modified Paschencurve effective discharge range probe based data storage nanometer-sized ion source
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金属薄膜导线的亚微米局域电导率精确测量技术 被引量:1
10
作者 吴蕾 葛耀峥 居冰峰 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期1-6,共6页
作为薄膜器件最重要物理量之一的局域电导率的定量测定,能在保证性能、提高成品率、完善制作工艺等方面起关键作用。利用基于原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)的4电极微探针局域电导率测量技术,精确测量厚度为350nm、宽度分别... 作为薄膜器件最重要物理量之一的局域电导率的定量测定,能在保证性能、提高成品率、完善制作工艺等方面起关键作用。利用基于原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)的4电极微探针局域电导率测量技术,精确测量厚度为350nm、宽度分别为50.0μm、25.0μm、5.0μm、2.0μm及600nm、纯度为99.999%的铝薄膜导线的电导率。由于被测试件宽度和厚度方向的尺寸明显缩小且十分接近电极的最小间距,综合考虑电极尺寸、不同批次电极的加工精度和加工参数、4个电极间的位置误差等几个影响测量精度的因素,修正电导率的计算模型并将传统4电极电导率测量法的应用领域拓展到亚微米级微观尺度。试验结果证明基于AFM的4电极微探针技术在亚微米级局域电导率测量方面的能力。 展开更多
关键词 亚微米金属薄膜导线 尺寸效应 局域电导率 4电极afm技术
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纳结构的连续激光复合微纳探针刻划加工 被引量:7
11
作者 程柏 韩冰 +2 位作者 谷立山 陈晓苹 杨立军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期2043-2050,共8页
为了加工形貌稳定且尺寸尽可能小的纳结构,建立了一套连续激光复合微纳探针的加工系统,并研究了光纤探针导光的连续激光辐照微纳探针的近场增强效应以及该系统的加工性能。首先,根据表面等离子体激元理论仿真分析了激光辐照原子力显微镜... 为了加工形貌稳定且尺寸尽可能小的纳结构,建立了一套连续激光复合微纳探针的加工系统,并研究了光纤探针导光的连续激光辐照微纳探针的近场增强效应以及该系统的加工性能。首先,根据表面等离子体激元理论仿真分析了激光辐照原子力显微镜(AFM)探针的近场增强因子,并研究了微纳探针的针尖温度场和针尖热膨胀。接着,搭建了基于光纤探针导光的连续激光复合微纳探针的纳结构加工系统。最后,对聚乙烯片状材料样品进行了纳结构加工。结果显示:加工得到的纳米点尺度为200nm左右;纳米线的尺度为30~40nm。结果表明:光纤探针导光连续激光复合微纳探针系统避免了复杂的空间光路结构,是一种成本低廉,结构简单的系统,能够实现纳结构的加工。 展开更多
关键词 纳结构 微纳探针 连续激光 刻划 近场效应
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纳米气泡浮选过程强化研究进展
12
作者 邢耀文 杨海昌 +1 位作者 桂夏辉 曹亦俊 《选煤技术》 CAS 2024年第4期1-12,共12页
浮选是低品质矿及煤分选提质的有效手段,其中微细粒浮选难题突出,而纳米气泡则是解决该难题的重要途径,但关于纳米气泡浮选过程强化的诸多基础科学问题仍未解决。为促进微细粒纳米气泡浮选过程强化技术的开发,重点围绕浮选过程中纳米气... 浮选是低品质矿及煤分选提质的有效手段,其中微细粒浮选难题突出,而纳米气泡则是解决该难题的重要途径,但关于纳米气泡浮选过程强化的诸多基础科学问题仍未解决。为促进微细粒纳米气泡浮选过程强化技术的开发,重点围绕浮选过程中纳米气泡的界面选择性成核动力学、界面纳米气泡超常稳定性机理及纳米气泡强化颗粒-气泡捕获效率微观作用机制等三个关键科学问题,介绍了笔者团队在纳米气泡浮选过程强化方向的最新研究进展。研究结果表明:纳米气泡的选择性成核是纳米气泡浮选过程强化的关键,而纳米气泡的稳定性则是纳米气泡浮选过程强化的前提;纳米气泡浮选过程强化的机制主要包括促进颗粒絮团与缩短诱导时间,其内在作用机制来自纳米气泡长程疏水引力与边界滑移的协同作用。笔者团队的研究阐明了纳米气泡固-液界面选择性成核的能量作用机制,提出了基于界面高密度气层自动补偿的界面纳米气泡稳定性机理,建立了微纳力学-边界滑移协同驱动的纳米气泡强化浮选界面作用机制,进一步丰富发展了现代浮选基础理论,为开发微细粒纳米气泡浮选过程强化技术提供了一定的指导。 展开更多
关键词 浮选过程强化 纳米气泡 成核动力学 稳定性 afm胶体探针 分子动力学模拟 颗粒絮团 长程疏水引力 诱导时间
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基于不同疏水性煤模型制备的气泡与煤表面黏附机制研究
13
作者 朱春云 于锋 +3 位作者 李明 孙丽娟 邢耀文 桂夏辉 《选煤技术》 CAS 2024年第4期30-36,共7页
常规气泡探针研究中常采用云母、金片等作为矿物模型,难以准确反映煤样表面微纳结构与化学性质,进而难以充分反映气泡与煤表面间的黏附机制。为此,通过在二氧化硅表面旋涂沥青并进行不同时间的氧化处理,制备得到了化学性质与煤更相似且... 常规气泡探针研究中常采用云母、金片等作为矿物模型,难以准确反映煤样表面微纳结构与化学性质,进而难以充分反映气泡与煤表面间的黏附机制。为此,通过在二氧化硅表面旋涂沥青并进行不同时间的氧化处理,制备得到了化学性质与煤更相似且具有不同疏水性的煤模型;基于对制备得到的煤模型进行接触角测试、粗糙度测试、碰撞黏附行为的高速动态测试以及AFM气泡探针测试,明确了气泡与不同疏水性煤表面间的黏附机制。制备得到的强疏水性、中等疏水性、弱疏水性煤模型表面的静态接触角分别为95.19°,75.24°,55.23°,算术平方根粗糙度分别为0.29,0.46,0.43nm。宏观黏附行为中,流体力和表面力共同支配气泡与煤表面的相互作用过程;高速动态测试中,流体力强于表面力导致气泡与不同疏水性煤表面间碰撞次数无明显差异;准静态环境中,在表面力驱动下气泡与强疏水性煤表面间液膜于345ms破裂,与中等疏水性煤表面间液膜于845ms发生破裂,与弱疏水性煤表面间液膜则并未发生破裂。气泡探针测试中,驱动速度为1μm/s时,气泡与强疏水性煤表面在进针过程中斥力为23.08±3.93nN的位置处发生了跳入黏附,当驱动速度速度增加至10μm/s时,气泡与煤表面间黏附发生了滞后,而驱动速度增加至30μm/s时,黏附行为则被完全抑制;随着煤表面疏水性的降低,不同驱动速度下气泡均未发生黏附,仅在退针过程中测得引力且与驱动速度呈正相关;对于强疏水性煤表面,降低流体力有利于表面力驱动液膜薄化破裂从而促进黏附,而对于中等及弱疏水性煤表面,增加流体力则可增大颗粒与气泡远离过程中的流体倒吸引力从而有利于提高颗粒与气泡的黏附概率。 展开更多
关键词 煤泥浮选 黏附机制 煤模型制备 高速动态测试 afm气泡探针测试 表面力 流体力 黏附概率
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Ultrathin-shell epitaxial Ag@Au core-shell nanowires for high-performance and chemically-stable electronic, optical, and mechanical devices 被引量:3
