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超高压汞灯电源及其控制技术
被引量：
5
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摘要
本文主要介绍了分步投影光刻机１０００Ｗ超高压汞灯电源及其控制线路的特点，采用了三相全控桥整流滤波，可控硅进行电压粗调，在功率ＶＭＣＯＳ晶体管进行电流精调的恒流控制系统。
作者
陈小铎
机构地区
电子工业部第
出处
《电子工业专用设备》
1996年第3期25-28,共4页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
超高压汞灯
恒流控制
恒光强控制
电源
分类号
TM923.32 [电气工程—电力电子与电力传动]
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