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改变过渡层碳靶功率在铜上沉积类金刚石膜的研究 被引量:2
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作者 王宁 王静 +2 位作者 福卫 武玉民 侯保荣 《石油化工高等学校学报》 CAS 2015年第3期91-96,共6页
类金刚石膜具有硬度高、摩擦系数低、耐腐性强、稳定性高等优点,是提高铜耐腐性的理想材料,但铜与类金刚石膜之间的结合力差。通过制备TixCy过渡层,采用磁控溅射物理气相沉积与化学气相沉积法,通过改变过渡层碳靶功率成功在铜基体上沉... 类金刚石膜具有硬度高、摩擦系数低、耐腐性强、稳定性高等优点,是提高铜耐腐性的理想材料,但铜与类金刚石膜之间的结合力差。通过制备TixCy过渡层,采用磁控溅射物理气相沉积与化学气相沉积法,通过改变过渡层碳靶功率成功在铜基体上沉积类金刚石膜。并对金刚石膜进行拉曼光谱测试、划痕实验和电化学实验分析。结果表明,所制备碳膜具有典型的类金刚石结构,膜与基体之间的结合强度大,过渡层碳靶溅射功率为200 W时所制备的类金刚石膜对铜基体的保护作用最好。 展开更多
关键词 铜基体 类金刚石膜 拉曼光谱 划痕法 耐腐蚀性
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AZ31B镁合金表面沉积类金刚石膜的研究 被引量:1
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作者 王宁 福卫 +3 位作者 王静 温哲华 王传兴 侯保荣 《石油化工高等学校学报》 CAS 2016年第6期6-10,共5页
类金刚石膜具有硬度高、摩擦系数低、耐腐性强、稳定性高等优良性质,是提高镁合金耐腐性的理想材料。但镁合金与类金刚石膜之间结合力差,本研究通过制备Si/SixNy过渡层成功解决了镁合金与类金刚石膜之间结合力差的问题。将磁控溅射物理... 类金刚石膜具有硬度高、摩擦系数低、耐腐性强、稳定性高等优良性质,是提高镁合金耐腐性的理想材料。但镁合金与类金刚石膜之间结合力差,本研究通过制备Si/SixNy过渡层成功解决了镁合金与类金刚石膜之间结合力差的问题。将磁控溅射物理气相沉积与化学气相沉积技术相结合,通过改变膜沉积偏压在镁合金表面沉积类金刚石膜。拉曼光谱测试表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石结构。划痕法测试表明,膜与基体之间的结合力非常大。最后通过失重实验分析了类金刚石膜对镁合金耐腐蚀性的影响。 展开更多
关键词 AZ31B 类金刚石膜 拉曼光谱 耐腐蚀性
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