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大面积多元PbS探测器均匀度研究 被引量：3
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作者 赵崇花 《红外与激光工程》 EI CSCD 1997年第2期40-44,共5页
介绍了研制的大面积多元PbS红外探测器的各项技术指标，叙述了PbS膜的微区分析、PbS光敏膜的制备、PbS光敏图形的刻蚀等几个关键工艺技术的研究情况，说明了大面积多元PbS探测器的研制水平。
关键词 红外探测器 光敏传感器 薄膜器件
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