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1.55 μm波长硅基均匀光栅耦合器的设计与优化
1
作者
高
润
中
郭丽君
+1 位作者
崔健
齐小瑜
《传感器技术与应用》
2022年第1期31-36,共6页
为解决光波导器件耦合效率低、难以实现的问题,本文开展了集成光波导耦合技术的研究,设计了一种均匀光栅耦合器,采用时域有限差分法对光栅耦合器进行了仿真和优化。计算结果:光栅耦合器在耦合角度 = 20˚,刻蚀宽度w = 300 nm,刻蚀深度e =...
为解决光波导器件耦合效率低、难以实现的问题,本文开展了集成光波导耦合技术的研究,设计了一种均匀光栅耦合器,采用时域有限差分法对光栅耦合器进行了仿真和优化。计算结果:光栅耦合器在耦合角度 = 20˚,刻蚀宽度w = 300 nm,刻蚀深度e = 70 nm,周期p = 660 nm时,该种光栅耦合器耦合效率达到57.2%。本文工作可为光栅耦合器的设计提供参考。
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关键词
光波导
光栅耦合器
时域有限差分法
耦合效率
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职称材料
题名
1.55 μm波长硅基均匀光栅耦合器的设计与优化
1
作者
高
润
中
郭丽君
崔健
齐小瑜
机构
长春理工大学
出处
《传感器技术与应用》
2022年第1期31-36,共6页
文摘
为解决光波导器件耦合效率低、难以实现的问题,本文开展了集成光波导耦合技术的研究,设计了一种均匀光栅耦合器,采用时域有限差分法对光栅耦合器进行了仿真和优化。计算结果:光栅耦合器在耦合角度 = 20˚,刻蚀宽度w = 300 nm,刻蚀深度e = 70 nm,周期p = 660 nm时,该种光栅耦合器耦合效率达到57.2%。本文工作可为光栅耦合器的设计提供参考。
关键词
光波导
光栅耦合器
时域有限差分法
耦合效率
分类号
TN622 [电子电信—电路与系统]
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题名
作者
出处
发文年
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1
1.55 μm波长硅基均匀光栅耦合器的设计与优化
高
润
中
郭丽君
崔健
齐小瑜
《传感器技术与应用》
2022
0
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