微型圆光栅刻划偏心量的控制

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作者 喻洪麟 《光子学报》 EI CAS CSCD 1998年第6期573-576,共4页

对微型圆光栅刻划偏心误差问题进行了讨论提出了微型圆光栅刻划时偏心调试误差的公差范围

关键词 光栅 微型圆光栅 偏心量控制 刻划偏心量

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高精度多种进制圆光栅制造方法的研究

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作者 徐杜 黄尚廉 杨冠玲 《量子电子学》 CAS CSCD 1995年第1期70-74,共5页

本文提出了一种用于ＣＡＭ系统的最小公倍数法，以及用该方法研制的多种进制增量式圆光栅ＣＡＭ刻划系统．应用该方法有效地解决了多种进制增量式圆光栅和多种进制指示光栅的刻划难题，实现了在一种进制的光电图刻线机上刻划多种进制圆... 本文提出了一种用于ＣＡＭ系统的最小公倍数法，以及用该方法研制的多种进制增量式圆光栅ＣＡＭ刻划系统．应用该方法有效地解决了多种进制增量式圆光栅和多种进制指示光栅的刻划难题，实现了在一种进制的光电图刻线机上刻划多种进制圆光栅。另外，详细介绍了其实现方法，以及用于该ＣＡＭ系统的硬件和软件． 展开更多

关键词 计量光栅 多种进制 增量式 圆光栅 制造

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反射全息乳胶特性的一种检测方法 被引量：1

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作者 施英 熊秉衡 +3 位作者 吕晓旭 张永安 佘灿麟 王正荣 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1999年第4期33-34,共2页

本文提出一种检测反射全息乳胶特性的方法。它通过检测拍摄反射光栅时所伴随产生的透射光栅的位相调制度来间接判断反射光栅的性质。实验表明：透射光栅的位相调制度与曝光量的关系与反射光栅衍射效率与曝光量的关系两者间有很好的对应... 本文提出一种检测反射全息乳胶特性的方法。它通过检测拍摄反射光栅时所伴随产生的透射光栅的位相调制度来间接判断反射光栅的性质。实验表明：透射光栅的位相调制度与曝光量的关系与反射光栅衍射效率与曝光量的关系两者间有很好的对应，而透射光栅的位相调制度是易于检测和控制的，因而可以借助于它来掌握或控制反射光栅的衍射效率。本文给出了理论分析和实验结果。 展开更多

关键词 反射全息光栅 位相调制度 全息光栅 检测

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用直径全中误差评定圆光栅的分度误差

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作者 杨进堂 《计量技术》 北大核心 1998年第5期45-47,共3页

本文从测量、采样间隔选取和置信因素Ｋ的确定等方面探讨用标准偏差评定圆光栅分度误差的可能性。

关键词 直径全中误差 圆光栅 分度误差

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圆光栅动态检测的填脉冲比相法及其数据处理

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作者 陈林 戴兴庆 龚祖铭 《上海机械学院学报》 1990年第4期9-14,共6页

本文介绍的填脉冲比相法是应用计算机技术进行圆光栅动态检测的一种新方法。由于直接用数字量进行采样和数据处理,因此解决了以前用模拟信号进行采样所产生的高频成分损失和人工定标误差这两个问题。

关键词 圆光栅 动态检测 比相法 数据处理

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电子束刻蚀法制作微米/亚微米云纹光栅技术 被引量：3

6

作者 谢惠民 戴福隆 +1 位作者 岸本哲 张维 《光学技术》 CAS CSCD 2000年第6期526-528,共3页

本文应用电子束刻蚀技术并结合真空镀膜技术提出了制作电子束云纹光栅的新方法。首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺。所制得的光栅可在两频率下应用电子束云纹法测量物体的变形。同一般光栅相比 ,这种双频光栅变形量程范围... 本文应用电子束刻蚀技术并结合真空镀膜技术提出了制作电子束云纹光栅的新方法。首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺。所制得的光栅可在两频率下应用电子束云纹法测量物体的变形。同一般光栅相比 ,这种双频光栅变形量程范围更大。在本研究中 ,运用电子束刻蚀法并结合真空镀膜技术制作出 0 .1μm间距 ( 10 0 0 0线 /mm光栅 )的电子束云纹光栅。应用所制作的 10 μm/1μm双频光栅与相对应的电子束参考栅干涉 ,分别得到对应的电子束云纹场。文中对制栅工艺及方法进行了详细的讨论。 展开更多

关键词 电子束刻蚀法 变形测量 电子束云纹光栅

原文传递

一种制作超高频全息光栅的新方法 被引量：1

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作者 王朝阳 戴福隆 《光学技术》 EI CAS CSCD 1999年第3期53-55,共3页

为了满足测量的高分辨率和灵敏度，基于光栅为关键元件的光学测量方法要求光栅有很高的频率。在已有的高折射率介质制栅方法的基础上提出了一种新的制作超高频全息光栅的方法，该方法制栅准确、简单、方便，其特点是所制光栅的频率与激... 为了满足测量的高分辨率和灵敏度，基于光栅为关键元件的光学测量方法要求光栅有很高的频率。在已有的高折射率介质制栅方法的基础上提出了一种新的制作超高频全息光栅的方法，该方法制栅准确、简单、方便，其特点是所制光栅的频率与激光波长及介质的折射率无直接关系，而是等于制栅光路所得频率与两倍母栅频率之和。实验表明。 展开更多

