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液体基准平面的Φ300 mm立式斐索干涉仪系统误差标定
被引量：
3
1
作者
马致遥
陈磊
+4 位作者
郑东晖
马海
颖
李若琨
黄晨
胡晨辉
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第2期440-449,共10页
在高精度的干涉检测中,干涉仪系统误差的标定越来越重要。根据立式斐索干涉仪的结构特点,采用液面作为平面基准,对参考平晶的自重变形量以及夹持形变进行补偿校准,对其系统误差进行标定。理论上,液面和地球半径的曲率相同,可认作平面基...
在高精度的干涉检测中,干涉仪系统误差的标定越来越重要。根据立式斐索干涉仪的结构特点,采用液面作为平面基准,对参考平晶的自重变形量以及夹持形变进行补偿校准,对其系统误差进行标定。理论上,液面和地球半径的曲率相同,可认作平面基准对立式结构干涉仪的系统误差进行标定。针对Φ300 mm立式斐索干涉仪,研究了不同的液体粘度、液体厚度、干涉腔长和环境温度对液面测量的影响,构建了可靠的液面基准。通过液面基准,指导干涉仪参考平晶的装调校准,对其系统误差进行补偿,干涉仪精度达到0.035λ,优于λ/25。为了进一步验证液面基准的可靠性与准确性,进行了重复性实验,并且采用Φ400 mm的液面和Φ450 mm的液面进行比对测试,两次标定结果的偏差优于λ/100(6 nm),验证了液面基准的可靠性与准确性。
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关键词
干涉测量
液面基准
表面形状测量
系统误差
下载PDF
职称材料
基于液面旋转平移法的绝对检验技术研究
被引量：
1
2
作者
马海
颖
陈磊
+4 位作者
王云涛
胡晨辉
黄晨
马致遥
郑东晖
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期21-26,64,共7页
绝对检验作为一种光学元件高精度检测方法,其中的两平晶绝对检验无法精确测量平移过程中的倾斜误差,导致恢复的面形中二次项出现偏差。液面在位置变化前后能够保持水平,在旋转平移过程中不会产生倾斜误差。推导了平移过程中倾斜误差和...
绝对检验作为一种光学元件高精度检测方法,其中的两平晶绝对检验无法精确测量平移过程中的倾斜误差,导致恢复的面形中二次项出现偏差。液面在位置变化前后能够保持水平,在旋转平移过程中不会产生倾斜误差。推导了平移过程中倾斜误差和恢复面形中离焦项的关系,并通过仿真分析加以验证,当不存在倾斜误差时,残差面PV值小于1nm。在300mm口径立式斐索干涉仪上进行液面旋转平移干涉实验,将所得到结果与传统三面互检法进行对比,面形基本一致,PV值偏差小于1.3nm,RMS值偏差小于0.65nm,证明了液面旋转平移法在干涉测量过程中不会引入倾斜误差。
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关键词
干涉测量
平面绝对检验
液面旋转平移
倾斜误差
原文传递
题名
液体基准平面的Φ300 mm立式斐索干涉仪系统误差标定
被引量：
3
1
作者
马致遥
陈磊
郑东晖
马海
颖
李若琨
黄晨
胡晨辉
机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第2期440-449,共10页
基金
国家自然科学基金(62005122
U1731115)
江苏省自然科学基金(BK20200458)。
文摘
在高精度的干涉检测中,干涉仪系统误差的标定越来越重要。根据立式斐索干涉仪的结构特点,采用液面作为平面基准,对参考平晶的自重变形量以及夹持形变进行补偿校准,对其系统误差进行标定。理论上,液面和地球半径的曲率相同,可认作平面基准对立式结构干涉仪的系统误差进行标定。针对Φ300 mm立式斐索干涉仪,研究了不同的液体粘度、液体厚度、干涉腔长和环境温度对液面测量的影响,构建了可靠的液面基准。通过液面基准,指导干涉仪参考平晶的装调校准,对其系统误差进行补偿,干涉仪精度达到0.035λ,优于λ/25。为了进一步验证液面基准的可靠性与准确性,进行了重复性实验,并且采用Φ400 mm的液面和Φ450 mm的液面进行比对测试,两次标定结果的偏差优于λ/100(6 nm),验证了液面基准的可靠性与准确性。
关键词
干涉测量
液面基准
表面形状测量
系统误差
Keywords
interferometry
liquid reference
surface shape measurement
system error
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
基于液面旋转平移法的绝对检验技术研究
被引量：
1
2
作者
马海
颖
陈磊
王云涛
胡晨辉
黄晨
马致遥
郑东晖
机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
出处
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期21-26,64,共7页
基金
国家自然科学基金项目(U1731115,62005122)
江苏省自然科学基金青年基金(BK20200458)。
文摘
绝对检验作为一种光学元件高精度检测方法,其中的两平晶绝对检验无法精确测量平移过程中的倾斜误差,导致恢复的面形中二次项出现偏差。液面在位置变化前后能够保持水平,在旋转平移过程中不会产生倾斜误差。推导了平移过程中倾斜误差和恢复面形中离焦项的关系,并通过仿真分析加以验证,当不存在倾斜误差时,残差面PV值小于1nm。在300mm口径立式斐索干涉仪上进行液面旋转平移干涉实验,将所得到结果与传统三面互检法进行对比,面形基本一致,PV值偏差小于1.3nm,RMS值偏差小于0.65nm,证明了液面旋转平移法在干涉测量过程中不会引入倾斜误差。
关键词
干涉测量
平面绝对检验
液面旋转平移
倾斜误差
Keywords
interferometric measurement
plane absolute inspection
liquid level rotation and translation
tilt error
分类号
TH744 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
液体基准平面的Φ300 mm立式斐索干涉仪系统误差标定
马致遥
陈磊
郑东晖
马海
颖
李若琨
黄晨
胡晨辉
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022
3
下载PDF
职称材料
2
基于液面旋转平移法的绝对检验技术研究
马海
颖
陈磊
王云涛
胡晨辉
黄晨
马致遥
郑东晖
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
原文传递
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