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200 mm超厚层IGBT用硅外延片滑移线控制
被引量:
2
1
作者
袁肇耿
刘永超
+2 位作者
张未涛
高
国
智
赵叶军
《半导体技术》
CAS
北大核心
2022年第2期122-125,151,共5页
重点探究了直径200 mm超厚层硅片滑移线的影响因素以及控制方法。使用平板硅外延炉加工超厚层外延片,并使用颗粒测试仪SP1和光学干涉显微镜表征滑移线。从热应力是滑移线的主要成因出发,通过对衬底和基座背面凹槽的设计以及升温曲线的...
重点探究了直径200 mm超厚层硅片滑移线的影响因素以及控制方法。使用平板硅外延炉加工超厚层外延片,并使用颗粒测试仪SP1和光学干涉显微镜表征滑移线。从热应力是滑移线的主要成因出发,通过对衬底和基座背面凹槽的设计以及升温曲线的控制这三个方面改善了滑移线。结果表明,随着衬底倒角背面幅长和基座背面凹槽深度的增加,外延片的滑移线长度均呈现先减小后增大的趋势。衬底倒角最佳背面幅长为500μm,基座背面凹槽的最佳深度为0.80 mm。同时,在873 K下恒温3 min的升温工艺可以减少厚层硅外延片的滑移线。
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关键词
高压IGBT
外延
滑移线
平板硅外延炉
凹槽深度
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职称材料
联合检测肾损伤标志物对输尿管软镜术所致急性肾损伤的临床意义
2
作者
黄海
高
国
智
+1 位作者
屈姗
张茜
《湖南中医药大学学报》
CAS
2016年第A01期132-133,共2页
目的探讨联合检测肾损伤分子-1(KIM-1)、中性粒细胞明胶酶相关脂质运载蛋白(NGAL)、N-乙酰-β-D-氨基葡萄糖苷酶(NAG)、肝型脂肪酸结合蛋白( LFABP)的表达对输尿管软镜术(RIRS)患者肾组织损伤的临床意义.方法筛选 2013 年 5月...
目的探讨联合检测肾损伤分子-1(KIM-1)、中性粒细胞明胶酶相关脂质运载蛋白(NGAL)、N-乙酰-β-D-氨基葡萄糖苷酶(NAG)、肝型脂肪酸结合蛋白( LFABP)的表达对输尿管软镜术(RIRS)患者肾组织损伤的临床意义.方法筛选 2013 年 5月 -2013 年11 月,经我院治疗需要接受RIRS 的 36 例肾结石患者作为观察组,选取 40例无泌尿生殖道疾病同期健康体检者为对照组.分别检测对照组和观察组 RIRS术前、术后 2 、24 h尿中KIM-1、NGAL、NAG、LFABP和肌酸酐 (Cr)含量,并计算出KIM-1 / Cr、NGAL / Cr、NAG / Cr 和LFABP / Cr.结果RIRS术后2 h尿KIM-1 / Cr 为 5.15 ± 2.19,与对照组和术前组比较明显上升,差异有统计学意义(P〈0.05);NGAL / Cr 为 943 ± 172,与对照组和术前组比较显著上升,差异有统计学意义(P〈0.05).术后 24 小时KIM-1 / Cr 、NGAL / Cr基本恢复到术前水平,与对照组和术前组比较无显著差异(P〉0.05).且NAG / Cr和LFABP / Cr在手术后2、24 h均未显著改变(P〉0.05).结论联合检测尿 KIM-1 、NGAL、NAG和LFABP 可作为判定RIRS 患者肾损伤的敏感标志物.
