基于ANSYS Workbench的真空镀膜设备真空室体有限元分析 被引量：3

1

作者 华海宇 罗阳 《机械》 2015年第3期43-46,共4页

以真空镀膜设备真空室体为研究对象,利用Inventor建立三维模型,导入ANSYS Workbench中进行有限元分析。通过对ANSYS Workbench后处理数据进行分析得出真空室体在标准大气压作用下的总变形量、等效应力、等效应变分布规律,根据分析结果... 以真空镀膜设备真空室体为研究对象,利用Inventor建立三维模型,导入ANSYS Workbench中进行有限元分析。通过对ANSYS Workbench后处理数据进行分析得出真空室体在标准大气压作用下的总变形量、等效应力、等效应变分布规律,根据分析结果结合技术要求对真空室体结构进行优化设计。 展开更多

关键词 真空镀膜设备 真空室体 ANSYS WORKBENCH

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涡轮分子泵在低温下的真空特性

2

《四川真空》 1998年第1期46-50,共5页

关键词 涡轮分子泵 低温 真空特性 高真空系统 机械泵

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JK-400T 高真空机组在 WZM630 环模设备上的应用

3

作者 李育红 谈治信 刘玉魁 《真空与低温》 1998年第2期91-94,共4页

介绍了ＪＫ－４００Ｔ机组在ＷＺＭ６３０环模设备中的应用。概述了机组的方案确定，设计原则，安装、调试、操作、维修等主要问题。

关键词 高真空机组 设计原则 安装 环境模拟 航天

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流体动力学能量方程实验设备抽排气研究

4

作者 汪国庆 王英 +1 位作者 黃劲峰 徐克平 《昆明冶金高等专科学校学报》 CAS 2014年第3期47-50,共4页

一般圆管的液体流动过程中通常混有气体,管流是液体与气体的两相流动。实验依靠能量方程实验设备把低位水箱的水输送至高位水箱形成恒定流,由下水管送到实验区,当流量增大时串入大量气体,测量点参数完全失效。采用新研究的液气两相流抽... 一般圆管的液体流动过程中通常混有气体,管流是液体与气体的两相流动。实验依靠能量方程实验设备把低位水箱的水输送至高位水箱形成恒定流,由下水管送到实验区,当流量增大时串入大量气体,测量点参数完全失效。采用新研究的液气两相流抽气装置有效克服了气体串入实验管段,保证实验管路为满管流,满足能量方程、能量损失的科学实验。 展开更多

关键词 流体动力学 能量方程 单相流 抽排气

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浅谈200MW机组油系统调试、运行中存在的问题及处理

5

作者 杨东升 《中国电子商务》 2012年第15期80-80,共1页

内蒙古蒙华泰热电厂200MW机组，其调速系统为高压抗燃油数字电液调节控制系统，保安油压为低压透平油系统。本文对其在调试及运行期间存在的问题及相应处理进行分析研究，供其它同类型机组参考。

关键词 油系统 问题 处理

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高湿物料真空连续复合管束烘干设备研制初步探讨

6

作者 曹军安 谢玲丽 《干燥技术与设备》 CAS 2007年第5期254-257,共4页

从分析影响烘干设备干燥效果的烘干时间、加热温度、运行距离、物料与加热系统的接触面积入手,研制出高湿物料真空连续复合管束烘干设备。干燥主机采用三个不同直径的同心圆筒组成多级干燥室,各个干燥室内设有一定数量的加热管束,利用... 从分析影响烘干设备干燥效果的烘干时间、加热温度、运行距离、物料与加热系统的接触面积入手,研制出高湿物料真空连续复合管束烘干设备。干燥主机采用三个不同直径的同心圆筒组成多级干燥室,各个干燥室内设有一定数量的加热管束,利用真空连续干燥、热能按需分配的原理,延长物料在干燥主机内的烘干时间、运行距离,加大物料与加热系统的接触面积,提高烘干设备的空间利用率,从而有效地提高了烘干效率,降低烘干成本,改善了物料品质;改变了传统管束烘干设备采用一级干燥室的空间利用率低、热能不被充分利用的局面。 展开更多

关键词 多级干燥室 热能按需分配 真空连续干燥 空间利用率 热能利用率

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无排气管VFD立式排气机的设计

7

作者 蒋惠忠 章浙根 王正品 《浙江科技学院学报》 CAS 2007年第1期1-3,共3页

无排气管VFD排气机是生产无排VFD的关键设备。在介绍无排气管VFD立式排气机的结构设计方案的基础上,重点讨论了真空头、封口装置、真空盒的关键技术及其特点。实践证明,新设计开发的无排气管VFD立式排气机的设计合理、制造成本低,具有... 无排气管VFD排气机是生产无排VFD的关键设备。在介绍无排气管VFD立式排气机的结构设计方案的基础上,重点讨论了真空头、封口装置、真空盒的关键技术及其特点。实践证明,新设计开发的无排气管VFD立式排气机的设计合理、制造成本低,具有推广应用前景。 展开更多