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作者 Yangzhi Zhu Sanggon Kim +12 位作者 Xuezhi Ma Peter Byrley Ning Yu Qiushi Liu Xiaoming Sun Da Xu Sangshan Peng Martin C.Hartel Shiming Zhang Vadim Jucaud Mehmet R.Dokmeci Ali Khademhosseini Ruoxue Yan 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2021年第11期4294-4303,共10页
Silver nanowires (AgNWs) hold great promise for applications in wearable electronics, flexible solar cells, chemical and biological sensors, photonic/plasmonic circuits, and scanning probe microscopy (SPM) due to thei... Silver nanowires (AgNWs) hold great promise for applications in wearable electronics, flexible solar cells, chemical and biological sensors, photonic/plasmonic circuits, and scanning probe microscopy (SPM) due to their unique plasmonic, mechanical, and electronic properties. However, the lifetime, reliability, and operating conditions of AgNW-based devices are significantly restricted by their poor chemical stability, limiting their commercial potentials. Therefore, it is crucial to create a reliable oxidation barrier on AgNWs that provides long-term chemical stability to various optical, electrical, and mechanical devices while maintaining their high performance. Here we report a room-temperature solution-phase approach to grow an ultra-thin, epitaxial gold coating on AgNWs to effectively shield the Ag surface from environmental oxidation. The Ag@Au core-shell nanowires (Ag@Au NWs) remain stable in air for over six months, under elevated temperature and humidity (80 °C and 100% humidity) for twelve weeks, in physiological buffer solutions for three weeks, and can survive overnight treatment of an oxidative solution (2% H2O2). The Ag@Au core-shell NWs demonstrated comparable performance as pristine AgNWs in various electronic, optical, and mechanical devices, such as transparent mesh electrodes, surface-enhanced Raman spectroscopy (SERS) substrates, plasmonic waveguides, plasmonic nanofocusing probes, and high-aspect-ratio, high-resolution atomic force microscopy (AFM) probes. These Au@Ag core-shell NWs offer a universal solution towards chemically-stable AgNW-based devices without compromising material property or device performance. 展开更多
关键词 epitaxial growth core-shell nanowire plasmonic waveguides atomic force microscopy(afm)probe transparent electrode wearable electronics
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原子力显微镜和皮革胶原纤维精细结构研究 被引量:4
15
作者 吉晓江 田云飞 +5 位作者 赵纯培 陈红 王英梅 李志强 陈敏 廖隆理 《现代仪器》 CAS 2002年第1期40-41,43,共3页
本文简要说明了原子力显微镜(AFM)的原理,和它在猪皮胶原纤维精细结构研究中的情况。
关键词 原子力显微镜 扫描探针显微镜 皮革 基础纤维 纳米分析 胶原纤维
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Self-Adaptive Grinding for Blind Tip Reconstruction of AFM Diamond Probe 被引量:1
16
作者 Linyan Xu Qishan Guo +1 位作者 Shuangbei Qian Sen Wu 《Nanotechnology and Precision Engineering》 EI CAS CSCD 2018年第2期150-155,共6页
Blind tip reconstruction(BTR) method is one of the favorable methods to estimate the atomic force microscopy(AFM) probe shape. The exact shape of the characterizer is not required for BTR, while the geometry of the sa... Blind tip reconstruction(BTR) method is one of the favorable methods to estimate the atomic force microscopy(AFM) probe shape. The exact shape of the characterizer is not required for BTR, while the geometry of the sample may affect the reconstruction significantly. A cone-shaped array sample was chosen as a characterizer to be evaluated. The target