关键词 高折射率介质 超高频光栅 制作方法 全息光栅

原文传递

用全息照相制造光栅

8

作者 余金三 《上海光机》 1989年第2期15-24,共10页

关键词 衍射光栅 全息照相法 光栅 反射型

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光栅尺制造工艺

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作者 余云俊 《工具技术》 北大核心 1989年第10期47-48,共2页

数字读出系统(DRO或VRO)是测量系统中的重要组件。测量系统的精度主要由传感器或码尺决定,因此,传感器或码尺是测量系统中的关键器件。码尺一般安装于机床不显著的部位(有时是以密封方式安装的)。在加工过程中,码尺和读数部件起着监视... 数字读出系统(DRO或VRO)是测量系统中的重要组件。测量系统的精度主要由传感器或码尺决定,因此,传感器或码尺是测量系统中的关键器件。码尺一般安装于机床不显著的部位(有时是以密封方式安装的)。在加工过程中,码尺和读数部件起着监视系统的作用。本文着重介绍美国AcuRite公司的光栅制造工艺。一、码尺的类别码尺能把位移量转换为电信号。 展开更多

关键词 光栅尺 计量光栅仪器 光栅

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计量光栅莫尔信号微控制器细分技术的研究 被引量：3

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作者 邵根富 张旭 +1 位作者 窦建铃 张新明 《电子测量技术》 1997年第3期44-46,共3页

计量光栅位移传感器输出的两路正交莫尔信号包含了位移的全部信息,通过对其进行数据采样和数据处理可以达到对莫尔信号高倍细分的目的。本文提出了一种新的细分算法,给出了以微控制器为核心的细分电路结构和工作原理,并分析了这种细分... 计量光栅位移传感器输出的两路正交莫尔信号包含了位移的全部信息,通过对其进行数据采样和数据处理可以达到对莫尔信号高倍细分的目的。本文提出了一种新的细分算法,给出了以微控制器为核心的细分电路结构和工作原理,并分析了这种细分方法的分辨力。 展开更多

关键词 计量光栅 细分 莫尔信号 微控制器

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不依赖于长度基准的光栅细分精度的评定方法 被引量：6

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作者 王春海 张国雄 景芳盛 《计量学报》 CSCD 1995年第1期6-11,共6页

分析了光栅细分精度与利萨如图形的关系，给出了通过利萨如图形评定光栅细分精度的方法。该方法将对测量条件要求极高的细分误差评定工作转化为普通的电压测量和计算，使光栅细分精度的评定不再依赖于高精度的长度基准。该方法适用于各... 分析了光栅细分精度与利萨如图形的关系，给出了通过利萨如图形评定光栅细分精度的方法。该方法将对测量条件要求极高的细分误差评定工作转化为普通的电压测量和计算，使光栅细分精度的评定不再依赖于高精度的长度基准。该方法适用于各种误差模型的光栅信号，也适用于其它任何以相位差为９０°的两路信号进行细分计量仪器。 展开更多

关键词 光栅 细分误差 利萨如图形 测量

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ZDC-3型大直径测量仪检定装置

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作者 韩岩 马荃 +2 位作者 张黎平 王淑萍 殷镇良 《现代计量测试》 1999年第6期60-61,63,共3页

介绍一种用于检定“智能大直径测量仪”的装置。该装置采用光电瞄准、光栅检测系统进行非接触测量，不仅结构简单，使用方便，而且具有较高的测量精度。

关键词 大尺寸测量 光电瞄准 光栅检测 大直径测量

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光纤布喇格光栅的低温特性

13

作者 周少玲 《文献快报（纤维光学与电线电缆）》 1999年第2期6-9,共4页

我们测量了光纤布喇格光栅在４．２￣３５０Ｋ温度范围内布喇格波长与温度的关系。室温时（２９３Ｋ）实测的波长与温度的关系对应折射率与波长的关系，为ｄｎ／ｄＴ＝９．１×１０＾－６／℃，这与熔凝氧化硅早期的测试结果一致，... 我们测量了光纤布喇格光栅在４．２￣３５０Ｋ温度范围内布喇格波长与温度的关系。室温时（２９３Ｋ）实测的波长与温度的关系对应折射率与波长的关系，为ｄｎ／ｄＴ＝９．１×１０＾－６／℃，这与熔凝氧化硅早期的测试结果一致，然而ｄｎ／ｄＴ值随温度的降低而减小，液态氮温度（７７Ｋ）时降为３．５×１０＾－６／℃，而液态氦温度（４．２Ｋ）时近似为零。埋置在复合材料中的光纤光栅布喇格波长的温度特性与非埋置光栅相同。 展开更多

关键词 光纤布喇格光栅 低温特性 测试 布喇格波长

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