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一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化 被引量：4
1
作者 黄树森 郭南翔 +3 位作者 黄晖 宋朝辉 李欣昕 王跃林 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期305-308,共4页
给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理。该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率。基于分析模型 ,本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则。采用SOI硅片和深反应离子刻蚀 (DRIE)
关键词 微机械 压阻式加速度传感器 设计优化 微粱直拉直压 离子刻蚀 振动频率
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MEMS悬臂梁式芯片测试探卡 被引量：3
2
作者 汪飞 李昕欣 +1 位作者 郭南翔 封松林 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期420-423,共4页
针对集成电路圆片级测试需要,利用MEMS技术设计制作了一种悬臂梁式芯片测试探卡。每个悬臂梁在设计时可以承受25mN的探测力,同时使探针针尖产生20μm以上的位移。通过独特的双面金属覆盖设计,电学测试信号可以成功地从位于硅悬臂梁下方... 针对集成电路圆片级测试需要,利用MEMS技术设计制作了一种悬臂梁式芯片测试探卡。每个悬臂梁在设计时可以承受25mN的探测力,同时使探针针尖产生20μm以上的位移。通过独特的双面金属覆盖设计,电学测试信号可以成功地从位于硅悬臂梁下方的探针针尖,引到位于玻璃上层的封装焊盘,并进而与自动测试仪器连接。由于采用了二次台阶的结构设计,相邻探针之间可以实现金属自隔断。初步测试表明,探针针尖到引线的电阻值在0.8Ω以下,而相邻探针之间的绝缘电阻则高达500GΩ。硅悬臂梁的弹性系数为1126.8Nm-1,与设计值相吻合。 展开更多
关键词 微机械探卡 芯片测试 悬臂梁 接触电阻
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悬臂梁式MEMS探卡的设计和制造 被引量：2
3
作者 郭南翔 汪飞 李昕欣 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2006年第4期12-14,共3页
集成电路圆片级测试探卡主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量。随着集成电路设计和制造技术的发展,芯片焊盘密度日益增加,电路工作速度不断提高,由此产生的寄生电容和寄生电感效应会对传统测试探卡的正常工作造成影响,... 集成电路圆片级测试探卡主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量。随着集成电路设计和制造技术的发展,芯片焊盘密度日益增加,电路工作速度不断提高,由此产生的寄生电容和寄生电感效应会对传统测试探卡的正常工作造成影响,难以得到正确的测试结果。结合先进的MEMS技术,提出了一种采用铝通孔导电、金属自隔离结构的MEMS探卡,探卡由台阶结构的悬臂梁探针陈列构成,探针的具体结构排列依据待测芯片(DUT)的管脚分布,同时测试探针电学导通电阻小于1Ω.详细叙述了探卡的结构设计和制造方法。 展开更多
关键词 悬臂梁 探卡 MEMS
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基于集成芯片的压电换能器频率跟踪技术研究
4
作者 罗锡棋 郭南翔 +1 位作者 颜海霞 董林玺 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期15-21,共7页
针对超声驱动电源在不同共振频率跟踪(RFT)方案下存在的频率搜索范围小、跟踪进程长、软硬件设计复杂等问题,研究了基于集成芯片的频率跟踪方案。该方案以集成芯片为核心,结合逻辑控制及其外围接口电路,实现了压电换能器在毫秒量级的频... 针对超声驱动电源在不同共振频率跟踪(RFT)方案下存在的频率搜索范围小、跟踪进程长、软硬件设计复杂等问题,研究了基于集成芯片的频率跟踪方案。该方案以集成芯片为核心,结合逻辑控制及其外围接口电路,实现了压电换能器在毫秒量级的频率智能跟踪。此外,还设计了一种输出频率范围可调的VCO电路,来搭配使用频率跟踪模块;以匹配电路的电压放大倍数和换能器电流为目标函数计算出匹配参数。最后基于频率跟踪模块实现了小型化、低成本的超声驱动电源,验证了基于集成芯片的频率跟踪方案。所设计的电源拥有27 kHz~29 kHz频率搜索范围,0.5 Hz的频率跟踪精度。实验结果表明,其能在3.5 ms左右完成频率搜索和跟踪的进程。 展开更多
关键词 频率跟踪方案 集成芯片 频率跟踪模块 超声驱动电源
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PH15-7Mo材料板型研究
5
作者 李长滨 刘玉民 郭南翔 《上海钢研》 1999年第4期37-41,共5页
本文着重对PH15-7Mo材料的板型开展了一些工艺试验。结果表明选用合适的道次、压下量、张力与辊型进行轧制,PH15-7Mo的典型产品,板型无明显的瓢曲、波浪等缺陷,波浪的峰高每米达到小于7mm,板型优良。
关键词 板型 辊型 不锈钢 轧制
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超低碳高强耐蚀双相不锈钢焊接工艺研究
6
作者 郭南翔 刘汉刚 《上海钢研》 1992年第6期23-29,共7页
双相不锈钢是一种含Ni量较低、机械性能、耐蚀性能等综合性能优于奥氏体不锈钢与铁素体不锈钢的一种优质、经济、很有开发前途的新型不锈钢种。本文对00Cr_(25)Ni_6Mo_2N系双相不锈钢进行了焊接研究。结果表明,为了使双相不锈钢的焊接... 双相不锈钢是一种含Ni量较低、机械性能、耐蚀性能等综合性能优于奥氏体不锈钢与铁素体不锈钢的一种优质、经济、很有开发前途的新型不锈钢种。本文对00Cr_(25)Ni_6Mo_2N系双相不锈钢进行了焊接研究。结果表明,为了使双相不锈钢的焊接性能与母材相当,必须有相应的焊接材料相匹配。并对新研制的705双相不锈钢TIG焊丝进行了一系列的性能研究,结果表明,705焊丝有优良的综合性能,并能与母材较好地相匹配。 展开更多
关键词 双相不锈钢 焊接工艺 研究
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不同负载下液化换能器动态电阻特性研究
7
作者 陈遥 郭南翔 +5 位作者 刘超然 杨伟煌 王焕泽 罗锡棋 岳晨曦 董林玺 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期8-15,共8页
针对液化超声中超声振子在不同负载下工作导致的换能器发热不同,进而影响换能器工作效率和使用寿命问题,从理论和实验方面研究了工作在串联谐振点的换能器在不同负载环境下的动态电阻变化和发热特性。研究获得了不同液体负载条件如不同... 针对液化超声中超声振子在不同负载下工作导致的换能器发热不同,进而影响换能器工作效率和使用寿命问题,从理论和实验方面研究了工作在串联谐振点的换能器在不同负载环境下的动态电阻变化和发热特性。研究获得了不同液体负载条件如不同液体温度、液体黏稠度、浸入深度、液体密度等下,换能器的动态电阻变化与换能器发热量的映射关系。针对串联谐振频率下的换能器,通过理论计算得到了动态电阻与电压电流关系。针对阻抗分析仪驱动功率较低,不能准确测试换能器有载时的动态电阻变化趋势的缺点,设计了一种测试换能器有载时的动态电阻变化趋势的方案。基于频率追踪芯片实现了频率追踪电路,保证了超声换能器工作频率始终处于换能器串联谐振点。本研究可为提升工作在复杂负载环境下的超声电源可靠性提供参考。 展开更多
关键词 超声换能器 液体负载环境 换能器发热 动态电阻 频率跟踪方案
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