期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
超高压汞灯电源及其控制技术 被引量：5
1
作者 陈小铎 《电子工业专用设备》 1996年第3期25-28,共4页
本文主要介绍了分步投影光刻机１０００Ｗ超高压汞灯电源及其控制线路的特点，采用了三相全控桥整流滤波，可控硅进行电压粗调，在功率ＶＭＣＯＳ晶体管进行电流精调的恒流控制系统。
关键词 超高压汞灯 恒流控制 恒光强控制 电源
下载PDF
硅片自动传输系统软硬件设计 被引量：2
2
作者 陈小铎 《电子工业专用设备》 2000年第1期32-38,共7页
论述了硅片自动传输系统的硬件结构及软件设计思想。重点讨论了接口扩展 ,步进电机、力矩电机、电磁阀驱动电路的设计及软件的编程方法。
关键词 硅片 自动传输系统 软件开发 接口扩展 设计
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部