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化学溶液分解法制备(Bi_(0.9)Nd_(0.1))_2Ti_2O_7薄膜
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作者 杨冬梅 韩建儒 +1 位作者 袁春雪 姜付义 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期505-508,共4页
采用化学溶液分解法(CSD)在p-Si(111)衬底上制备了(Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7薄膜。用X射线衍射技术分析了薄膜的结构和结晶性,结果显示,在600℃退火10min得到了结晶性较好、表面致密的多晶薄膜;用原子力显微镜描述了薄膜的表面形貌,与在XRD中... 采用化学溶液分解法(CSD)在p-Si(111)衬底上制备了(Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7薄膜。用X射线衍射技术分析了薄膜的结构和结晶性,结果显示,在600℃退火10min得到了结晶性较好、表面致密的多晶薄膜;用原子力显微镜描述了薄膜的表面形貌,与在XRD中观察到的择优取向是一致的;同时还研究了薄膜的电学性能。结果表明,在0～6V范围内,薄膜的漏电流小于1.53×10-10A;在室温100kHz下,其介电常数为166,介电损耗因子为0.227,显示出薄膜具有较好的绝缘性和介电性能。 展开更多
关键词 化学溶液分解法 (bi0.9nd0.1):ti2o7 薄膜 介电常数 稀土
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