摘要
介绍了研制的大面积多元PbS红外探测器的各项技术指标，叙述了PbS膜的微区分析、PbS光敏膜的制备、PbS光敏图形的刻蚀等几个关键工艺技术的研究情况，说明了大面积多元PbS探测器的研制水平。
The technical index of multielement PbS infrared detector is descrital in this paper as well as the technique process of microdomain analysis, fabrication, pattern etching, etc.
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
1997年第2期40-44,共5页
Infrared and Laser Engineering
关键词
红外探测器
光敏传感器
薄膜器件
Infrared detector Light sensitive sensor Thin film device Homogeneity PbS