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关键词
输尿管软镜术
急性肾损伤
肾损伤分子-1
中性粒细胞明胶酶相关脂质运载蛋白
N-乙酰基-β-D-氨基葡萄糖苷酶
肝型脂肪酸结合蛋白
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职称材料
肖特基二极管用硅外延片过渡区控制研究
3
作者
侯志义
高
国
智
王铁刚
《科技传播》
2016年第8期137-138,共2页
肖特基二极管是一种低功耗、超高速半导体器件,具有正向压降小、开关频率高等特点,高性能的肖特基二极管器件需要高质量的外延材料,生长出高质量的外延层成了制作高频肖特基二极管的关键。
关键词
肖特基
二极管实验
工艺改善
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职称材料
探究在急性胃肠炎痉挛性腹痛的临床治疗中采用硫酸镁与间苯三酚药物联合治疗的效果
4
作者
高
国
智
《饮食科学》
2019年第16期42-42,共1页
目的:针对患有急性胃肠炎痉挛性腹痛的患者,对其采用硫酸镁与间苯三酚药物联合治疗以后,对该治疗方法的临床效果进行分析。方法:在本院2018年2月到2019年2月期间,接受患有急性胃肠炎痉挛性腹痛的患者中随机挑选46例,对其进行硫酸镁药物...
目的:针对患有急性胃肠炎痉挛性腹痛的患者,对其采用硫酸镁与间苯三酚药物联合治疗以后,对该治疗方法的临床效果进行分析。方法:在本院2018年2月到2019年2月期间,接受患有急性胃肠炎痉挛性腹痛的患者中随机挑选46例,对其进行硫酸镁药物治疗(对比组)和硫酸镁与间苯三酚药物联合治疗(观察组),对比两组患者的治疗效率、疼痛改善情况。结果:观察组患者的治疗效率、疼痛改善情况要优于对比组(P<0.05)。结论:患有急性胃肠炎痉挛性腹痛的患者,对其采用硫酸镁与间苯三酚药物联合治疗以后,能够有效缓解患者的疼痛感,使患者的病情得到有效控制。
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关键词
急性胃肠炎
挛性腹痛
硫酸镁
间苯三酚药物
联合治疗
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职称材料
题名
200 mm超厚层IGBT用硅外延片滑移线控制
被引量:
2
1
作者
袁肇耿
刘永超
张未涛
高
国
智
赵叶军
机构
河北普兴电子科技股份有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2022年第2期122-125,151,共5页
文摘
重点探究了直径200 mm超厚层硅片滑移线的影响因素以及控制方法。使用平板硅外延炉加工超厚层外延片,并使用颗粒测试仪SP1和光学干涉显微镜表征滑移线。从热应力是滑移线的主要成因出发,通过对衬底和基座背面凹槽的设计以及升温曲线的控制这三个方面改善了滑移线。结果表明,随着衬底倒角背面幅长和基座背面凹槽深度的增加,外延片的滑移线长度均呈现先减小后增大的趋势。衬底倒角最佳背面幅长为500μm,基座背面凹槽的最佳深度为0.80 mm。同时,在873 K下恒温3 min的升温工艺可以减少厚层硅外延片的滑移线。
关键词
高压IGBT
外延
滑移线
平板硅外延炉
凹槽深度
Keywords
high voltage IGBT
epitaxy
slip line
horizontal silicon epitaxial reactor
groove depth
分类号
TN304.054 [电子电信—物理电子学]
TN304.12
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职称材料
题名
联合检测肾损伤标志物对输尿管软镜术所致急性肾损伤的临床意义
2
作者
黄海
高
国
智
屈姗
张茜
机构
兰州军区乌鲁木齐总医院肾脏病科
出处
《湖南中医药大学学报》
CAS
2016年第A01期132-133,共2页
文摘
目的探讨联合检测肾损伤分子-1(KIM-1)、中性粒细胞明胶酶相关脂质运载蛋白(NGAL)、N-乙酰-β-D-氨基葡萄糖苷酶(NAG)、肝型脂肪酸结合蛋白( LFABP)的表达对输尿管软镜术(RIRS)患者肾组织损伤的临床意义.方法筛选 2013 年 5月 -2013 年11 月,经我院治疗需要接受RIRS 的 36 例肾结石患者作为观察组,选取 40例无泌尿生殖道疾病同期健康体检者为对照组.分别检测对照组和观察组 RIRS术前、术后 2 、24 h尿中KIM-1、NGAL、NAG、LFABP和肌酸酐 (Cr)含量,并计算出KIM-1 / Cr、NGAL / Cr、NAG / Cr 和LFABP / Cr.结果RIRS术后2 h尿KIM-1 / Cr 为 5.15 ± 2.19,与对照组和术前组比较明显上升,差异有统计学意义(P〈0.05);NGAL / Cr 为 943 ± 172,与对照组和术前组比较显著上升,差异有统计学意义(P〈0.05).术后 24 小时KIM-1 / Cr 、NGAL / Cr基本恢复到术前水平,与对照组和术前组比较无显著差异(P〉0.05).且NAG / Cr和LFABP / Cr在手术后2、24 h均未显著改变(P〉0.05).结论联合检测尿 KIM-1 、NGAL、NAG和LFABP 可作为判定RIRS 患者肾损伤的敏感标志物.