关键词 无排气管VFD 排气机 真空盒 封口装置

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Fiberguide推出超高或高真空系统使用的光纤接口

8

《光机电信息》 2009年第6期47-47,共1页

Fiberguide公司推出了一系列光纤馈通产品。这些产品可以使得在真空系统和压力舱使用光纤更为简单。这些馈通产品．能够用于任何需要与超真空或高真空系统建立光学接口的医疗、工业或研究应用。

关键词 高真空系统 光纤接口 光学接口 产品 压力舱

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中性束注入器真空系统设计 被引量：1

9

作者 谢远来 胡纯栋 +1 位作者 欧阳峥嵘 王绍虎 《真空》 CAS 北大核心 2006年第4期26-28,共3页

中性束注入器(NB I)真空系统的性能对束传输效率以及整个束线内相关部件的使用寿命与使用安全影响极大。本文结合中性束注入器对真空系统的要求,对真空室的结构选择及气源分布进行了分析并对各气源的气量大小进行了计算。为NB I设计了... 中性束注入器(NB I)真空系统的性能对束传输效率以及整个束线内相关部件的使用寿命与使用安全影响极大。本文结合中性束注入器对真空系统的要求,对真空室的结构选择及气源分布进行了分析并对各气源的气量大小进行了计算。为NB I设计了一套以4.2 K液氦低温冷凝泵为真空主抽泵并配以涡轮分子泵机组的抽气系统,采用此真空系统的NB I系统具有良好的真空性能。 展开更多

关键词 真空系统 中性束注入器 低温冷凝泵 设计

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镀膜机真空室的有限元分析 被引量：1

10

作者 刘润一 刘东 《装备制造技术》 2016年第12期24-27,共4页

有限元法是将连续体离散化,通过对有限个单元做分片插值求解各种力学物理学问题的一种数值方法。利用Solid Works建立镀膜机真空室三维模型,将其通过接口导入ANSYS Workbench进行有限元分析,通过网格划分,施加载荷,求解计算对模型进行... 有限元法是将连续体离散化,通过对有限个单元做分片插值求解各种力学物理学问题的一种数值方法。利用Solid Works建立镀膜机真空室三维模型,将其通过接口导入ANSYS Workbench进行有限元分析,通过网格划分,施加载荷,求解计算对模型进行静力学分析得到真空室的变形情况,并在后续优化设计中提供参考。 展开更多

关键词 真空 建模:有限元法 变形

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用于OLED试验的小型真空制备系统设计 被引量：2

11

作者 隋文 张驰 李建昌 《真空》 CAS 2019年第3期6-9,共4页

基于国内外OLED制备系统的特点,设计了OLED研究专用小型真空试验系统。布局将掩模室、蒸镀室、过渡室和手套箱线性排列,可实现不同膜层结构OLED器件的有机薄膜和电极的原位沉积,提供了封装所需超低水氧含量的清洁环境。对系统结构、核... 基于国内外OLED制备系统的特点,设计了OLED研究专用小型真空试验系统。布局将掩模室、蒸镀室、过渡室和手套箱线性排列,可实现不同膜层结构OLED器件的有机薄膜和电极的原位沉积,提供了封装所需超低水氧含量的清洁环境。对系统结构、核心部件及抽气系统做了分析计算及论述。 展开更多

关键词 OLED器件 真空蒸发镀膜 手套箱 OLED封装

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同心锥片式水冷挡板流导计算

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作者 孙承辉 《真空》 CAS 北大核心 1994年第1期35-40,共6页

本文探讨了高真空系统中常用的同心锥片式水冷挡板的流导计算方法。该同心锥片式水冷挡板与Ａ·Ｒｏｔｈ著的《ＶＡＣＵＵＭＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ》一书中介绍的同心维片式结构不同。本方法计算值与实际测试值相近，可作为设计中的... 本文探讨了高真空系统中常用的同心锥片式水冷挡板的流导计算方法。该同心锥片式水冷挡板与Ａ·Ｒｏｔｈ著的《ＶＡＣＵＵＭＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ》一书中介绍的同心维片式结构不同。本方法计算值与实际测试值相近，可作为设计中的参考。 展开更多

