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超低温薄膜压力传感器的研究
被引量：
6
1
作者
李小换
邹
其利
张世名
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期171-174,共4页
超低温薄膜压力传感器可用于液氢、液氮、液氧等低温环境的压力测量,目前国内外超低温压力传感器产品的工作温度最低为-200℃.文中主要介绍了对超低温薄膜压力传感器的研究,通过薄膜压力传感器设计和工艺技术研究,成功研制出超低温薄膜...
超低温薄膜压力传感器可用于液氢、液氮、液氧等低温环境的压力测量,目前国内外超低温压力传感器产品的工作温度最低为-200℃.文中主要介绍了对超低温薄膜压力传感器的研究,通过薄膜压力传感器设计和工艺技术研究,成功研制出超低温薄膜压力传感器,并在-253(液氢)～+60℃温度环境下进行压力传感器静态性能测试,结果表明传感器性能指标优异,实现了超低温薄膜压力传感器技术突破。
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关键词
薄膜压力传感器薄膜沉积
灵敏度温度自补偿
薄膜激光修调
液氢
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职称材料
压力、温度复合传感器技术研究
被引量：
4
2
作者
邹
其利
滕纲
+1 位作者
李小换
张世名
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期175-177,共3页
介绍了一种压力、温度复合传感器的主要研制加工技术。通过采用灵敏度温度自补偿技术、激光调阻技术、以及薄膜微电路加工工艺等关键技术和手段,在弹性体上制作薄膜应变电阻和薄膜温敏电阻,实现压力、温度双参数测量的功能。同时通过监...
介绍了一种压力、温度复合传感器的主要研制加工技术。通过采用灵敏度温度自补偿技术、激光调阻技术、以及薄膜微电路加工工艺等关键技术和手段,在弹性体上制作薄膜应变电阻和薄膜温敏电阻,实现压力、温度双参数测量的功能。同时通过监测温度,可以进一步精确修正压力参数测量的特性方程。
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关键词
压力
温度
薄膜沉积
薄膜微电路
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职称材料
灵敏度温度自补偿薄膜压力传感器的研制
被引量：
4
3
作者
李小换
张世名
+1 位作者
邹
其利
郭志萍
《遥测遥控》
2007年第S1期153-157,共5页
溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点,但是由于受弹性体材料自身特性的影响,传感器的灵敏度温度误差大,大约在1.5×10-4~2×10-4/F.S℃,是导致传感器测量误差大的原因之一。在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿电阻...
溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点,但是由于受弹性体材料自身特性的影响,传感器的灵敏度温度误差大,大约在1.5×10-4~2×10-4/F.S℃,是导致传感器测量误差大的原因之一。在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿电阻,使应变电阻和灵敏度温度误差补偿电阻可以在同一时间感受温度,比在后续电路上进行温度补偿,温度响应快。对灵敏度温度自补偿压力敏感元件进行设计与研制。实测结果表明,采用灵敏度温度自补偿工艺技术的敏感元件,灵敏度温度误差较小,可以控制在0.25×10-4/F.S℃以下,传感器的温度性能得到了提高。
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关键词
薄膜压力传感器
灵敏度温度自补偿
灵敏度温度误差
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职称材料
水介质动态压力传感器设计与实现
被引量：
1
4
作者
于家福
王星来
+2 位作者
李兵
邹
其利
唐贵
《遥测遥控》
2014年第3期53-57,共5页
针对水介质动态压力信号测量,从高固有频率薄膜应变式敏感元件、机械结构、信号调理电路三个方面详细阐述了水介质动态压力传感器的设计与分析方法,结合实际应用经验优化了传感器动态性能,并利用正弦压力校准系统对所设计的压力传感器...
针对水介质动态压力信号测量,从高固有频率薄膜应变式敏感元件、机械结构、信号调理电路三个方面详细阐述了水介质动态压力传感器的设计与分析方法,结合实际应用经验优化了传感器动态性能,并利用正弦压力校准系统对所设计的压力传感器进行了动态测试。测试结果表明,该压力传感器在0Hz^5kHz频带内的不平度小于±3dB,达到了5kHz的动态频率响应要求。
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关键词
动态压力传感器
薄膜应变
正弦压力校准
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职称材料
溅射膜片微应变与精密测量弹簧组合技术用于毫米级位移测量的分析与实现
5
作者
王海清
邹
其利
+1 位作者
朱大治
张世名
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期281-283,312,共4页
介绍溅射膜片微应变与精密测量弹簧组合测量位移技术,将0～5 mm位移转变为与其成比例的电压信号,分析、讨论了传感器工作原理与设计方法。地面和飞行试验结果显示,该组合技术具有良好的静态测量精度和动态响应性能,适用于飞行器动态环...