关键词
输尿管软镜术
急性肾损伤
肾损伤分子-1
中性粒细胞明胶酶相关脂质运载蛋白
N-乙酰基-β-D-氨基葡萄糖苷酶
肝型脂肪酸结合蛋白
Keywords
Retrograde intrarenal surgery
acute kidney injury
kidney injury molecule-1
neutrophil gelatinase-associated lipocalin
N-acetyl-β-D-glucosaminidase
liver-type fatty acid binding protein
分类号
R692 [医药卫生—泌尿科学]
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职称材料
题名
肖特基二极管用硅外延片过渡区控制研究
3
作者
侯志义
高
国
智
王铁刚
机构
河北普兴电子科技股份有限公司
出处
《科技传播》
2016年第8期137-138,共2页
文摘
肖特基二极管是一种低功耗、超高速半导体器件,具有正向压降小、开关频率高等特点,高性能的肖特基二极管器件需要高质量的外延材料,生长出高质量的外延层成了制作高频肖特基二极管的关键。
关键词
肖特基
二极管实验
工艺改善
分类号
TN311.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
探究在急性胃肠炎痉挛性腹痛的临床治疗中采用硫酸镁与间苯三酚药物联合治疗的效果
4
作者
高
国
智
机构
武警沧州支队卫生队
出处
《饮食科学》
2019年第16期42-42,共1页
文摘
目的:针对患有急性胃肠炎痉挛性腹痛的患者,对其采用硫酸镁与间苯三酚药物联合治疗以后,对该治疗方法的临床效果进行分析。方法:在本院2018年2月到2019年2月期间,接受患有急性胃肠炎痉挛性腹痛的患者中随机挑选46例,对其进行硫酸镁药物治疗(对比组)和硫酸镁与间苯三酚药物联合治疗(观察组),对比两组患者的治疗效率、疼痛改善情况。结果:观察组患者的治疗效率、疼痛改善情况要优于对比组(P<0.05)。结论:患有急性胃肠炎痉挛性腹痛的患者,对其采用硫酸镁与间苯三酚药物联合治疗以后,能够有效缓解患者的疼痛感,使患者的病情得到有效控制。
关键词
急性胃肠炎
挛性腹痛
硫酸镁
间苯三酚药物
联合治疗
分类号
R57 [医药卫生—消化系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
200 mm超厚层IGBT用硅外延片滑移线控制
袁肇耿
刘永超
张未涛
高
国
智
赵叶军
《半导体技术》
CAS
北大核心
2022
2
下载PDF
职称材料
2
联合检测肾损伤标志物对输尿管软镜术所致急性肾损伤的临床意义
黄海
高
国
智
屈姗
张茜
《湖南中医药大学学报》
CAS
2016
0
下载PDF
职称材料
3
肖特基二极管用硅外延片过渡区控制研究
侯志义
高
国
智
王铁刚
《科技传播》
2016
0
下载PDF
职称材料
4
探究在急性胃肠炎痉挛性腹痛的临床治疗中采用硫酸镁与间苯三酚药物联合治疗的效果
高
国
智
《饮食科学》
2019
0
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职称材料
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