关键词 水冷挡板 流导 高真空系统 高真空 油扩散泵

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真空系统图解分析法

13

作者 克劳.,特 《四川真空》 1991年第1期41-43,23,共4页

关键词 真空系统 图解法 高真空

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分子束装置用的高真空机组的存储程序控制器

14

作者 泽多.,尔 陈文浩 《四川真空》 1991年第1期44-50,9,共8页

关键词 分子束装置 高真空机组 控制器

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SC200超导质子回旋加速器束流传输真空系统及控制设计

15

作者 朱雷 张午权 黄发领 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期850-856,共7页

束流传输系统真空是合肥超导质子医疗设备(SC200)的重要技术保障。研究束流传输系统真空对有效保证束流传输环境和束流最终品质,使束流在合理的偏差范围内到达治疗终端有着重要作用。SC200输运线上二极铁、四级铁、校正铁、束流阻断器... 束流传输系统真空是合肥超导质子医疗设备(SC200)的重要技术保障。研究束流传输系统真空对有效保证束流传输环境和束流最终品质,使束流在合理的偏差范围内到达治疗终端有着重要作用。SC200输运线上二极铁、四级铁、校正铁、束流阻断器和束测等部件分布密集,局部机械空间紧张。在此设计输入下,束流传输系统的真空部件和真空管结构既要有利于束流传输的品质,又要确保机械安装空间和后期设备维护的便利性。SC200超导质子回旋加速器束流传输真空系统总长约65 m,动态真空要求优于5×10^-4 Pa(局部可降低为5×10^-3 Pa)。研究结果表明,SC200超导质子回旋加速器束流传输系统真空设计满足设计输入要求。 展开更多

关键词 超导质子 回旋加速器 束流传输系统 动态真空

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真空技术及应用系列讲座 第十六讲 真空系统的操作与维护

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作者 张以忱 《真空》 CAS 北大核心 2009年第6期86-88,共3页

（上接2009年第5期88页）表13简单列出扩散泵高真空系统减少泵液等污物污染的方法。

关键词 高真空系统 维护 操作 扩散泵

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光热发电真空管用新型排气台的研制

17

作者 康延滨 《工业技术创新》 2020年第5期23-27,共5页

为解决传统太阳能光热发电真空管排气工艺能耗巨大、温度场不均匀、排气效果差等不足,研制了一种光热发电真空管用新型排气台。设备由真空、加热、自动控制三个系统联合组成,改变了传统的烘烤加热方式,利用太阳能光热发电真空管的内管... 为解决传统太阳能光热发电真空管排气工艺能耗巨大、温度场不均匀、排气效果差等不足,研制了一种光热发电真空管用新型排气台。设备由真空、加热、自动控制三个系统联合组成,改变了传统的烘烤加热方式,利用太阳能光热发电真空管的内管作为阻性负载,采用KT晶闸管调压器作为加热电源,通过温度控制仪进行高精度温度控制,直接对内管加热。新型排气台将光热发电真空管长度方向上的控温精度保持在±5℃以内,加热能耗节约40%以上,不仅达到了高精度控温和节能的设计目的,而且整个生产工艺过程实现了全自动控制。 展开更多

关键词 光热发电真空管 排气台 真空 加热 控温精度 能耗节约

原文传递

几种高真空泵机组简介

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作者 刘菊梅 《中国设备工程》 2001年第11期18-19,共2页

关键词 真空泵 真空度 高真空泵机组 真空机组

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ZQL-80B型真空正压气淬炉的研制

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作者 李斐 杨玉良 《开封大学学报》 2009年第3期82-86,共5页

作为真空气淬炉关键技术的强冷系统应从冷却介质和冷却方式两方面采取措施,以保证工件的冷却速度和温度均匀性.ZQL-80B型真空正压气淬炉的研制,为材料热处理行业提供了一种精度高、性能稳定、自动化程度高的设备,该设备能广泛应用于汽... 作为真空气淬炉关键技术的强冷系统应从冷却介质和冷却方式两方面采取措施,以保证工件的冷却速度和温度均匀性.ZQL-80B型真空正压气淬炉的研制,为材料热处理行业提供了一种精度高、性能稳定、自动化程度高的设备,该设备能广泛应用于汽车、微电子等行业当中. 展开更多

关键词 真空气淬 强制冷却 PLC控制

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真空镀膜机控制系统的温控改造 被引量：2

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作者 刘嘉滨 沈学浩 王晓玲 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2014年第12期49-53,共5页

在有限的教学经费及传统真空镀膜设备不报废的条件下,结合实际实验教学需要,对设备进行针对性的改造,使其能最大化使用。DM-240型真空镀膜机的扩散泵采用的是水冷却系统,但在实验结束过程中,需要人工判断扩散泵是否冷却,然后进行设备与... 在有限的教学经费及传统真空镀膜设备不报废的条件下,结合实际实验教学需要,对设备进行针对性的改造,使其能最大化使用。DM-240型真空镀膜机的扩散泵采用的是水冷却系统,但在实验结束过程中,需要人工判断扩散泵是否冷却,然后进行设备与水路系统的关闭操作,并且该过程占据相当的实验时间,影响到实验教学质量。针对扩散泵冷却控制系统进行温控自动化改造,利用温度控制和阀门控制设备,实现对扩散泵冷却系统温度的监控,并可自动关闭水冷却系统与机组设备,做到无人值守。不仅为实验教学提供了充足的实验时间,也可有效地避免因误操作而造成对设备的损坏。 展开更多

关键词 真空镀膜 真空泵 扩散泵

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