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硅片高温工艺与塑性形变 被引量:1
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作者 谢书银 万关良 +1 位作者 李立本 张锦心 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期291-294,共4页
为减小硅片高温工艺中的形变,通过仿硅器件在1200℃热处理1.5h高温工艺热处理实验,研究了装片方式、升温速率和急冷温度等工艺条件对硅片弯曲度变化的影响,实验结果表明硅片热处理中塑性形变主要是在急冷过程产生的,快速加... 为减小硅片高温工艺中的形变,通过仿硅器件在1200℃热处理1.5h高温工艺热处理实验,研究了装片方式、升温速率和急冷温度等工艺条件对硅片弯曲度变化的影响,实验结果表明硅片热处理中塑性形变主要是在急冷过程产生的,快速加热对形变影响不大。急冷温度越高,硅片中心与边缘温差越大,因产生位错和滑移形成的塑性形变就越大,1200℃急冷的弯曲度变化是770℃急冷的4倍,水平装片比竖直装片形变大,紧贴式装片比间隔式容易弯曲。采用降低急冷温度,由1200℃缓慢降至770℃左右再急冷,配合竖直间隔方式装片和容器加盖等方法可减少高温工艺中硅片的形变。 展开更多
关键词 硅片 高温工艺 塑性形变 热处理
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二维黑磷的结构、制备和性能 被引量:31
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作者 袁振洲 刘丹敏 +2 位作者 田楠 张国庆 张永哲 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2016年第6期488-497,共10页
磷有多种同素异构体:红磷、白磷、黑磷,其中黑磷热力学稳定.二维材料因其低维效应而备受关注,而近期二维黑磷的成功制备使其成为二维材料的新成员.二维黑磷是带隙可调的片层结构半导体材料,在光电领域有很大的潜力,因而备受瞩目.本文大... 磷有多种同素异构体:红磷、白磷、黑磷,其中黑磷热力学稳定.二维材料因其低维效应而备受关注,而近期二维黑磷的成功制备使其成为二维材料的新成员.二维黑磷是带隙可调的片层结构半导体材料,在光电领域有很大的潜力,因而备受瞩目.本文大量引用参考文献,综述了黑磷的结构、制备方法,并详细介绍了二维黑磷的各种性质及其器件性能的研究,以及化学稳定性及防降解措施.最后分析了二维黑磷的研究发展趋势. 展开更多
关键词 二维半导体材料 黑磷 制备 性质 器件性能
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又一个要取代硅的新型二维半导体:黑磷
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作者 季建平 《半导体信息》 2014年第2期34-35,共2页
近年来,二维晶体材料因其优越的电气特性,成为半导体材料研究的新方向。继石墨烯、二硫化钼之后,近日,在《自然·纳米技术》杂志上,复旦大学物理系张远波教授课题组发现了一种新型二维半导体材料——黑磷,并成功制备了相应的场效应... 近年来,二维晶体材料因其优越的电气特性,成为半导体材料研究的新方向。继石墨烯、二硫化钼之后,近日,在《自然·纳米技术》杂志上,复旦大学物理系张远波教授课题组发现了一种新型二维半导体材料——黑磷,并成功制备了相应的场效应晶体管器件,它将有可能替代传统的硅,成为电子线路的基本材料。 展开更多
关键词 半导体材料 电子线路 纳米技术 二硫化钼 新方向 二维晶体 教授课题 单原子层 晶体管器件 电气特性
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黑磷的特性与应用
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作者 许亦非 《化工管理》 2017年第8期103-103,105,共2页
黑磷拥有直接带隙的特性,填补了二维材料的空白,成为备受关注的新型二维材料。其良好地光吸收效率,结合它本身的高载流子迁移率,使得黑磷在通讯及能源方而具有重要的潜在应用价值。本文概述了黑磷的结构、直接带隙特性和其在半导体、场... 黑磷拥有直接带隙的特性,填补了二维材料的空白,成为备受关注的新型二维材料。其良好地光吸收效率,结合它本身的高载流子迁移率,使得黑磷在通讯及能源方而具有重要的潜在应用价值。本文概述了黑磷的结构、直接带隙特性和其在半导体、场效应晶体管等领域的应用。 展开更多
关键词 黑磷 直接带隙 场效应晶体管 半导体
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An empirical description for the hinge-like mechanism in single-layer black phosphorus:The angle–angle cross interaction
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作者 Jin-Wu Jiang 《Acta Mechanica Solida Sinica》 SCIE EI CSCD 2017年第3期227-233,共7页
The single-layer black phosphorus is characterized by its puckered configuration that pos- sesses the hinge-like behavior, which leads to the highly anisotropic in-plane Poisson's ratios and the negative out-of-plane... The single-layer black phosphorus is characterized by its puckered configuration that pos- sesses the hinge-like behavior, which leads to the highly anisotropic in-plane Poisson's ratios and the negative out-of-plane Poisson's ratio. We demonstrate that the hinge-like mechanism can be described by the angle-angle cross interaction, which, combined with the bond stretching and angle bending interactions, is able to provide a good description for the mechanical properties of single-layer black phosphorus. We also propose a nonlinear angle-angle cross interaction, which follows the form of Stillinger-Weber potential and can be advantageous for molecular dynamics simulations of single-layer black phosphorus under large deformation. 展开更多
关键词 Black phosphorus Stillinger-Weber potential Hinge-like mechanism Molecular dynamics simulation Mechanical properties
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Identification of strained black phosphorous by Raman spectroscopy
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作者 Jiawei Wan Junhong Guo Fangren Hu 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2017年第4期10-13,共4页
Phosphorene has a very high hole mobility and can be a tuned band structure,and has become an ideal material for electronic devices.For this new type of two-dimensional material,in the applied strain,black phosphorus... Phosphorene has a very high hole mobility and can be a tuned band structure,and has become an ideal material for electronic devices.For this new type of two-dimensional material,in the applied strain,black phosphorus(BP) can be changed into an indirect band gap and metallic materials from the direct band gap semiconductor material,which greatly affect its inherent physical characteristics.How to identify strained micro structure changes becomes an important problem.The calculated Raman spectra disclose that the Ag-2 mode and B(2g) mode will split and the Raman spectra appear,while the Ag-1 mode is shifted to low-frequency region.The deformation induced by strain will effectively change the Raman mode position and intensity,this can be used to identify phosphorus changes. 展开更多