AFM probe to be reconstructed was a diamond triangular pyramid probe with two feature angles, namely front angle(FA) and back angle(BA). Four conical structures with different semi-angles were dilated by the pyramid probe. Simulation of scanning process demonstrates that it is easy to judge from the images of the isolated rotary structure, cone-shaped, the suitability of the sample to be a tip characterizer for a pyramid probe. The cone-shaped array sample was repeatedly scanned 50 times by the diamond probe using an AFM. The series of scanning images shrank gradually and more information of the probe was exhibited in the images, indicating that the characterizer has been more suitable for BTR. The feature angle FA of the characterizer increasingly reduces during the scanning process. A self-adaptive grinding between the probe and the characterizer contributes to BTR of the diamond pyramid probe. 展开更多
关键词 afm diamond probe BTR Cone characterizer SELF-ADAPTIVE GRINDING
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IMPROVED FABRICATION METHOD FOR CARBON NANOTUBE PROBE OF ATOMIC FORCE MICROSCOPY(AFM) 被引量:1
17
作者 XU Zongwei DONG Shen +1 位作者 GUO Liqiu ZHAO Qingliang 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第3期373-375,共3页
An improved arc discharge method is developed to fabricate carbon nanotube probe of atomic force microscopy (AFM) here. First, silicon probe and carbon nanotube are manipulated under an optical microscope by two hig... An improved arc discharge method is developed to fabricate carbon nanotube probe of atomic force microscopy (AFM) here. First, silicon probe and carbon nanotube are manipulated under an optical microscope by two high precision microtranslators. When silicon probe and carbon nanotube are very close, several tens voltage is applied between them. And carbon nanotube is divided and attached to the end of silicon probe, which mainly due to the arc welding function. Comparing with the arc discharge method before, the new method here needs no coat silicon probe with metal film in advance, which can greatly reduce the fabrication's difficulty. The fabricated carbon nanotube probe shows good property of higher aspect ratio and can more accurately reflect the true topography of silicon grating than silicon probe. Under the same image drive force, carbon nanotube probe had less indentation depth on soft triblock copolymer sample than silicon probe. This showed that carbon nanotube probe has lower spring constant and less damage to the scan sample than silicon probe. 展开更多
关键词 Carbon nanotube (CNT) Atomic force microscope afm probe Fabrication
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环形、矩形及I2形MEMS原子力显微镜探针的力灵敏度(英文) 被引量:1
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作者 熊壮 屈明山 +1 位作者 张照云 杨荷 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第5期351-358,共8页
基于微电子机械系统(MEMS)技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜(AFM)探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效... 基于微电子机械系统(MEMS)技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜(AFM)探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效刚度以及品质因数等关键指标进行综合分析与比较。在此基础上,对上述MEMS探针的力灵敏度进行了评估。结果表明,环形MEMS探针适用于对柔性物体的高精度成像,而I2形MEMS探针则更适合于对大范围区域的高速实时成像。通过对机械结构与检测电路的进一步优化,MEMS探针的力灵敏度有望达到并超越现有悬臂式探针的水平。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 谐振器 力灵敏度 原子力显微镜(afm)探针 品质因数 谐振频率
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