介绍溅射膜片微应变与精密测量弹簧组合测量位移技术,将0～5 mm位移转变为与其成比例的电压信号,分析、讨论了传感器工作原理与设计方法。地面和飞行试验结果显示,该组合技术具有良好的静态测量精度和动态响应性能,适用于飞行器动态环境小量程间隙的测量。
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关键词
测量弹簧
溅射膜片
组合技术
动态间隙测量
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职称材料
题名
超低温薄膜压力传感器的研究
被引量：
6
1
作者
李小换
邹
其利
张世名
机构
航天长征火箭技术有限公司
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期171-174,共4页
文摘
超低温薄膜压力传感器可用于液氢、液氮、液氧等低温环境的压力测量,目前国内外超低温压力传感器产品的工作温度最低为-200℃.文中主要介绍了对超低温薄膜压力传感器的研究,通过薄膜压力传感器设计和工艺技术研究,成功研制出超低温薄膜压力传感器,并在-253(液氢)～+60℃温度环境下进行压力传感器静态性能测试,结果表明传感器性能指标优异,实现了超低温薄膜压力传感器技术突破。
关键词
薄膜压力传感器薄膜沉积
灵敏度温度自补偿
薄膜激光修调
液氢
Keywords
thin film deposition thin film pressure sensor
thin films laser repaired
liquid hydrogen
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
压力、温度复合传感器技术研究
被引量：
4
2
作者
邹
其利
滕纲
李小换
张世名
机构
航天长征火箭技术有限公司
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期175-177,共3页
文摘
介绍了一种压力、温度复合传感器的主要研制加工技术。通过采用灵敏度温度自补偿技术、激光调阻技术、以及薄膜微电路加工工艺等关键技术和手段,在弹性体上制作薄膜应变电阻和薄膜温敏电阻,实现压力、温度双参数测量的功能。同时通过监测温度,可以进一步精确修正压力参数测量的特性方程。
关键词
压力
温度
薄膜沉积
薄膜微电路
Keywords
pressure
temperature
deposition of thin films
microcircuit of thin film
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
灵敏度温度自补偿薄膜压力传感器的研制
被引量：
4
3
作者
李小换
张世名
邹
其利
郭志萍
机构
北京遥测技术研究所
出处
《遥测遥控》
2007年第S1期153-157,共5页
文摘
溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点,但是由于受弹性体材料自身特性的影响,传感器的灵敏度温度误差大,大约在1.5×10-4~2×10-4/F.S℃,是导致传感器测量误差大的原因之一。在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿电阻,使应变电阻和灵敏度温度误差补偿电阻可以在同一时间感受温度,比在后续电路上进行温度补偿,温度响应快。对灵敏度温度自补偿压力敏感元件进行设计与研制。实测结果表明,采用灵敏度温度自补偿工艺技术的敏感元件,灵敏度温度误差较小,可以控制在0.25×10-4/F.S℃以下,传感器的温度性能得到了提高。
关键词
薄膜压力传感器
灵敏度温度自补偿
灵敏度温度误差
Keywords
Sputtering thin-film pressure sensor
Self-temperature-compensation
Sensitivity-temperature-error
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
水介质动态压力传感器设计与实现
被引量：
1
4
作者
于家福
王星来
李兵
邹
其利
唐贵
机构
海军驻北京地区导弹配套设备军事代表室
北京宇航系统工程研究所
北京遥测技术研究所
出处
《遥测遥控》
2014年第3期53-57,共5页
文摘
针对水介质动态压力信号测量,从高固有频率薄膜应变式敏感元件、机械结构、信号调理电路三个方面详细阐述了水介质动态压力传感器的设计与分析方法,结合实际应用经验优化了传感器动态性能,并利用正弦压力校准系统对所设计的压力传感器进行了动态测试。测试结果表明,该压力传感器在0Hz^5kHz频带内的不平度小于±3dB,达到了5kHz的动态频率响应要求。
关键词
动态压力传感器
薄膜应变
正弦压力校准
Keywords
Dynamic pressure sensor
Thin film strain
Sinusoidal pressure calibration
分类号
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
溅射膜片微应变与精密测量弹簧组合技术用于毫米级位移测量的分析与实现
5
作者
王海清
邹
其利
朱大治
张世名
机构
航天长征火箭技术有限公司
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期281-283,312,共4页
文摘
介绍溅射膜片微应变与精密测量弹簧组合测量位移技术,将0～5 mm位移转变为与其成比例的电压信号,分析、讨论了传感器工作原理与设计方法。地面和飞行试验结果显示,该组合技术具有良好的静态测量精度和动态响应性能,适用于飞行器动态环境小量程间隙的测量。
关键词
测量弹簧
溅射膜片
组合技术
动态间隙测量
分类号
TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超低温薄膜压力传感器的研究
李小换
邹
其利
张世名
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009
6
下载PDF
职称材料
2
压力、温度复合传感器技术研究
邹
其利
滕纲
李小换
张世名
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009
4
下载PDF
职称材料
3
灵敏度温度自补偿薄膜压力传感器的研制
李小换
张世名
邹
其利
郭志萍
《遥测遥控》
2007
4
下载PDF
职称材料
4
水介质动态压力传感器设计与实现
于家福
王星来
李兵
邹
其利
唐贵
《遥测遥控》
2014
1
下载PDF
职称材料
5
溅射膜片微应变与精密测量弹簧组合技术用于毫米级位移测量的分析与实现
王海清
邹
其利
朱大治
张世名
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009
0
下载PDF
职称材料
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