关键词 black phosphorus strain Raman scattering DFT
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Toward high-performance two-dimensional black phosphorus electronic and optoelectronic devices 被引量:2
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作者 李学飞 熊雄 吴燕庆 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第3期137-147,共11页
Recently, black phosphorus (BP) has joined the two-dimensional material family as a promising candidate for elec- tronic and photonic applications due to its moderate bandgap, high carrier mobility, and unusual in-p... Recently, black phosphorus (BP) has joined the two-dimensional material family as a promising candidate for elec- tronic and photonic applications due to its moderate bandgap, high carrier mobility, and unusual in-plane anisotropy. Here, we review recent progress in BP-based devices, such as field-effect transistors, contact resistance, quantum transport, stabil- ity, photodetector, heterostructure, and in-plane anisotropy. We also give our perspectives on future BP research directions. 展开更多
关键词 black phosphorus TRANSISTORS MOBILITY PHOTODETECTOR
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发射结磷扩散方法的改进 被引量:2
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作者 陈炳若 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第2期32-34,39,共4页
分析了高温高浓度磷扩散工艺生产中的种种弊病,提出了类似于硼扩散新的磷扩散方法,详细分析了新方法的可行性及优点,实验结果和理论分析一致。
关键词 扩散 杂质分布 电流增益β
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国外高纯磷
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作者 宗树森 《材料导报》 EI CAS CSCD 1989年第5期3-8,共6页
高纯磷大部分用作 GaP 的原料。最近,用于光通讯的 InP 受到人们注目。有人认为,GaAs 和 GaP 就象两个轮子推动着半导体化合物的发展,也有人说,GaP 是继 GaAs
关键词 高纯磷 GAP 制备
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Anisotropic Ballistic Transport through a Potential Barrier on Monolayer Phosphorene
10
作者 程芳 何兵 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第5期96-99,共4页
We demonstrate theoretically the anisotropic quantum transport of electrons through a single barrier on monolayer phosphorene. Using an effective k .p Hamiltonian, we find that the transmission probability for transpo... We demonstrate theoretically the anisotropic quantum transport of electrons through a single barrier on monolayer phosphorene. Using an effective k .p Hamiltonian, we find that the transmission probability for transport through n-n-n (or n p-n) junction is an oscillating function of the incident angle, the barrier height, as well as the incident energy of electrons. The conductance in such systems depends sensitively on the transport direction due to the anisotropic effective mass. By tuning the Fermi energy and gate voltage, the channels can be transited from opaque to transparent, which provides us with an efficient way to control the transport of monolayer phosphorene-based microstructures. 展开更多
关键词 for of in Anisotropic Ballistic Transport through a Potential Barrier on Monolayer Phosphorene IS on
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多孔硅发光机制的量子理论
11
作者 杨国伟 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第3期4-6,共3页
评述了多孔硅发光机制的量子限制效应(QuantumConfinementEffect,QCE)理论,讨论了与此相关的一些实验和两种新的QCE理论,最后分析了QCE理论存在的一些问题。
关键词 多孔硅 发致发光 量子效应
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碳—氢—氯体系金刚石薄膜生长条件预测
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作者 万永中 张剑云 +2 位作者 刘志杰 张卫 王季陶 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第6期604-609,共6页
首次计算了碳—氢—氯体系中生长金刚石薄膜的相图,研究了该体系中金刚石生长区随衬底温度及氯含量变化的趋势,与实验结果符合较好计算结果表明,C—H—Cl系相图中金刚石生长区被限制在两个小三角形(CH4—H—HCl和CCh—HCl—Cl)中... 首次计算了碳—氢—氯体系中生长金刚石薄膜的相图,研究了该体系中金刚石生长区随衬底温度及氯含量变化的趋势,与实验结果符合较好计算结果表明,C—H—Cl系相图中金刚石生长区被限制在两个小三角形(CH4—H—HCl和CCh—HCl—Cl)中变化.可能生长金刚石薄膜的碳氢纪组分被严格地限制在金刚石生长区内,并随生长温度和压力等条件而变化.当气相中氯含量与氢的含量相近时,金刚石生长区趋于消失金刚石生长区为实验提供了选择和优化碳氢级组分、生长温度及压力的理论依据. 展开更多
关键词 金刚石 薄膜 热力学 卤素 碳氢氯体系
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